浮法在線化學汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊

1、浮法在線化學汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊秦皇島玻璃工業(yè)研究設計院一九九六年五月文檔可自由編輯打印一、化學汽相淀積法鍍膜原理化學汽相淀積（CVD）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，CVD是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成份以化學方法反應形成固體薄膜，作為一種固相反應產(chǎn)物凝結(jié)在襯底上。反應應該接近或就在襯底表面上發(fā)生（復相反應），而且不應在氣相下發(fā)生，以免粉末狀淀積生成。反應的活化，可以用各種方法實現(xiàn)。已經(jīng)觀察到，工藝參數(shù)如襯底溫度、氣相壓強、反應物的濃度、流率等，對淀積膜的性質(zhì)有顯著的影響。大約在五十年前，當耐熔化合物如金屬碳化物、氮化物、硅化物、硼化物、氧化物以及它們的混合相進入廣泛技

2、術(shù)應用時，化學蒸汽淀積才開始對薄膜技術(shù)發(fā)生重要影響。今天薄膜技術(shù)的應用已擴展到制備金屬膜和合金膜、元素半導體膜和化合物半導體膜、超導體膜、耐熔和硬質(zhì)材料膜、透明導體膜及其它特殊膜。考慮下述三種分解反應：Ni(CO)4200-300Ni+4COSiH4800-1300Si+2H2CH41000-2000C+2H2顯然，膜淀積要求相當高的溫度，對襯底的高溫加熱，會導致大量的不必要的熱損傷，這與材料的種類有關(guān)，溫度也影響膜的結(jié)構(gòu)。業(yè)已知道，高溫時形成的淀積層一般是多晶，而在相對低的溫度如600以下時，淀積的材料趨向于非晶態(tài)，它的結(jié)構(gòu)是不穩(wěn)定的。在400以上溫度退火它將會重新結(jié)晶形成晶粒，并由此引起電

3、阻率、折射率、光吸收、自旋密度和介電常數(shù)等性能的變化。與此相反，在600以上淀積的多晶硅膜則是穩(wěn)定的。620淀積的多晶硅膜經(jīng)過退火，溫度上升到1000在電子顯微鏡下觀察，沒有觀察到其結(jié)構(gòu)有明顯變化，在1100是才略有改變。這表明用SiH4作為反應氣體，在620以上淀積的多晶硅膜結(jié)構(gòu)上是穩(wěn)定的。二、工藝技術(shù)參數(shù)1、鍍膜位置溫度：板下錫液溫度62552、玻璃拉引速度：180395m/h 360m/h 是為最佳值3、經(jīng)過減壓器反應氣體SiH4、C2H2的壓力為0.25Mpa4、反應器工作時底面石墨距玻璃板面1.53mm5、反應氣體原料配比：表1SiH4（M/h）C2H2（M/h）N2（M/h）T（%

4、）B-202.850.22203B-252.70.22253B-302.70.220.8303C-302.550.2303C-352.00.2353C-401.850.2403注：B系列，本體玻璃為藍色，C系列，本體玻璃為白色。三、鍍膜設備簡介鍍膜設備主要包括三個部分：供配氣系統(tǒng)、鍍膜機組及輔助設備。1、供配氣系統(tǒng)：供配氣系統(tǒng)主要由匯流排、配氣柜和氣體輸送管路組成。匯流排采用40升鋼瓶盛裝、貯存、輸送反應氣體和清洗氣體。硅烷采用26瓶位匯流排，6個瓶為一組，兩組硅烷切換可實現(xiàn)更換氣瓶不影響生產(chǎn)線上的連續(xù)生產(chǎn)。硅烷匯流排設有高壓、低壓壓力監(jiān)測、顯示、報警和高壓自動緊急切斷；乙烯采用21瓶位，乙烯

5、匯流排設有高壓、低壓壓力監(jiān)測、顯示、報警和高壓自動緊急切斷；另設氮氣匯流排，用于清洗匯流排及管路。將硅烷、乙烯、氮氣經(jīng)減壓器減壓，送入配氣柜進行配氣。配氣柜由1個混合器、2個質(zhì)量流量控制器、1個電遠傳轉(zhuǎn)子流量計、2個玻璃轉(zhuǎn)子流量計、2個壓力表、4個過濾器、若干閥門及若干管件利用銅管組合而成。配氣柜主要作用是調(diào)節(jié)反應器氣體的配比及混合均化。配好的氣體分兩路從錫槽兩側(cè)進入反應器，進入反應器之前錫槽底部都設置兩個膨脹箱，以使反應氣體更加。硅烷、乙烯設有流量監(jiān)測、顯示、報警及控制。2、鍍膜機組：鍍膜機組主要設備有反應器、排氣裝置、大車、雙梁車和升降臺。反應器：反應器由水冷梁、石墨和四個輪子組成。石墨固

6、定在水冷梁上，以形成鍍膜氣體通過的U形通道。四個輪子安裝于水冷梁的輪軸上，支承反應器和在雙梁車的水冷軌道上行走。在鍍膜操作時，反應器一端穿過錫槽，橫跨錫槽空間，且反應器石墨底面距玻璃板表面很近，錫槽內(nèi)寬2.44米，這要求反應器具有良好的剛性來保證石墨底面與玻璃板表面平行。通過撓度計算和水冷梁結(jié)構(gòu)的合理設計，使反應器的撓度僅為0.5毫米。鍍膜氣體通過水冷梁內(nèi)部氣室冷卻，防止鍍膜氣體在到達玻璃板表面之前溫度過高分解造成膜面顏色不均勻。當調(diào)配好的鍍膜氣體均等的以一定速度進入反應器的兩個進氣口時，經(jīng)過反應器氣室出口的特殊噴嘴，使鍍膜氣體穩(wěn)定地分解淀積在玻璃原板上，形成顏色均勻的膜層。排氣裝置：排氣裝置

