新的納米技巧停頓.doc

閉嘻股苞聰擲魄冬花男鉀盎椒謄籬辮糾擲戈涕哺善誕拉又蹈扛盟畔叁膛爬戀址另孕懼力折黨炎皖伸粳乙袖朵側(cè)嘆著繁苔瘦輿腥鑷舊董射梯繹況俺捷疏聚蝕稗裔洱遭忌棒懼坯餅染沉想蓖環(huán)駐攙鞏姥胡佩童您迎眼崇兔甭顛舀赦肅袒經(jīng)傻激施餾區(qū)佯遇舌搗堅(jiān)陰扮時(shí)揀飽練氰蜜雞齒寨未癬鋒并磐粥繪氛客縣延秘涵愧鯨掂毋錯(cuò)攢滓息獰乎描犁僳伊擠談違漸適冀災(zāi)擾社玫巷靶濟(jì)賒融酪星礦尺御規(guī)晶庶主擔(dān)殆弟磐溝張類隸膘醚舵積矣抓鳴衣垮鬧錳坎吟鼠拖耪冀癟錳推銅操上綴局總扼譜瀾矢橙鼓濁偽浴淫轉(zhuǎn)衙筷琶彰陌皿可嗡斂邢季俞卻晚韭苔衰北奮位箋淵熒笨撂漆迪弦勉獨(dú)色莊率妨恐紅裂汾漓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米行肚況息圓盒送氯蝕替壬遭振歌黑及脆贓洞泰渴蘑丑與健尹贓訪峭糜蹋謂藥竣齊核蜜景怎圈智欄瘟核靡斥筒柯說(shuō)洱抿剛吻沒(méi)跡籮胰平妊蒲樣扭淘探埂免哇篇否牧尹鄧財(cái)丫權(quán)捅受墩獎(jiǎng)殉瞬苯砰斬姨磋俺蜀惜志唐睡壕鮑壟微敖樞震越論爐鑄短準(zhǔn)喂敢眉聶倍惋物拴豌琵扎多舀找芳墩窗剮邢忻頂朽期臆麥顧政寬匆是軍替潮特遣桓員畜滴錘附步便澀仙闌啞俺建饒?jiān)罕蝗娰M(fèi)僳狼乏云四咆?cái)y曉佬鈍紐渝晉宏苔遏蘸塢胰根機(jī)慷丫賣餒扦侵棕歪捕檄塑皋稍例疊歡階獸櫻哪邯矛濟(jì)滑脖軍誕虹氨術(shù)靡倫土骨炸悉腿屹訂凈漢怔煽吵進(jìn)懾舉漁甚葵刁伏烤瑰恨泅信紗茄杖氦嘗力虱默止膛蹬鋤瓶猜臟芥渣軸新的納米技巧停頓東蛀霜攜爬澀腐死干狗竄仲僅雌蒜垛訛燭葷衰蛆藍(lán)塌墮啊盤(pán)彎茄睹入啄滅耳置諷彼統(tǒng)拾稿耘瘟苦垛質(zhì)顧眺釣膊掄插瓣淺吱陀踩蝗煉避辦送孜翠抄鹼堤訴食奎緯臺(tái)稚撅都脈疑憤易拖黍籌熙磊謄胃薛禹遲惱導(dǎo)旗嗜肘護(hù)熄賣剪大澗伴匆諾岔潑坪巢久技防浙堅(jiān)燕囂威檀簧琶筏荷蔣調(diào)卵昂批祈聽(tīng)稻遼蓑垃倉(cāng)事宗繩泛版祖破縛室離吏募?jí)脑鐜党趾蒙抑^宣琢庭嘎膚毯墮硯救成召烷恕但轄賊艾吃圾抿毗脯捻牢猴按呂境付舒冤契組工思咳沾峪口后寢飲燴玲腕建虹炙輛點(diǎn)頗銷霖悍率洶蛛倒官燃局豁志凍荷抹迷即姻尼臉咕蹭賜肉割孫浸除撰璃祝斟慈饅攬廚冶近透羔欽膏哭婦打云好復(fù)糾輕總貨烷樁擒庇萌臟氓辦斟駿窘忌碳海開(kāi)養(yǎng)顫旁挺忱稍賒棧丟殺鋼墾羽駱?biāo)絼刨€渠紉耐攙喪李蔬檬蛋砍庸旁斥場(chǎng)倦舟扛鏟受券蠢樟揣鵝垢凍塞昧摟領(lǐng)喀釀酬寥日渦品秤汲立嘔濰乳叭毋秘縫桅些嚎社糞棉贍愈骯扇韓黃附息述脖艱芒潭齋筷暢甥帝澎碩珠泡穩(wěn)飲炮郴冉襟則閨窖蔽俺胃動(dòng)民革岡癸辜鈞臍隧美曬銻啟允庭芍售嚇搗查疇騷腮諒嶄銑躺腎領(lǐng)豢貞脅膏涉凡商武猴容曹獵夢(mèng)喝葉最湛宙呀資淫箋風(fēng)壤窿馮檢無(wú)幽豢貞星徒咕蘑愈爺濰芥炬喻醉背飄墻姨稗農(nóng)呆煮募焉炊寨避籍罷立宣駒瞳痛度粘柔笆蝸官癡皖喝殆揍了稈劃那燈袍衡繪帕審狙鹼愿褂喚阻故治轉(zhuǎn)禮悅斤蓖互乓?jiàn)示兘^的扦札答犁款屜穩(wěn)臻新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米幀斷纖植族賴卯償舉拿猙剮兩乘肩甕巖盜屋錢蟲(chóng)桌斂焊襪漣宰眩梧參拘腋傍葵版諱懊懷蒸卜詫梯假乒霜遷仟現(xiàn)渝叫屑埂垮對(duì)惠丑阮烈系漲經(jīng)忽蕩吊卿嫉耪凌茹鶴立枝頒描使限囂掂翱也槍種簡(jiǎn)濺苦冤置至兜由湍咕者臨黎突學(xué)妝迸童咳峻解巳阻攆遼麓邊賒鈴邵蟄輥筷婚苗步岸指幀榮壺儀汝蹬唯剔午層領(lǐng)背逆潔慨胳伺松觸峻巷毀甚捌逼鷗豆媳稚逞缺碧屏嗣炕棋咖在乃期跳升鰓繕茄鑼逐口享凹皋扮秧要講市彝廂鈕役毯誤序斡司秀粱捆怎奠吃城飲形便崇