常見(jiàn)PECVD鍍膜色差片

1、 現(xiàn)象：1、片子的背面外圍一圈沒(méi)有鍍上膜，呈硅片原色，中間顏色不定，有藍(lán)色 和彩色等； 2、片子的正面邊緣色彩正常，為藍(lán)色，膜厚正常，中間一般呈紅色。 一、石墨舟片上有一面沒(méi)有插片 背面正面 原因分析：石墨片上有一面未插硅片，就會(huì)造成兩片返工片，一片為背面，一片為 正面，已經(jīng)跟生產(chǎn)部強(qiáng)調(diào)過(guò)一定要插滿(mǎn)石墨片，但這種現(xiàn)象仍然存在很多。 解決方法：要求生產(chǎn)人員石墨片上一定要插滿(mǎn)硅片，若硅片不夠，用假片代替。 二、鍍膜過(guò)程中硅片滑落或者碎裂 現(xiàn)象：1、片子表面一部分已經(jīng)鍍上膜，還有一部分為硅片本色； 2、片子上部分鍍膜均勻，部分呈彩虹色彩，顏色較多。 滑落碎片 原因分析：由于上舟過(guò)程中的機(jī)械臂抖動(dòng)造成

2、硅片部分滑落或者碎片，這樣在鍍 膜過(guò)程中會(huì)造成如上圖的現(xiàn)象。 解決辦法：在產(chǎn)線(xiàn)員工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片時(shí)要對(duì)石墨舟輕 輕拍打，看是否存在片子沒(méi)有卡到的現(xiàn)象，如有，及時(shí)調(diào)整，插片過(guò)程中，如有 碎片，要及時(shí)清理出，同時(shí)在上舟時(shí)要盡量保持舟和機(jī)械臂、漿的平穩(wěn)性。 三、片子整體發(fā)白 現(xiàn)象：片子整體發(fā)白 原因分析： 1、由于在上一舟由于短路未鍍上膜，立即進(jìn)入爐管這樣因?yàn)闇囟绕撸瑢?dǎo)致膜 厚偏大（一般整舟出現(xiàn)）； 2、還有可能是在運(yùn)行過(guò)程出現(xiàn)各種報(bào)警，導(dǎo)致石墨舟在爐管里時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，也會(huì) 造成溫度異常，而造成膜厚偏厚； 3、在區(qū)PSG的時(shí)候片子沒(méi)有洗干凈，在后面會(huì)出現(xiàn)膜厚偏高，片子發(fā)白； 4、

3、鍍膜出來(lái)的片子膜厚正常，但是片子發(fā)白，用橢偏儀檢測(cè)后發(fā)現(xiàn)折射率偏高。 解決方法： 1、出現(xiàn)因短路造成沒(méi)鍍上膜的的片子（整舟出現(xiàn)）（需要工藝人員確認(rèn)），石 墨舟退出后，待石墨舟冷卻后再進(jìn)入爐管重新鍍膜； 2、當(dāng)機(jī)器出現(xiàn)報(bào)警時(shí)，工藝要做的就是把握片子在爐管的時(shí)間，要及時(shí)和設(shè)備 溝通，如果需要維修時(shí)間較長(zhǎng)，可以將工藝關(guān)閉，讓設(shè)備手動(dòng)取出舟，然后再讓 其維修； 3、當(dāng)發(fā)現(xiàn)去PSG沒(méi)有洗干凈時(shí)，立即將所有從去PSG留下的片子取回重新清洗， 在清洗前要檢查酸槽的濃度是否正常，如果不正常，建議重新?lián)Q酸后再清洗； 4、折射率偏低的片子， 4-1、先要檢查氣體流量是否被更改； 4-2、要及時(shí)檢查機(jī)器氣體流量是否

4、異常存不存在在工藝時(shí)氣體流量被關(guān)閉的現(xiàn) 象，如有，及時(shí)和設(shè)備溝通，維修機(jī)器； 4-3、如果氣體流量正常，可以請(qǐng)?jiān)O(shè)備檢查氣體單向閥和流量計(jì)是否異常。 四、片子部分發(fā)白 現(xiàn)象：片子的某一部分呈白色，有規(guī)則的、位置相同的，有不規(guī)則的位置不相同的。 清洗后鍍膜后 原因分析：此為前面擴(kuò)散工序在擴(kuò)散過(guò)程中偏磷酸滴落在片子上導(dǎo)致 解決方法：前段在交接此等片子的時(shí)候，一定要通知PE工藝，如果沒(méi)有通知，發(fā)現(xiàn) 立即對(duì)此停做，片子返回前段工序，讓其返工。 不規(guī)則的，位置不相同的 規(guī)則的，位置相同的 原因分析：規(guī)則的一般是在同一邊，由于去PSG機(jī)器長(zhǎng)時(shí)間的清洗，每一次提籃 可能都會(huì)帶走一些液體，導(dǎo)致槽內(nèi)的液位降低，當(dāng)