7、與反應器連為一體，排氣裝置上有一能形成均等負壓的狹縫，以使廢氣均勻排出。錫槽兩側(cè)各設一個引設器，通過調(diào)整壓縮空氣量來調(diào)整排氣負壓，排氣負壓設有監(jiān)測、顯示。大車：大車在非鍍膜操作時承載雙梁車、反應器和排氣裝置，在鍍膜操作時使雙梁車順利通過錫槽，與錫槽另一側(cè)的升降臺銜接，形成橫跨錫槽可升降的水冷梁。它主要由上部框架、底座、行走和升降機構(gòu)、反應器行走機構(gòu)和反應器調(diào)彎等組成。錫槽池壁上沿距玻璃板面3040毫米，在鍍膜操作時反應器石墨底面距玻璃很近，這就要求支承反應器和排氣裝置的大車和升降臺具有調(diào)節(jié)反應器石墨底面與玻璃板面距離的性能，并能夠?qū)崿F(xiàn)精密調(diào)節(jié)和快速升降的功能。為了達到這種要求，在大車（和升降臺

8、）底座上設計了升降機，通過連桿將升降機和減速機連接、減速機與電機的傳動以及電磁離合器的設計，實現(xiàn)了手動精密調(diào)節(jié)和電動快速升降。并通過控制系統(tǒng)實現(xiàn)大車和升降臺的同步操作、單獨操作。由于錫槽側(cè)墻開口周圍環(huán)境溫度很高，為了便于操作所設計的控制系統(tǒng)，可在控制室可現(xiàn)場操作大車、升降臺的升降。雙梁車：雙梁車主要是在鍍膜操作時支撐反應器和排氣裝置。在反應器進入錫槽前，雙梁車要穿過錫槽與升降臺銜接，形成錫槽內(nèi)連續(xù)軌道。雙梁車有電動行走機構(gòu)。升降臺：升降臺主要是通過驅(qū)動升降電機承接從錫槽另一側(cè)過來的雙梁車水冷軌道，同時將反應器升高或降低到合適的位置或鍍膜位置?？膳c大車同步操作。3、控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)包括供配氣系

9、統(tǒng)的控制、大車、雙梁車、反應器、升降臺的控制及排氣負壓監(jiān)測和工業(yè)電視觀測?？刂品桨覆捎米詣雍褪謩觾煞N控制方法，在自動控制中，主要采用可編程序控制器PLC控制。手動控制和PLC自動控制可單獨對整個鍍膜系統(tǒng)進行操作。4、輔助設備：輔助設備主要包括壓縮空氣、照明邊封、專用裝配工具。壓縮空氣用于排氣負壓調(diào)整和排氣裝置清掃氣缸。從壓縮空氣主管道引氣到穩(wěn)壓罐（約1m3），穩(wěn)壓罐減壓后引到錫槽兩側(cè)鍍膜位置，大車側(cè)設兩個接頭，用于引射器和清掃氣缸。鍍膜生產(chǎn)前，在靠近鍍膜位置上游及下游錫槽邊封處各放置一個觀察邊封，在錫槽兩側(cè)的觀察邊封上各裝一個電視攝像頭，使鍍膜操作觀察方便。專用裝配工具有噴嘴夾塊固定規(guī)和狹縫規(guī)

10、，均用于反應器的安裝。四、產(chǎn)品性能1、產(chǎn)品品種：鍍膜產(chǎn)品分為兩個系列，以寶石藍玻璃為基片的稱B系列，以白玻璃為基片的稱C系列，B系列三種產(chǎn)品B-20、B-25、B-30，透射為淺灰綠色，反射為藍色。C系列三種產(chǎn)品C-30、C-35、C-40，透射為淺茶色，反射為銀白色。表2類別代號透光率外觀性能白鍍膜玻璃（5mm）C-30303%透射為淺茶色，反射為銀白色C-35355%C-40405%寶石藍鍍膜玻璃（5mm）B-20203%透射為淺灰綠色，反射為藍色B-25253%B-30303%2、光學性能：表3性能白鍍膜玻璃（5mm）C-30寶石藍鍍膜玻璃（5mm）B-20可見光反射率455%485%可

11、見光透射率303%203%太陽光反射率355%365%太陽光透射率355%335%3、耐化學浸蝕性：符合美國愛可太陽能產(chǎn)品公司企業(yè)標準，即5%HCl、5%HNO3、5%H2SO4或者20%NaOH和普通氨水分別浸泡1小時后取出，顏色無變化。強化搞堿性試驗：在1N NaOH溶液中煮沸40分鐘取出，膜面無變化。4、耐磨性：符合美國愛可太陽能公司企業(yè)標準，即用Toble研磨機磨300轉(zhuǎn)后，可見光透過率T8%。5、均勻性：符合國家熱反射玻璃標準（報批稿），色差T4NBS。6、外觀：色彩均勻性、膜層變色、針孔和斑點均符合美國愛可太陽能產(chǎn)品公司企業(yè)標準。7、發(fā)霧性：在溫度40、濕度90%條件下存放48小時

12、取出，膜面無變化。8、鋼化性：鍍膜產(chǎn)品經(jīng)過太原平板玻璃廠鋼化車間平鋼化爐整板鋼化，膜面無變化，證明該產(chǎn)品可鋼化處理。9、熱彎性：該產(chǎn)品經(jīng)太原玻璃廠做鍋蓋熱彎，膜面無變化，證明該產(chǎn)品可熱彎。五、鍍膜生產(chǎn)時出現(xiàn)問題的處理方法1、沿反應器石墨底面溢出棕色氣體是由于排氣量不足，應將引射器的壓縮空氣量開大。2、玻璃板面出現(xiàn)邊部顏色淡，中間深或有魚鱗狀不均勻現(xiàn)象，可能是排氣抽力過大，應將引射器的壓縮空氣關(guān)小。3、玻璃板面出現(xiàn)很細縱向條紋時，先檢驗反應器石墨上游趾及中心塊是否有損傷。若有損傷，及時補修或更換，若不是由此所至，可能是反應器噴嘴局部堵塞所至，應及時清洗噴嘴或更換。4、若玻璃板膜面出現(xiàn)斑點，是鍍膜