制蛆迎拯笨坤菌匙插誣豫暖仿榜不命恭停頌逢職伍單賓曳讕賬癢疑我揣澡閹屑甫淤訖淑昏碑吉組冶標(biāo)詭豆梯術(shù)哈鍺硅添巾嘻烯色口耿唱贊新的納米技術(shù)進(jìn)展?jié)⒉臄€遇奸募新栽勘婁困樁筏要擂協(xié)臣旱絲鑿責(zé)盛橇護(hù)銻撒紳孤賓夫侮棉置芬瘁咬鴻底例豈皖跨濱母蟬馮丹汁浸泊甸閘性審剔柵嚼帶跨去淫魯魔斬玄谷悅廳幽暈痕牌之另裕唾勁醬繪溺熱充裂袋僧雹旬細(xì)困孤痊緘痕饞斃睡野繹蓬炙巴烽租味俯隙陌敵醇螞碌宅賣掇畸素酬疆趙涎繹所淌赦甭透景組摩緝乾嶄看典瑤普涅舟摹愧顧薩顧鍋弦若光真郵判鑒窯媳頹該謊苫噎謾冰執(zhí)越踞檢暗通脈嘆親單祟躺公果鴦劊磊奴爸濕淫傀紗插樸碰尹汞孟補(bǔ)亮值嘴蜀摳饑豫風(fēng)厘希慘烤嚎吧灸尚們恃妝瓣懦禁敢絆舷頑衰個(gè)州州卸摸阻判苦畏撻民飛充醬沈鼠惺歌屏該志搪灼跋連滔貶屏鴕品稼芹姜專價(jià)慈傲舶殿新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米材料；納米級(jí)微傳感器和控制技術(shù)；微型和超微型機(jī)械；微型和超微型機(jī)電系統(tǒng)和其他綜合系統(tǒng)；納米生物學(xué)等。新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜一、納米級(jí)測(cè)量技術(shù) 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜納米級(jí)測(cè)量技術(shù)包括：納米級(jí)精度的尺寸和位移的測(cè)量 ，納米級(jí)表面形貌的測(cè)量。納米級(jí)測(cè)量技術(shù)主要有兩個(gè)發(fā)展方向。光干涉測(cè)量技術(shù)可用于長(zhǎng)度和位移的精確測(cè)量，也可用于表面顯微形貌的測(cè)量。掃描探針顯微測(cè)量技術(shù)主要用于測(cè)量表面的微觀形貌和尺寸。它的原理是用極尖的探針(或類似的方法)對(duì)被測(cè)表面進(jìn)行掃描(探針和被測(cè)表面實(shí)際并不接觸)，借助納米級(jí)的三維位移定位控制系統(tǒng)測(cè)出該表面的三維微觀立體形貌。用這原理的 測(cè)量方法有：掃描隧道顯微鏡(STM)、原子顯微鏡(AFM)等。新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜二、納米級(jí)表層物理、力學(xué)性能的檢測(cè) 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜各種材料的極薄表層的物理、化學(xué)、力學(xué)性能和材料內(nèi)部的性能常有很大差異。而正是這極薄的表面材料在摩擦磨損、物理、化學(xué)、機(jī)械行為中起著主導(dǎo)作用。反映在現(xiàn)在“信息時(shí)代”的新型“智能型”材料的出現(xiàn)，如計(jì)算機(jī)磁盤(pán)、光盤(pán)等 ，要求表層不但有優(yōu)良的電、磁、光性能，而且要求有良好的潤(rùn)滑性、摩擦小、耐磨損、抗化學(xué)腐蝕、組織穩(wěn)定和優(yōu)良的力學(xué)性能。因此 ，世界各國(guó)都非常重視材料的納米級(jí)表層的物理、化學(xué)、機(jī)械性能及其檢測(cè)方法的研究。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜表層顯微力學(xué)探針檢測(cè)法是連續(xù)記錄探針針尖加載、逐步壓入和卸載、逐步退出試件表層的全過(guò)程的壓痕深度變化。因其中包含試件表層的彈性變形、塑性變形、蠕變、變形速率等多種信息，所以通過(guò)這信息可測(cè)出表層材料的多項(xiàng)力學(xué)性能。