大專畢業(yè)論文-開(kāi)題報(bào)告-V3.0.1.doc

本文給出大專畢業(yè)論文開(kāi)題報(bào)告內(nèi)容和格式基本要求及示例，學(xué)生須參考本文要求撰寫(xiě)畢業(yè)論文開(kāi)題報(bào)告。不用此信息時(shí)，刪除此框。煙臺(tái)汽車工程職業(yè)學(xué)院( 2007 )級(jí)?？粕厴I(yè)設(shè)計(jì)(論文)開(kāi) 題 報(bào) 告論文題目：開(kāi)題報(bào)告格式基本要求：(1) 紙 型：A4紙，單面打印；(2) 頁(yè)邊距：上2cm，下2cm，左3cm、右2cm；(3) 頁(yè) 眉：1.5cm，頁(yè)腳：1.25cm，左側(cè)裝訂；(4) 字 體：開(kāi)題報(bào)告正文全部宋體、五號(hào)、首行縮進(jìn)2字符；一級(jí)標(biāo)題黑體、小三、居左；二級(jí)標(biāo)題黑體、四號(hào)、居左；三級(jí)標(biāo)題黑體、小四、居左。標(biāo)題都采用1.5倍行距。頁(yè)碼10磅、Times New Roman、居中。西文、數(shù)字等符號(hào)字體Times New Roman。(5) 行 距：正文固定值20磅；段前、段后均為0；(6) 字 數(shù)： 2000字以上。(7) 格式方面的其他要求請(qǐng)參考大專畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）模板相應(yīng)部分的格式要求。不用此信息時(shí)，刪除此框。題目一般不宜超過(guò)20字。題名應(yīng)避免使用不常見(jiàn)的縮略詞、首字母縮寫(xiě)，避免使用英文字符、代號(hào)、公式和上下標(biāo)等。題目字號(hào)小三、宋體、居中、加粗。不用此信息時(shí)，刪除此框。系 （部）： 汽車工程系 專 業(yè)： 班 級(jí)： 學(xué) 號(hào)： 學(xué)生姓名： 指導(dǎo)教師： 填表格式：字號(hào)四號(hào)、宋體、加粗，英文或數(shù)字使用Times New Roman字體，填寫(xiě)的文字應(yīng)盡量放在橫線的中部。不用此信息時(shí)，刪除此框。將相應(yīng)的年月日將其修改為實(shí)際的報(bào)告提交日期，不用此信息時(shí)，刪除此框。報(bào)告時(shí)間：2009 年 10月10日課題的背景意義及選題的依據(jù)，著重說(shuō)明本課題在國(guó)內(nèi)外的研究動(dòng)態(tài)、目前的水平。本課題的目的、意義和開(kāi)展研究工作的設(shè)想，準(zhǔn)備在哪些方面取得進(jìn)展和創(chuàng)新，課題的最終目標(biāo)以及可能達(dá)到的水平。，不用此信息時(shí)，刪除此框。一、課題研究的背景和意義微機(jī)械角速率傳感器是近些年來(lái)發(fā)展的新一代慣性儀表,已有十余年的歷史，與傳統(tǒng)的傳感器相比，采用MEMS技術(shù)制作的微型角速率傳感器不僅將具有傳統(tǒng)角速率傳感器耐沖擊、抗過(guò)載的特點(diǎn)，而且還將具有體積小、重量輕、功耗低、價(jià)格便宜的特點(diǎn)，適合利用微電子技術(shù)大批量生產(chǎn)。不僅在軍事領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前景，而且在民用領(lǐng)域也將得到廣泛的應(yīng)用，如相機(jī)防抖、汽車慣導(dǎo)系統(tǒng)、智能玩具等。因而，它是是未來(lái)低、中精度傳感器的理想換代產(chǎn)品，也是慣性技術(shù)向民用領(lǐng)域大量推廣應(yīng)用最有前途的儀表。隨著微機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展和信號(hào)處理技術(shù)的發(fā)展，微機(jī)械角速率傳感器的精度正不斷的提高，應(yīng)用領(lǐng)域也將不斷擴(kuò)大。畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）選題想說(shuō)明什么主要問(wèn)題，結(jié)論是什么，在開(kāi)題報(bào)告中要作為研究的基本內(nèi)容給予粗略的，但必須是清楚的介紹。不用此信息時(shí)，刪除此框。二、研究的基本內(nèi)容和擬解決的主要問(wèn)題目前，國(guó)內(nèi)外各種類型的傳感器有100多種，但射流角速率傳感器仍受到美、日等發(fā)達(dá)國(guó)家的極大重視，原因是這種角速率傳感器具有著其他傳感器不可媲美的一些特點(diǎn)。