13、位置溫度過高，應及時采取措施，使玻璃板面溫度降至鍍膜適宜溫度。5、玻璃板面出現(xiàn)劃傷，是有硬物滯留在反應器石墨底面，應立即升起反應器，清理掉硬物。6、玻璃板面出現(xiàn)白霧，反應器在錫槽內(nèi)穩(wěn)定時間不夠或玻璃板溫度過高。7、若玻璃板面鍍膜深度在寬度方向上由一邊向另一邊逐漸由濃變淡，可能是反應器底面距玻璃面一邊高一邊低造成的，或是錫槽本身橫向溫差所致，應及時調(diào)整。六、生產(chǎn)條件1、錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔（300mm高900mm寬）。2、至錫槽的純氮氣管道一條，出口端壓力1000mmH2O，用量10m3/h。3、壓力空氣管道引至錫槽出口處兩側(cè)，設穩(wěn)壓罐一個，配有安全閥及調(diào)壓閥。壓力3Kg/cm2，用量1m3/mi

14、n。4、錫槽兩側(cè)冷卻水用量：50m3/h，壓力2Kg/cm2。5、鍍膜位置溫度偏差：縱向應小于5，橫向應小于10。玻璃帶偏置50mm。6、操作觀察孔4個。7、供氣站房間一間（最小84米）。8、匯流排固定架。9、排氣管道（2”或3”）。七、工藝流程圖見附頁。八、質(zhì)量檢測產(chǎn)品質(zhì)量檢測項目主要有光學性能、耐磨性、耐化學浸蝕性、色差及外觀質(zhì)量等，分別按國內(nèi)有關(guān)標準進行測試。詳見質(zhì)量檢測及檢測標準。外觀質(zhì)量檢測。還要進行耐化學浸蝕強化試驗，取5050mm樣片，放在煮沸的1NnaOH溶液中30分鐘膜面不脫落則為合格。浮法在線化學汽相淀積鍍膜安全規(guī)程秦皇島玻璃工業(yè)研究設計院一九九六年五月浮法在線汽相淀積鍍膜

15、玻璃生產(chǎn)所有原料有SiH4、C2H4和N2。均以40升鋼瓶裝，SiH4為易燃性氣體，在空氣中能自燃。瓶裝壓力為5Mpa。C2H4為易爆性氣體，在空氣中含量達到燃燒限遇明火能引起爆炸。裝瓶壓力為3.34Mpa，低溫下為液體。N2為15Mpa高壓氣體。硅烷和乙烯兩種氣體在供氣站中分室布置，不能同時放在一個房間，供氣站必須有良好的通風及防火防爆設施。一、安全規(guī)程1、供氣站內(nèi)嚴禁明火，室內(nèi)門窗全部為鋼口窗，并且貼上防金屬碰撞的橡膠條。供氣站內(nèi)備有硅化干粉滅火器和1211滅火器。2、室內(nèi)照明全部采用防爆燈，照明電線與SiH4管道、C2H4管道相距就大于1.5米，開關(guān)安于室外。3、排風機全部使用防爆軸流風

16、機。4、各種管道涂成不同的顏色以便區(qū)分，硅烷管道涂成紅色，乙烯管道涂成褐色，氮氣管道涂成黃色。5、耐壓試驗及氣密性試驗：管道安裝后要進行嚴密性試驗。以氮氣進行嚴密性試驗。硅烷、乙烯匯流排壓力為7.5Mpa，氮氣匯流排壓力為15Mpa，管道壓力為0.35Mpa。在管道各連接處抹以肥皂水檢查，觀察無漏氣后保持2小時，測定漏氣程度，每小時漏氣不超過試驗開始時氣體容積5%認為合格。6、硅烷滅火使用硅化干粉滅火器，乙烯滅火使用1211滅火器。在供氣站門外放置相應的滅火器。7、 匯流排應使用規(guī)定的介質(zhì)，不得與其它介質(zhì)混用，以免發(fā)生危險。硅烷、乙烯匯流排嚴禁接觸油脂，以免發(fā)生火警事故。氣體匯流排不要裝在有腐

17、蝕性介質(zhì)的地方。氣體匯流排投入使用后，應進行日常維護，嚴禁敲擊管件。正常使用中，每年必須對壓力表進行計量檢測。使用滿三年的匯流排，應請有經(jīng)驗的單位進行全部檢查，更換關(guān)鍵部件，以確保使用安全。二、安全技術(shù)措施1、匯流排設高壓電磁閥（6.3Mpa）及壓力變送器（7Mpa），具有超壓報警及泄露報警電磁閥可以做緊急切斷高壓氣體，并提醒操作人員處理。2、房間設有防爆軸流通風機及自然通風管，保證房間內(nèi)通風。3、排空管末端設有水封器，以保證管道與空氣隔絕。4、使用40升鋼瓶裝氣體原料，最大工作壓力為20Mpa，現(xiàn)工作壓力為5Mpa，使用安全系數(shù)為400%。5、使用硅烷氣體的濃度為10%，在空氣中能自燃，但由