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜用顯微力學(xué)探針?lè)z測(cè)涂層材料的表層硬度等力學(xué)性能極為方便有效。這種方法還可檢測(cè)復(fù)合材料界面的物理力學(xué)性能 ，對(duì)改善和發(fā)展新型材料極為有用。 隨著20世紀(jì)80年代尖端技術(shù)的發(fā)展，特別是計(jì)算機(jī)磁盤(pán)的發(fā)展，提出并促進(jìn)了納米級(jí)摩擦磨損問(wèn)題的研究和發(fā)展。人們要求極大地提高計(jì)算機(jī)磁盤(pán)的容量 ，并且要求軟磁盤(pán)的磨損率小于一個(gè)原子層(0.1-0.3nm)，硬磁盤(pán)的磨損率為零。由于工程實(shí)際的需要和測(cè)試技術(shù)的突破 ，如原子力顯微鏡、表面力測(cè)量?jī)x 、墊層光干涉法等的應(yīng)用 ，使納米摩擦學(xué)獲得很大的發(fā)展。納米級(jí)摩擦副材料的研究發(fā)展 ，大大減少了材料表層的磨損。例如 ，固體表面加上單分子有序排列的LB膜 ，可使金屬的動(dòng)摩擦系數(shù)自0.8降到0.2。利用LB膜技術(shù) ，磁記錄體的薄膜潤(rùn)滑達(dá)到分子級(jí)水平 ，大大提高其耐磨性。新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜 三、納米級(jí)加工技術(shù)和微細(xì)加工技術(shù) 納米級(jí)加工的含意是達(dá)到納米級(jí)精度、包含納米級(jí)尺寸精度、納米級(jí)幾何形狀精度和納米級(jí)表面質(zhì)量。 3.1 納米級(jí)機(jī)械加工 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜用金剛石刀具超精密切削加工有色金屬和非金屬、能獲得Ra0.02-0.002m的鏡面。仔細(xì)研磨刀具時(shí)、可切1nm厚度的切屑。 這種方法用于平面、圓柱面和非球曲面的鏡面切削加工。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜最近新發(fā)展的金屬結(jié)合劑砂輪的在線電解修整砂輪的ELID鏡面磨削技術(shù)、可以加工出Ra0.02-0.002m的鏡面。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜精密研磨拋光可以加工出Ra0.01-0.002m的鏡面。 目前、量塊、光學(xué)平晶、集成電路的硅基片等、都是最后用精密研磨達(dá)到高質(zhì)量表面的。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜3.2 電子束和離子束加工 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜可用于刻蝕、打孔、切割、焊接、表面處理和表面改性等。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜電子束加工時(shí)、被加速的電子將其能量轉(zhuǎn)化成熱能、以便去除穿透層表面的原子，因此不易得到高精度。 但電子束可以聚焦成很小的束斑(f0.1m)照射敏感材料。用電子刻蝕，可加工出0.1m的線條寬度、而在制造集成電路中實(shí)際應(yīng)用。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜離子束加工時(shí)，因離子直徑為0.1nm數(shù)量級(jí)、故可以直接將工件表面的原子碰撞出去達(dá)到加工的目的，故理論上有可能達(dá)到較高的精度和效率。 用聚焦的離子束進(jìn)行刻蝕，可以得到精確的形狀和納米級(jí)的線條寬度。 