射流角速率傳感器是利用射流束在哥氏力（Coriolis）作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)角速度測(cè)量的，是一種具有陀螺功能，而沒(méi)有高速轉(zhuǎn)子的新型固態(tài)慣性傳感器。由于采用氣流來(lái)敏感角速度，不存在可動(dòng)部件，因而抗過(guò)載和抗沖擊的性能非常好，其承受過(guò)載的能力比一般陀螺高一個(gè)數(shù)量級(jí)，在承受16000g以上的沖擊后仍然能夠正常工作，是末制導(dǎo)炮彈不可缺少的關(guān)鍵部件；這種角速率傳感器響應(yīng)時(shí)間也比較快，約為5080ms；另外，其壽命和可靠性也比一般角速率傳感器高一到兩個(gè)數(shù)量級(jí)，平均無(wú)故障工作時(shí)間可達(dá)250000小時(shí)；而且這種傳感器具有成本低的特點(diǎn)，其成本約為一般傳感器的1/31/2；最后，這種傳感器的信號(hào)處理電路非常簡(jiǎn)單，只需要一個(gè)直流電橋即可以將角速度信號(hào)讀出。光纖陀螺也屬于固態(tài)慣性傳感器，抗沖擊和抗過(guò)載能力也比較強(qiáng)，但是其配套的電路系統(tǒng)比較復(fù)雜，而且價(jià)格較高。本次論文是突破了用傳統(tǒng)機(jī)械加工方法制成的射流角速度傳感器，將MEMS技術(shù)用于射流角速度傳感器，為射流角速度傳感器的微型化發(fā)展開(kāi)辟了一條新途徑。在開(kāi)題報(bào)告中學(xué)生要說(shuō)明自己準(zhǔn)備采用什么樣的研究方法。比如調(diào)查研究中的抽樣法、問(wèn)卷法，論文論證中的實(shí)證分析法、比較分析法等。不用此信息時(shí)，刪除此框。三、課題的研究方法及措施3.1研究方法（1）對(duì)射流角速率傳感器的版圖進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，使角速率傳感器的結(jié)構(gòu)達(dá)到最理想值；（2）使用ANSYS程序，建立有限元模型，進(jìn)行模態(tài)分析。（3）解決制作過(guò)程中遇到的工藝難題，尤其是在熱敏電阻絲的制作，鍵合工藝，以及ICP刻蝕中出現(xiàn)的問(wèn)題。（4）完成流片試驗(yàn)，制作出微型射流角速率傳感器樣片，進(jìn)行封裝和測(cè)試。本次論文是突破了用傳統(tǒng)機(jī)械加工方法制成的射流角速度傳感器，將MEMS技術(shù)用于射流角速度傳感器，為射流角速度傳感器的微型化發(fā)展開(kāi)辟了一條新途徑。二級(jí)標(biāo)題、三級(jí)標(biāo)題應(yīng)寫(xiě)成3.1、3.2和3.1.1、3.1.2的形式。具體要求詳見(jiàn)大專畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）模板。不用此信息時(shí)，刪除此框。3.2措施（1）參加反應(yīng)的氣體（SiCl2H2和NH3）和非反應(yīng)氣體混合物從管口部位進(jìn)入，運(yùn)輸?shù)骄哂幸欢ㄩL(zhǎng)度的管道淀積區(qū)內(nèi)。（2）反應(yīng)物分子隨主流氣體擴(kuò)散到達(dá)襯底表面并吸附在襯底表面上。（3）吸附在襯底表面上的反應(yīng)物分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成Si3N4沉積在硅表面上，而另一產(chǎn)物HCl氣體很容易外擴(kuò)散離開(kāi)表面。（4）反應(yīng)后的氣體被抽出積淀區(qū)。LPCVD生成Si3N4是不定型的介電材料，大約含有8%的氫原子。溫度、壓力，反應(yīng)物濃度均對(duì)該工藝有影響。課題研究工作的步驟和進(jìn)度就是課題研究在時(shí)間和順序上的安排。畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）創(chuàng)作過(guò)程中，材料收集、初稿的寫(xiě)作、論文的修改等 ，都要分階段進(jìn)行，每個(gè)階段從什么時(shí)間開(kāi)始，到什么時(shí)間結(jié)束都要有規(guī)定。不用此信息時(shí)，刪除此框。