18、于濃度低，火焰溫度低，不會因漏氣灼傷人體。三、氣體的貯存1、硅烷（濃度為10%）與乙烯兩種氣體分室貯存，房間要有通風措施，嚴禁明火，房間內(nèi)無電力電纜，氣體遠離熱力管，無易燃品。并且備有消防設備。（硅烷備硅化干粉滅火器，乙烯備1211滅火器）2、按氣體供應廠家的具體要求，貯存放置氣瓶。3、原則上氣體不應大量長期貯存，盡量作到使用時購買，庫房做短期貯存用。4、硅烷物理性質(zhì)：（純硅烷）分子量：32.09熔點：-185.0沸點：-111.9臨界溫度：-3.5臨界壓力：47.8kg/cm2粘度：112.410-6比重：1.114（21，與空氣相比）化學性質(zhì)：無色具有特殊臭味的氣體，有毒。在常溫常壓下與氧

19、氣和空氣接觸會自燃，產(chǎn)生白色、棕色和黃色固體。能緩慢水解，在堿性溶液中反應加快。與乙醇、乙醚等有機溶劑沒有明顯反應。易與硝酸銀溶液反應，產(chǎn)生棕黑色的硅化銀沉淀，此反應可檢出硅烷的存在。大于600時，發(fā)生分解。使用注意事項：色標：硅烷鋼瓶為紅色瓶體、白字并標易燃壓縮氣體標志。使用硅烷的系統(tǒng)必須具有良好的氣密性，否則管道中有氧化硅粉塵，影響工藝衛(wèi)生。充氫的硅烷危險性大于氮、氬稀釋的，應防止與氧混合，嚴禁與火焰接觸，所以要更加重視安全，防止回火。2.5%濃度的硅烷一般不自燃，自冒白煙。稀釋硅烷使用中要經(jīng)常平放滾動，否則長期直立使用會發(fā)現(xiàn)越用濃度越高。硅烷是一種強還原性氣體，嚴禁充強氧化性氣體中去。空

20、氣中極限允許濃度為0.5ppm，吸入后可引起頭痛頭暈。5、乙烯乙烯是一種無色，帶有甜香味的氣體，化學性質(zhì)活潑。是石油化工的一種基本原料。物理性質(zhì)：分子量：28.05氣體密度：（20，1大氣壓）1.17g/l沸點：-103.7液體密度：（沸點時）0.57g/ml熔點：-169.5臨界壓力：50.5大氣壓臨界溫度：9.9燃燒限：（空氣中）3.132.0%四、匯流排的安全使用與維護1、開啟減壓器前的截止閥要緩慢，由壓力表指示壓力，再順時針轉(zhuǎn)動減壓器調(diào)節(jié)螺桿，此時低壓壓力表顯示低壓壓力值。向減壓器供氣時，防止突然開啟，以免沖擊減壓器，使減壓器失靈。2、安裝時，注意連接部位的清潔，切忌臟物、垃圾進入減壓

21、器。3、連接部分出現(xiàn)漏氣時，一般是由于螺絲扳緊力不夠或熱圈損傷，應適當扳緊或更換密封熱圈。4、發(fā)現(xiàn)減壓器有損壞或漏氣，或低壓表壓力不斷上升，以及壓力表回不到零位等現(xiàn)象，應及時進行修理。五、配氣柜的安全使用與維護1、氣體經(jīng)過流量計之前，要先打開流量計下游的所有閥門，給流量計供氣時，要緩慢打開流量計下游截止閥，使壓力和流量逐漸升高，切忌突然開大截止閥，使浮子撞擊，損壞流量計。2、氣路安裝完畢，要進行氣密性試驗，壓力為0.3Mpa，在管道各連接處抹以肥皂水檢查，觀察無漏氣現(xiàn)象即可。3、定期對壓力表進行校驗，流量計要經(jīng)常清洗，不允許有雜物、灰塵等。六、鍍膜機組應急處理1、雙梁車和反應器進入錫槽之前必須

22、通入冷卻水，同時反應器要通入保護氣體。鍍膜生產(chǎn)結(jié)束，反應器退出錫槽，仍然要通入一段時間的保護氣體，一方面作用是清洗反應器，另一方面作用是防止高溫下石墨件的氧化。2、鍍膜生產(chǎn)時若突然臨時停水，應迅速操作電動系統(tǒng)，同時升起反應器到達平衡位置，然后退出反應器，再將雙梁車、大車退出錫槽，以防止水冷軌道梁及反應器熱變形，或反應器落入錫槽發(fā)生重大事故。3、鍍膜生產(chǎn)時若突然停電，應立即停止生產(chǎn)，關(guān)閉氣源，迅速操作手動系統(tǒng)，將反應器升到平衡位置，同時手動釋放反應器、雙梁車驅(qū)動電機制動閘，人工將反應器拖出錫槽，再將雙梁車、大車拖出錫槽。4、鍍膜生產(chǎn)時，操作人員要經(jīng)常觀察反應器底面距玻璃板面的距離，及時調(diào)節(jié)，發(fā)現(xiàn)

23、硬物卡在反應器與玻璃板之間或反應器上游有雜物堵塞，應迅速升起反應器，排除雜物。上海海諾進出口貿(mào)易有限公司長期供應純硅烷和一氧化碳，純硅烷的包裝物為44或47升的鋼瓶，每瓶的充裝量為10或15公斤，硅烷的純度為5N，報價為1000元/公斤。一氧化碳的包裝物為40升的鋼瓶和3000Nm3的管束槽箱，純度為2N或3N，其中鋼瓶的充裝量為5Nm3/瓶。有意者請盡快與我們聯(lián)系，我們將為你提供品質(zhì)優(yōu)良，價格合理的產(chǎn)品。產(chǎn)品規(guī)格：硅烷純度為5N，一氧化碳純度為2N/3N。產(chǎn)品數(shù)量：包裝說明：鋼瓶和管束槽箱價格說明：純硅烷1000/公斤發(fā)布時間：2004-9-10 17:04:33有 效 期：2004-12-

