車間工藝衛(wèi)生初步整理.doc

車間工藝衛(wèi)生要求初步整理手腕處一、 手套的使用方式：打開手套包裝時，應(yīng)注意從手套手腕處打開。取手套時，應(yīng)用手接觸手套開口處，禁止直接接觸手掌及手指部位。 二、 無塵紙的使用方式：打開包裝時，應(yīng)佩帶干凈的PVC手套，在邊角處打開一個小口，使用時應(yīng)遵循使用多少拿取多少的原則，禁止不用時將無塵紙暴露在包裝之外。三、 實驗用盒子的使用方式：擴(kuò)散間內(nèi)禁止出現(xiàn)泡沫盒，統(tǒng)一使用飯盒作為實驗用硅片的容器，盒子在首次清潔時應(yīng)使用酒精擦拭三次以上，每次擦拭完應(yīng)更換PVC手套。擦拭過程中應(yīng)遵循先擦內(nèi)壁再擦底部的原則。四、 鑷子的使用方式：在使用鑷子進(jìn)行上下片操作時，應(yīng)佩戴干凈的汗布和PVC手套，拿取鑷子的中上部。嚴(yán)禁任何形式的對鑷子頭部的沾污。鑷子在不使用時，應(yīng)保存在專門的凈化飯盒中。五、 舟叉的使用方式：必須使用有石英套管的舟叉，對于套管缺失或者損壞的舟叉，應(yīng)通知設(shè)備及時予以更換。舟叉在不使用時應(yīng)套管朝上放置在專門的舟叉盒內(nèi)。由于現(xiàn)階段叉盒未到位，在放置舟叉時應(yīng)將叉柄朝下，使石英套管不與臺面接觸。槽體機(jī)械臂正面上部六、 石英管清洗機(jī)的清潔：在每次進(jìn)行石英器件清洗前應(yīng)對清洗機(jī)進(jìn)行清潔。在操作前請佩帶好抗腐蝕性的面罩和耐酸堿手套。確保酸槽和水槽的溶液排盡后，向槽內(nèi)注滿DI水，將機(jī)械臂降至工藝下位完全浸入水中，浸泡3分鐘后將水排掉，用水槍沖洗槽體，確保槽體內(nèi)殘余的酸液被稀釋并沖洗干凈。對清洗機(jī)進(jìn)行擦拭時應(yīng)佩帶汗布手套和PVC手套，使用蘸取酒精的無塵布。首先對機(jī)械臂及清洗機(jī)的上部和正面部位進(jìn)行擦拭，擦拭過程中發(fā)現(xiàn)無塵布和手套有沾污后應(yīng)立即更換。確保槽體外部的工藝衛(wèi)生后對槽體內(nèi)部進(jìn)行清理，同樣先用蘸取酒精的無塵布擦拭槽體壁，再擦拭槽底。由于槽體的工藝衛(wèi)生至關(guān)重要，需要對槽體進(jìn)行三次以上的擦拭。七、 硅片清洗機(jī)的清潔：在硅片清洗機(jī)正常運(yùn)行一段時間后要應(yīng)對清洗機(jī)進(jìn)行清潔。在操作前請佩帶好抗腐蝕性的面罩和耐酸堿手套。確保酸槽和水槽的溶液排盡后，向槽內(nèi)注滿DI水，將機(jī)械臂降至工藝下位完全浸入水中，浸泡3分鐘后將水排掉，用水槍沖洗槽體，確保槽體內(nèi)殘余的酸液被稀釋并沖洗干凈。對清洗機(jī)進(jìn)行擦拭時應(yīng)佩帶汗布手套和PVC手套，使用蘸取酒精的無塵布。首先對機(jī)械臂及清洗機(jī)的上部和正面部位進(jìn)行擦拭，擦拭過程中發(fā)現(xiàn)無塵布和手套有沾污后應(yīng)立即更換。確保槽體外部的工藝衛(wèi)生后對槽體內(nèi)部進(jìn)行清理，同樣先用蘸取酒精的無塵布擦拭槽體壁，再擦拭槽底。由于槽體的工藝衛(wèi)生至關(guān)重要，需要對槽體進(jìn)行三次以上的擦拭。槽體機(jī)械臂正面上部八、 爐管安裝時的衛(wèi)生要求：在爐管安裝過程中，對于氮化硅槳、石英爐門等直接與爐管內(nèi)工藝條件相關(guān)的部件，需要采取更為嚴(yán)格的凈化措施。在確保清洗干凈的情況下，在安裝時，除了需要佩戴汗布手套和PVC手套外，還需要使用無塵紙，避免手套與槳等的直接接觸。九、 磷源進(jìn)出氣口的衛(wèi)生要求：在設(shè)備人員對爐管進(jìn)行拆卸清洗時，需要用無塵