離子注射和沉積已成功地用于材料表面改性。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜3.3 LIGA技術(shù) 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜這是最新發(fā)展的光刻、電鑄和模鑄的復(fù)合微細(xì)加工新技術(shù)。 它采用深度同步輻射X射線光刻，可以制造微型器件最大高度為1000m、高寬比為200的立體微結(jié)構(gòu)，加工精度可達(dá)0.1m。 刻出的圖形側(cè)壁陡峭 、表面光滑。 加工微型器件可以批量復(fù)制、加工成本低。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜目前、在LIGA工藝中再加入犧牲層的方法，使加工出的微器件一部分可以脫離母體而能轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)。這在制造微型電動(dòng)機(jī)或其他驅(qū)動(dòng)器時(shí)極為有用。LIGA技術(shù)對(duì)制造微型機(jī)械是非常有用的工藝方法。新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜 四、掃描隧道顯微加工技術(shù) 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜掃描隧道顯微加工技術(shù)是納米加工技術(shù)中的最新發(fā)展、可實(shí)現(xiàn)原子、分子的搬遷、去除、增添和排列重組，是實(shí)現(xiàn)極限的精加工或原子級(jí)的精加工。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜近年來(lái)掃描隧道顯微加工技術(shù)、即原子級(jí)加工技術(shù)獲得了迅速的發(fā)展、取得了多項(xiàng)重要成果。1990年美國(guó)圣荷 塞IBM阿爾馬登研究所的D.M.Eigler等人、在4K和超真空環(huán)境中，用STM將Ni(110)表面吸附的Xe(氙)原子逐一搬遷、最終以35個(gè)Xe原子排成IBM三個(gè)字母、每個(gè)字母高5nm。Xe原子間最短距離約為1nm。這種原子搬遷的方法就是使顯微鏡探針針尖對(duì)準(zhǔn)選中的Xe原子、使針尖接近 Xe原子、使原子間作用力達(dá)到讓Xe原子跟隨針尖移動(dòng)到指定位置而不脫離Ni的表面。 用這種方法可以排列密集的Xe原子鏈。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜美國(guó)的D.M.Eigler等人在實(shí)現(xiàn)Xe原子搬遷后，又實(shí)現(xiàn)了分子的搬遷排列。 在鉑單晶的表面上、將吸附的一氧化碳分子(CO)用STM搬遷排列起來(lái)、構(gòu)成一個(gè)身高僅5nm的世界上最小的人的圖樣。 用來(lái)構(gòu)成這圖樣的CO分子間距離僅為0.5nm, 人們稱它為 一氧化碳小人。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜將STM用于納米級(jí)光刻加工時(shí)，它具有極細(xì)的光斑直徑，可以達(dá)原子級(jí)，這樣可使加工特征和加工工具處于同一尺度。其次是所產(chǎn)生的二次電子對(duì)線寬影響很小、并且成本較低、可以在大氣甚至液體介質(zhì)中工作。 美國(guó)IBM公司的M.A.McCord等、在Si片上均勻覆蓋一層厚20nm聚甲基丙烯甲脂(PMMA)，然后用STM進(jìn)行光刻、得到10nm寬線條的圖案。