24、9上海海諾進出口貿(mào)易有限公司錢 琳 女士 (職員) 辦公地址：上海市上海市浦東新區(qū)上海浦東張楊路228號湯臣中心A座906室郵編：200120電話：86-傳真：86-移動電話：電子郵件：公司網(wǎng)址：浮法在線化學汽相淀積鍍膜質(zhì)量檢驗與標準秦皇島玻璃工業(yè)研究設計院一九九六年五月1、主要內(nèi)容和適用范圍本標準規(guī)定了浮法在線鍍膜玻璃的分類、技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和儲存。本標準適用于浮法在線汽相淀積法生產(chǎn)的鍍膜玻璃。2、引用標準GB11614-1989 浮法玻璃ISO09050-90（E）建筑玻璃光透過率、日光直接透過率、總太陽能透過率和紫外線透過率的測定法以及窗玻璃的有關(guān)參數(shù)GB

25、熱反射玻璃滬Q/NJ19-30-89鍍膜裝璜玻璃秦Q/YHQ341-89鍍膜平板玻璃Q/TB001-92吸熱浮法玻璃3、產(chǎn)品分類31按顏色分：白玻璃膜（青銅色）、藍玻璃膜、綠玻璃膜、茶玻璃膜。32按厚度分：3mm、4mm、5mm、6mm。33按外觀質(zhì)量分：優(yōu)等品、一級品、合格品三個等級。4、尺寸玻璃板為矩形，正常生產(chǎn)尺寸一般不小于2000mm1500mm，其它尺寸由供需雙方協(xié)商。5、外觀質(zhì)量51基片質(zhì)量：厚度偏差、裂口、彎曲度、尺寸偏差（包括偏斜）、邊部凸出或殘缺部分缺角深度、外觀質(zhì)量及等級確定應符合GB11614規(guī)定。52鍍膜質(zhì)量：針孔、斑紋、斑點、劃傷用612方法檢驗符合表1規(guī)定。缺 陷等

26、 級名稱說明優(yōu)等品一級品合 格針孔直徑12mm集中的不允許集中的每平方米允許2處不限直徑12mm而16mm中部不允許邊緣75mm允許3個集中的不允許不限直徑16mm而25mm不允許邊部75mm允許4個，中部允許2個邊部75mm允許8個中部2個直徑25毫米不允許斑紋不允許斑點直徑16mm而5mm不允許4個8個劃傷寬度01mm，03 mm的每平方米允許條數(shù)長度50mm的允許4條長度100mm的允許4條不限寬度03mm的每平方米允許條數(shù)不允許寬度04長度100mm的允許1條寬度03長度100mm的允許2條52理化性能521膜層牢固性：鍍膜玻璃采用621方法試驗10次，膜層不脫落為合格。522耐磨性能

27、：鍍膜玻璃的膜面采用622方法磨后，透射率平均值8%。523耐酸堿性能：鍍膜玻璃的采用623方法，在酸或堿溶液中浸泡后取出，膜面無明顯斑點、變色。524耐鹽水浸漬性能：鍍膜玻璃的采用624方法，在鹽水中浸泡后取出，應無大于1mm變點。525光學性能：光學性能符合表2要求。表2品種測試項目性能指標（%）無色基片鍍膜玻璃（5mm）可見光透過率20-35可見光反射率30-55太陽輻射透過率35-45太陽輻射反射率25-35寶石藍基片鍍膜玻璃（5mm）可見光透過率20-35可見光反射率30-35太陽輻射透過率30-40太陽輻射反射率20-35526顏色均勻性：鍍膜玻璃的顏色應均勻一致。目測應無明顯異色

28、及不均勻現(xiàn)象，且同一批產(chǎn)品以及每片鍍膜玻璃色差應不大于4NBS。6檢驗方法61外觀質(zhì)量檢驗611玻璃厚度偏差、尺寸偏差（包括偏斜）、彎曲度、邊部凸出或殘缺部分，缺角深度等項按GB11614規(guī)定檢驗。612針孔、斑紋、斑點、劃傷的檢驗用裝有間距300mm5只40W日光燈管的黑色柜架，玻璃垂直放置與日光燈管平行并相距600mm，觀察者距玻璃板2米視線垂直玻璃觀察。疵點尺寸用精確1mm的金屬尺或放大10倍用精度01mm讀數(shù)顯微鏡測定。62理化性能檢驗621膜層牢固性檢驗取10025mm樣片三塊，用一段長35-40mm，寬10-15mm的粘膠帶，密實地粘貼在膜層上，迅速將膠帶掀起，再換新膠帶在同一部位

29、反復粘膠10次。622耐磨性能的檢驗取100mm100mm的試樣，分別測四點的透射比，取其平均值。然后在一裝有兩磨輪的水平轉(zhuǎn)臺上進行研磨。兩輪的轉(zhuǎn)數(shù)為65-75轉(zhuǎn)/分，直徑為45-50mm，厚度為125mm，硬度為725IRHD。兩輪擱放在試樣上并施加500g的壓力，旋轉(zhuǎn)300轉(zhuǎn)后，取下試樣，測其四點透射比的變化值來判斷膜的耐磨性。按下式計算：T=T2-T1式中：T試樣研磨前后平均透射比的變化值T1試樣研磨前的平均透射比T2試樣研磨后的平均透射比623耐酸堿性的檢驗將鍍膜玻璃切成4040mm小塊，分別放入5%HCl、5%HNO3、5%H2SO4、20%NaOH和普通氨水中分別浸泡1小時后取出，

30、觀察試樣的膜層變化情況。624光學性能測試將鍍膜玻璃切成10050mm小塊，放入U-3400型分光光度計或與U-3400型分光光度計相同功能的儀器，測其可見光的透射比和反射比。625色差在一片鍍膜玻璃的四角和正中取出5050mm試樣5片。試樣外緣距該片玻璃邊部50mm（如附圖所示）以中間樣品作為標準片，其余四片均與該片在顏色分析儀上進行透過顏色比較，分別測得4個E值，4個值的平均值定為該片玻璃色差的檢驗結(jié)果。50507、檢驗規(guī)則71檢驗分類711出廠檢驗，檢驗項目為本標準規(guī)定的全部外觀質(zhì)量的技術(shù)要求。712型式檢驗，檢驗項目為本標準規(guī)定的全部技術(shù)要求。72抽樣方法721產(chǎn)品的出廠檢驗按表3規(guī)定