四、課題研究工作的步驟、進(jìn)度2005.112005.12 論題了解 閱讀了與論題有關(guān)的基礎(chǔ)性文獻(xiàn)，對(duì)射流角速率傳感器有一個(gè)較全面的了解2005.122006.3 流片實(shí)驗(yàn) 對(duì)射流角速率傳感器的版圖進(jìn)行流片，掌握每個(gè)工藝步驟2006.42006.9 模擬分析 使用ANSYS進(jìn)行建模分析，提出問(wèn)題，改進(jìn)版圖2006.102006.11 版圖設(shè)計(jì) 優(yōu)化版圖，提高結(jié)構(gòu)的可靠性，并進(jìn)行流片實(shí)驗(yàn)2006.112007.3 論文答辯 撰寫(xiě)論文，論文答辯 內(nèi)容舉例：(僅供學(xué)生參考)課題研究工作的步驟、進(jìn)度2008.11-2008.12 現(xiàn)場(chǎng)調(diào)研及文獻(xiàn)閱讀 確定煙臺(tái)交運(yùn)集團(tuán)發(fā)展現(xiàn)代物流的設(shè)計(jì)方案2009.12-2009.01 現(xiàn)代物流的設(shè)計(jì)方案分析，進(jìn)行相關(guān)實(shí)驗(yàn) 初步完成煙臺(tái)交運(yùn)集團(tuán)發(fā)展現(xiàn)代物流的優(yōu)化設(shè)計(jì)方案2009.01-2009.02 現(xiàn)代物流的最優(yōu)化設(shè)計(jì)、應(yīng)用 基本完成交運(yùn)集團(tuán)發(fā)展現(xiàn)代物流的優(yōu)化設(shè)計(jì)，并進(jìn)行相關(guān)應(yīng)用2009.03-2009.05 課題總結(jié)，撰寫(xiě)論文 對(duì)交運(yùn)集團(tuán)發(fā)展現(xiàn)代物流的應(yīng)用進(jìn)行總結(jié)，形成論文初稿2009.06 論文答辯 論文答辯，修改定稿以上紅字內(nèi)容改為論文題目在開(kāi)題報(bào)告中應(yīng)列出主要的參考文獻(xiàn)，在實(shí)際上介紹了自己的準(zhǔn)備情況，表明自己已了解所選課題的相關(guān)資料源，證明選題是有理論依據(jù)的。參考文獻(xiàn)內(nèi)容：宋體，字號(hào)：五號(hào)；參考文獻(xiàn)另起一頁(yè)。參考文獻(xiàn)按正文中引用順序排列；參考文獻(xiàn)數(shù)量不少于10篇，其中外文參考文獻(xiàn)不少于2篇，并且包含一定數(shù)量的期刊。參考文獻(xiàn)具體書(shū)寫(xiě)格式參見(jiàn)大專畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）模板。不用此信息時(shí)，刪除此框。五、主要參考文獻(xiàn)（列出至少10篇重要的參考文獻(xiàn)，其中外文至少2篇）1 王壽榮編著. 硅微型慣性器件理論及應(yīng)用. 南京: 東南大學(xué)出版社, 2000:1022美 格雷戈里 T. A. 科瓦奇. 微傳感器與微執(zhí)行器. 北京：科學(xué)出版社，2003,3:12923 張昆，馮立群，余昌鈺，等. 機(jī)器人柔性手腕的球面齒輪設(shè)計(jì)研究J. 清華大學(xué)學(xué)報(bào)，1994, 34(2): 1-7.4 鄭開(kāi)青. 通訊系統(tǒng)模擬及軟件D.北京：北方工業(yè)大學(xué)無(wú)線電系，1987.5 姜錫洲. 一種溫?zé)嵬夥笏幹苽浞椒≒.中國(guó)：881056073，1980-07-26.6 中華人民共和國(guó)國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局. GB31003102. 中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)量與單位S.北京：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社，1994-11-01.7 蕭鈺. 出版業(yè)信息化邁入快車道 EB/OL . 2002-04-15 . http:/www.creader. com/news/20011219/200112190019.html.8 姜英敏. 國(guó)際理解教育的發(fā)展及其問(wèn)題N.中國(guó)教育報(bào),2007-05-05(3).9 Greiff P, et al. Mioromechanical gyroscopic transducer with improved drive and sense capabilities. U.S patent No. 5408877, 15. 410 Tang W C. Laterally driven polysilicon resonant microstructures. Sensors and Actuators, 1989, A20: (25-32)11 Aslam, M., and Schulz, D.,”Thechnology of Diamond Microelectromechaincal Systems,” Proceedings of Transducers95, the 8th international Conference on Solid-Stat