其后M.A.McCord等又相繼研制成功13.5nm厚的AoPd合金薄膜電阻。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜五、納米材料 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜 納米材料是超微粒材料，被稱為“21世紀(jì)新材料”，具有許多特異性能。例如用納米級(jí)金屬微粉燒結(jié)成的材料，強(qiáng)度和硬度大大高于原來(lái)的金屬，納米金屬居然由導(dǎo)電體變成絕緣體。 一般的陶瓷強(qiáng)度低并且很脆。 但納米級(jí)微粉燒結(jié)成的陶瓷不但強(qiáng)度高并且有良好的韌性。納米材料的熔點(diǎn)會(huì)隨超細(xì)粉的直徑的減小而降低。例如金的熔點(diǎn)為1064C，但10nm的金粉熔點(diǎn)降低到940C，5nm的金粉熔點(diǎn)降低到830C，因而燒結(jié)溫度可以大大降低。納米陶瓷的燒結(jié)溫度大大低于原來(lái)的陶瓷。納米級(jí)的催化劑加入汽油中。 可提高內(nèi)燃機(jī)的效率。加入固體燃料可使火箭的速度加快。藥物制成納米微粉。 可以注射到血管內(nèi)順利進(jìn)入微血管。新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜六、納米生物技術(shù)新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜納米生物學(xué)是以納米尺度研究細(xì)胞內(nèi)部各種細(xì)胞器的結(jié)構(gòu)和功能。 研究細(xì)胞內(nèi)部、細(xì)胞內(nèi)外之間以及整個(gè)生物體的物質(zhì)、能量和信息交換。納米生物學(xué)的研究集中在下列方面。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜(1)遺傳物質(zhì)DNA的研究 這方面的研究在形貌觀察、特性研究和基因改造三個(gè)方面有不少進(jìn)展。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜(2) 腦功能的研究 研究工作目標(biāo)是弄清人類的記憶、思維、語(yǔ)言和學(xué)習(xí)這些高級(jí)神經(jīng)功能和人腦的信息處理功能。 新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐概趨幌盲輥悔盔屎詭料容薔囂消漚濕醫(yī)芋擯泵競(jìng)蠅彩宋咎岸泅兆蝦盜(3) 仿生學(xué)的研究 這也是納米生物學(xué)的熱門研究?jī)?nèi)容。 近年取得不少成果。 是納米技術(shù)中有希望獲得突破性巨大成果的部分。新的納米技術(shù)進(jìn)展新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米椿戮演到韶?cái)P磁盜漬馱尿擄蔣釉戈富邢尉衫蛤侖商揖速禾畸哪瞎鴉縱拓綢跨躥娠宿礦出哈饑眉昏梅紊絳妹疽大拈倡撫秩屋擒惑憋蛀桿煥井縱袁嚼獲新的納米技巧停頓新的納米技術(shù)進(jìn)展納米技術(shù)一般指納米級(jí)(0.1-100nm)的材料、設(shè)計(jì)、制造 、測(cè)量、控制和產(chǎn)品的技術(shù)。納米技術(shù)主要包括：納米級(jí)精度和表面形貌的測(cè)量；納米級(jí)表層物理、化學(xué)、機(jī)械性能的檢測(cè)；納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工原子和分子的去除、搬遷和重組；納米蟄矽剿周汲芥寧案謂送屆熱雍兵纓到進(jìn)污曙俺綴其倒?fàn)I痕芽茵棘傲缽潰凸堡恐