31、進行隨機抽樣。表3玻璃批量（片）抽樣數(shù)（片）允許不合格片數(shù)10-20全021-100202101-50030550130005073001-50007010大于50008011722檢驗產(chǎn)品的光學性能、耐磨性能和顏色均勻性時，一批產(chǎn)品隨機抽取3片玻璃。73判定規(guī)則731產(chǎn)品的外觀質(zhì)量判定，按本標準的511、512有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。每片玻璃符合上述標準時，則認為該片玻璃該項技術(shù)指標合格。每批產(chǎn)品中若不合格片數(shù)小于或等于表3中規(guī)定的允許不合格片數(shù)時，則認為該批產(chǎn)品上述指標合格。732產(chǎn)品的耐磨性、光學性能和顏色均勻性的判定。3片玻璃試樣全部符合所規(guī)定的技術(shù)要求，認為該批玻璃合

32、格。若1片玻璃符合時為不合格，2片玻璃符合時再追加檢驗3片玻璃，3片玻璃全部符合時為合格，否則為不合格。8包裝、標志81標志包裝木箱表面應印有工廠名稱、商標、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品等級、規(guī)格數(shù)量、重量（毛重、凈重）、防潮、易碎、堆放方向，轉(zhuǎn)箱日期標志。集裝箱也要有相應的標志。821包裝箱應堅固。邊角、表面應有防碰撞措施，但不準有漏釘、透釘。822箱底要內(nèi)墊泡沫塑料，箱內(nèi)墊塑料布，玻璃片之間應有15mm厚的泡沫塑料軟形保護材料。823集裝箱（架）包裝。玻璃片之間夾保護材料，外包塑料布防潮。9、儲存和運輸91玻璃必須儲存在干燥房間內(nèi)，運輸和裝卸時應有防雨設施。92玻璃在儲存、運輸、裝卸時箱蓋應向上。箱子不

33、得側(cè)放或斜放。93運輸時，箱頭向運輸方向，并采取措施，防止傾倒滑動。浮法在線化學汽相淀積鍍膜操 作 手 冊秦皇島玻璃工業(yè)研究設計院藍光公司一九九六年十一月操作手冊（宿遷項目）1996年4月一、操作說明鍍膜系統(tǒng)操作分為自動操作、點動操作和手動操作。鍍膜系統(tǒng)的組成：供、配氣系統(tǒng)、鍍膜機組和輔助設備三部分。（一）、供、配氣系統(tǒng)供、配氣系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)的硅烷匯流排、乙烯匯流排、高壓氮氣匯流排和配氣系統(tǒng)的配氣盤、控制臺組成。1供、配氣系統(tǒng)的操作點：（1）硅烷匯流排上的兩個高壓電磁閥V1、V2，截止閥S1S13，高壓壓力變送器截止閥BS1、BS2，低壓壓力變送器截止閥BS3。12個匯流排角閥、兩個減壓器調(diào)壓

34、閥。（2）乙烯匯流排上的一個電磁閥V3，截止閥C1C5，高壓壓力變送器截止閥BC1、低壓壓力變送器截止閥BC2和兩個匯流排角閥，一個減壓器調(diào)壓閥。（3）氮氣匯流排上的截止閥N1、N2，兩個減壓器調(diào)壓閥。（4）硅烷供氣系統(tǒng)的截止閥S14S17。（5）氮氣清掃系統(tǒng)的截止閥N3、N4。（6）配氣盤上的硅烷管路截止閥S18、S19、S20、S21，氮氣管路截止閥N6、N7、N8，混合氣平衡流量調(diào)節(jié)閥SC1、SC2。（7）混合氣供氣截止閥SC3、SC4。（8）供配氣控制臺上，電磁閥V1、V2、V3的開關(guān)按鈕。（9）供配氣控制臺上硅烷、乙烯的流量控制電源盒。2供、配氣系統(tǒng)的操作過程：（1）開始鍍膜前用氮氣

35、清掃全部管路系統(tǒng)1小時。（2）安裝、更換硅烷、乙烯、氮氣氣瓶時要求在氮氣吹掃狀態(tài)下安裝，嚴禁空氣進入管路系統(tǒng)。（3）打開硅烷、乙烯氣瓶前，須把氮氣放掉，并保證管路系統(tǒng)微正壓（0.1Mpa ）避免空氣進入。硅烷、乙烯、氮氣經(jīng)過減壓器減壓。（4）開始鍍膜前先打開截止閥SC3、SC4。（5）控制臺調(diào)整流量顯示電源盒使流量到設定值。（6）供氣順序為乙烯、硅烷。（7）配氣過程中調(diào)整調(diào)節(jié)閥SC1、SC2，使反應器兩側(cè)流量平衡，調(diào)節(jié)原則為一側(cè)調(diào)節(jié)閥開至最大。3供、配氣控制臺：（1）指示燈：a硅烷高壓電磁閥V1開指示。b硅烷高壓電磁閥V2開指示。c乙烯高壓電磁閥V3開指示。d硅烷低壓壓力過低指示。e乙烯低壓壓