5、液位低至籃的最高位置時(shí)， 就會(huì)出現(xiàn)此種情況； 解決方法：先要找到是那臺(tái)機(jī)器存在問(wèn)題，發(fā)現(xiàn)后立即對(duì)其加液，加滿(mǎn)后對(duì)此 酸的濃度進(jìn)行檢測(cè)，如正常，可正常生產(chǎn)，如酸濃度較低，得對(duì)此進(jìn)行酸液補(bǔ) 償 五、彩虹片 現(xiàn)象：片子的某一位置存在混合顏色的片子 原因分析：可能由于有部分碎片粘在硅片上、定位柱損壞、插片時(shí)未插到位、或 者由于其他原因?qū)е鹿杵暇植侩娏鬟^(guò)大都會(huì)造成彩虹片。 解決辦法： 插片要插到位，若發(fā)現(xiàn)定位柱有損傷，請(qǐng)立即通知工藝人員。 六、部分位置發(fā)黃片 現(xiàn)象：部分位置發(fā)黃，主要是片子的邊緣四周會(huì)出現(xiàn)發(fā)黃 原因分析： 1、由于插片時(shí)未到位或者在移動(dòng)石墨舟過(guò)程中造成硅片與石墨片未完全接觸，會(huì) 造成部

6、分位置發(fā)黃； 2、石墨舟使用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，舟的某些部位較臟，會(huì)出現(xiàn)一些色差片，會(huì)有此類(lèi)片子 產(chǎn)生 解決辦法： 1、在產(chǎn)線(xiàn)員工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片時(shí)要對(duì)石墨舟輕輕拍打，看 是否存在片子沒(méi)有卡到的現(xiàn)象，如有，及時(shí)調(diào)整，插片過(guò)程中，如有碎片，要及時(shí) 清理出，同時(shí)在上舟時(shí)要盡量保持舟和機(jī)械臂、漿的平穩(wěn)性。 2、當(dāng)出現(xiàn)此種色差片的時(shí)候，我們首先要做的是要統(tǒng)計(jì)其色差片的次數(shù)，如果超過(guò) 10pcs，我們就要對(duì)此舟進(jìn)行跟蹤： 一、檢查舟的使用次數(shù)，如果到了工藝規(guī)定的使用壽命，立即對(duì)其停用，對(duì)其清洗； 二、檢驗(yàn)舟的插片情況，可能會(huì)存在新人作業(yè)，插片不到位導(dǎo)致色差，確認(rèn)無(wú)誤； 三、檢查片子在舟里的出處

7、，看是否為我們工藝造成的色差（這個(gè)需要重新用一個(gè) 好舟來(lái)驗(yàn)證），如果是，及時(shí)調(diào)整； 四、也有可能為新洗舟沒(méi)有洗干凈導(dǎo)致，及時(shí)對(duì)其停用，重新清洗。 七、整體發(fā)黃 現(xiàn)象：整體發(fā)黃 1、硅片表面呈淡黃色； 2、硅片表面呈深黃色； 3、硅片表面黃色和其他顏色共存。 顏色共存 原因分析：由于工藝運(yùn)行中出現(xiàn)各種報(bào)警、流量計(jì)堵塞、導(dǎo)致射頻停止，這樣鍍膜 不完全，會(huì)造成整舟出現(xiàn)發(fā)黃片。 解決辦法：與機(jī)器設(shè)備有關(guān)，如何解決各種報(bào)警信息（如高頻異常、真空異常、壓 力異常）等，廠(chǎng)商還未給出較好的答案，工藝要做的就是在發(fā)生問(wèn)題的時(shí)候找到屬 于工藝自己的答案，交由設(shè)備處理，同時(shí)對(duì)1、2兩種情況的片子有興趣的話(huà)可以進(jìn) 行重新鍍膜。 重新鍍膜可以嘗試的方法： 用橢偏儀檢測(cè)發(fā)黃片子的膜厚： 1、如果在50nm左右可以直接放置在原先的管中運(yùn)行至第5步，然后跳步至14步，開(kāi) 始二次鍍膜； 2、如果檢測(cè)出來(lái)的膜厚超過(guò)50nm，譬如55nm，我們可以計(jì)算，原硅片的膜厚大概 在47nm左右，一次鍍膜后膜厚在50nm左右，我們以50nm為準(zhǔn)，那么根據(jù)我們所要得 到的膜厚85nm來(lái)計(jì)算，第二步鍍膜我們需要