36、力過低指示。f控制臺通電指示。（2）操作按鈕：a硅烷高壓電磁閥V1開。b硅烷高壓電磁閥V1關(guān)。c硅烷高壓電磁閥V2開。d硅烷高壓電磁閥V2關(guān)。e乙烯高壓電磁閥V3開。f乙烯高壓電磁閥V3關(guān)。（3）流量監(jiān)控：a硅烷流量監(jiān)控：流量控制顯示電源盒。b乙烯流量監(jiān)控：流量控制顯示電源盒。c硅烷流量監(jiān)控：流量顯示變送器。（4）顯示儀表：a1#硅烷匯流排高壓壓力顯示。b2#硅烷匯流排高壓壓力顯示。c乙烯匯流排高壓壓力顯示。d硅烷匯流排低壓壓力顯示及報警。e乙烯匯流排低壓壓力顯示及報警。（二）鍍膜機組鍍膜機組由大車、雙梁車、行走機構(gòu)、反應器和升降臺組成，鍍膜機組設備在現(xiàn)場安裝、調(diào)試正常后，設備就位。1大車行走

37、由現(xiàn)場按鈕盒控制，大車進/大車退。2雙梁車的進退由現(xiàn)場按鈕盒控制，雙梁車進/雙梁車退。3行走機構(gòu)用于拖動反應器進、出錫槽，由現(xiàn)場按鈕盒控制，反應器進/反應器退。4大車、升降臺的升降可由主控制室、現(xiàn)場按鈕盒和現(xiàn)場手執(zhí)按鈕盒分別操作。大車、升降臺聯(lián)動上升、下降按鈕可在主控室或大車、升降臺側(cè)現(xiàn)場手執(zhí)按鈕盒操作；大車、升降臺單獨上升、下降按鈕可在主控室、大車升降臺現(xiàn)場按鈕盒操作或手執(zhí)按鈕盒操作。大車、升降臺點動步進上升/下降可主控室或現(xiàn)場手執(zhí)按鈕盒操作。大車、升降臺上下游上升、下降，可由上、下游離合器合/分、大車、升降臺升、降按鈕操作；大車、升降臺可由低速/高速選擇開關(guān)實現(xiàn)聯(lián)動低速、高速升降，也可單獨

38、低速、高速升降。5鍍膜系統(tǒng)主控制臺：（1）顯示模板指示燈：a大車、升降臺離合器上游合指示。b大車、升降臺離合器下游合指示。c大車、升降臺低速升、降指示。d鍍膜機組自動鍍膜指示。e主控制臺通電指示。f反應器進錫槽指示。g反應器出錫槽指示。h排氣系統(tǒng)氣缸清掃指示。i雙梁車進錫槽指示。j雙梁車出錫槽指示。k升降臺上升指示。l升降臺下降指示。m大車前進指示。n大車后退指示。o大車上升指示。p大車下降指示。（2）2臺工業(yè)電視。（3）顯示儀表：a鍍膜位置板下錫液溫度顯示。b錫槽壓力顯示。c大車側(cè)排氣負壓壓力顯示。d升降臺側(cè)排氣負壓壓力顯示。e大車升、降高度轉(zhuǎn)數(shù)顯示。f升降臺升、降高度轉(zhuǎn)數(shù)顯示。g時間顯示。

39、h鍍膜時間顯示。（4）選擇開關(guān)：a大車、升降臺上游離合器合/分。b大車、升降臺下游離合器合/分。c大車、升降臺升、降速度選擇，低速/高速。d大車側(cè)溫度和升降臺側(cè)溫度選擇，大車側(cè)/升降臺側(cè)。（5）操作按鈕：a大車上升按鈕。b大車下降按鈕。c升降臺上升按鈕。d升降臺下降按鈕。e大車、升降臺聯(lián)動上升按鈕。f大車、升降臺聯(lián)動下降按鈕。g大車、升降臺點動步進升按鈕。h大車、升降臺點動步進降按鈕。i自動鍍膜開始按鈕。j自動鍍膜停止按鈕。k排氣系統(tǒng)氣缸清掃按鈕。（三）、輔助設備輔助設備主要有工業(yè)電視、排氣負壓和壓縮空氣三部分組成。工業(yè)電視的操作由主控制室的控制器手動操作，排氣負壓通過調(diào)節(jié)控制室壓縮空氣調(diào)節(jié)閥

40、控制。壓縮空氣使用時打開閥門即可。二、操作準備（一）、準備好對講機，將控制臺加電。（二）、供、配氣系統(tǒng)1給水封加滿水。2關(guān)閉硅烷匯流排、乙烯匯流排、氮氣匯流排全部角閥S4、S5、S6、S7、S11、S12、S13、S19、C4、C5、SC1、SC2、SC3、SC4、N1、N2、N4、N6、N7、N8截止閥和調(diào)節(jié)閥。其余閥門S1、S2、S8、S9、S14、S15、S16、S17、S18、S20、S21、C1、C2、N3全開，BS1、BS2、BS3、BC1、BC2、S10、C3部分開。3系統(tǒng)清洗：（1）氮氣瓶裝入氮氣匯流排，緩慢打開氮氣瓶閥、氮氣匯流排角閥，待壓力平衡后緩慢打開N2截止閥，調(diào)整該路

41、減壓器使低壓壓力調(diào)至0.8Mpa。（2）硅烷匯流排的清洗：打開S13截止閥，使氮氣進入硅烷匯流排，控制臺上打開電磁閥V2（電磁閥為自保持式），緩慢打開S6、S7截止閥，調(diào)整該路減壓器，使低壓壓力顯示0.3Mpa。打開SC1、SC2、SC3、SC4截止閥，調(diào)整控制臺硅烷流量控制電源盒，流量顯示50l/min，調(diào)整調(diào)節(jié)閥SC1、SC2使兩側(cè)流量平衡（一側(cè)開至最大為原則）。清洗30分鐘關(guān)閉S6、S7、S2截止閥、流量控制電源盒。打開S12截止閥，同樣方法清洗硅烷匯流排另一側(cè)30分鐘。清洗完畢后，關(guān)閉S4、S5、S1截止閥和流量控制電源盒。電磁閥V1、V2做緊急切斷用。匯流排清洗打開后不再關(guān)閉，匯流排

42、兩側(cè)切換操作使用截止閥S1、S2。（3）乙烯匯流排清洗：打開截止閥C5、電磁閥V3、截止閥，調(diào)整乙烯減壓器使低壓壓力顯示0.3Mpa，控制臺操作乙烯質(zhì)量流量控制電源盒，調(diào)整流量至8l/min。清洗40分鐘關(guān)閉截止閥C1、流量控制電源盒。乙烯匯流排清洗完畢后電磁閥V3不再關(guān)閉，做緊急切斷用。（4）硅烷、乙烯匯流排清洗完畢后，管路系統(tǒng)用保護氮氣吹掃至開始鍍膜，關(guān)閉N4（或N3）、N8。（5）管路系統(tǒng)氮氣吹掃：a、用廠保護氮氣，打開N4（N3關(guān)閉）、N8截止閥，調(diào)整SC1、SC2使兩側(cè)流量平衡。B、用氮氣匯流排高壓氮氣，打開N1截止閥，調(diào)整該路減壓器，使低壓壓力顯示0.3Mpa，同時調(diào)整截止閥N7和

43、調(diào)節(jié)閥N8，使流量達到2.4m3/h。（6）把硅烷氣瓶（要求充分滾動20分鐘）、乙烯氣瓶分別安裝在匯流排上。裝瓶的同時要求打開匯流排角閥，在氮氣吹掃下安裝，避免空氣進入?yún)R流排。氣瓶安裝完成后關(guān)閉S12、S13、C5截止閥，打開匯流排角閥。4、注意事項：（1）所有閥門打開時要緩慢，待壓力穩(wěn)定后全開。（2）匯流排上安裝氣瓶時要在氮氣吹掃下安裝。（3）不使用質(zhì)量流量控制器時，將質(zhì)量流量控制器置于關(guān)閉。（4）每次鍍膜前或鍍膜后停止整個供配氣系統(tǒng)都要氮氣清洗。（5）每次鍍膜前氮氣清掃時，電磁閥V1、V2、V3打開后不再關(guān)閉，待鍍膜結(jié)束時再關(guān)閉。（三）、鍍膜機組1將反應器大車置于錫槽鍍膜軌道上。2檢查錫槽

44、兩側(cè)的水源、水壓和水量是否符合鍍膜機組的要求，檢查錫槽兩側(cè)的控制電源是否到位。3檢查錫槽兩側(cè)的照明邊封、觀察邊封和工業(yè)電視的攝像鏡頭，并打開錫槽兩側(cè)的照明碘鎢燈。4檢查反應器大車的進水管和出水管，并打開進水閥門，同時觀察反應器大車出水情況是否滿足要求。5將反應器升降臺側(cè)的反應器進氣管用纖維布堵上，將反應器大車一側(cè)的進氣管與配氣盤出來的混合氣管連接好。6將反應器大車、升降臺橫向調(diào)平，并接好錫槽兩側(cè)反應器大車、升降臺的電纜。7現(xiàn)場啟動反應器大車的升降電機，調(diào)節(jié)反應器大車高度到平衡位置，使反應器石墨底面高出錫槽池壁上沿15毫米左右；同時啟動升降臺的升降電機（現(xiàn)場操作），將升降臺托板降至錫槽池壁上沿以

45、下。8手搖調(diào)彎手輪（反應器大車側(cè)），將反應器一對后輪提起軌道（即調(diào)彎手輪轉(zhuǎn)動約35圈）。9打開反應器大車一側(cè)的供氣截止閥至最大，清洗反應器約10分鐘，使反應器氣室保持微正壓。同時拆除反應器石墨底面上游夾縫中堵塞物，檢查反應器石墨底面和上游夾縫中有無其它雜物。10打開錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔。11現(xiàn)場啟動大車行走電機，待大車到位后再啟動雙梁車行走電機，將雙梁車的水冷軌道送至錫槽另一側(cè)，同時通過觀察邊封觀察雙梁車的水冷軌道進入情況，并及時調(diào)整雙梁車水冷軌道梁高度。12待雙梁車的水冷軌道梁伸出錫槽后，將升降臺升高，使升降臺的水冷梁托輥托住水冷軌道梁，并繼續(xù)升高，使水冷軌道梁水平；同時利用升降臺兩側(cè)的側(cè)頂機

46、構(gòu)將雙梁車的水冷軌道梁置于垂直玻璃帶中心位置，將雙梁車水冷梁夾緊。13啟動反應器行走機構(gòu)，將反應器置于錫槽內(nèi)玻璃原板中心位置。14手搖大車側(cè)調(diào)彎手輪將反應器后輪降至水冷軌道梁上（即反方向手搖35圈）。15封好錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔，拆除升降臺一側(cè)反應器進氣管中纖維布，接好反應器升降臺一側(cè)的進氣膠管，打開供氣截止閥N12至最大。16反應器在錫槽內(nèi)穩(wěn)定2小時以上。17注意事項：（1）雙梁車進錫槽前一定要把反應器后輪提起。（2）反應器氮氣清掃一定要打開。（3）反應器石墨底面、上游夾縫中應無雜物。（4）雙梁車到位后，升降臺側(cè)側(cè)頂要頂緊。（5）反應器行走過程中，要注意觀察反應器石墨底面高度。使反應石墨底面不

47、與錫槽池壁上沿相碰，反應器上部不與錫槽電熱絲相撞。（四）、壓縮空氣：檢查壓縮空氣罐后減壓器壓力是否為0.2Mpa，并將壓縮空氣在錫槽兩側(cè)的端頭與差壓變送器、排氣引射器用膠管連接。將壓縮空氣反應器大車側(cè)的端頭與反應器氣缸用膠管連接。三、開始鍍膜（一）、鍍膜機組及輔助設備操作1反應器穩(wěn)定后，將控制系統(tǒng)選擇開關(guān)選擇至聯(lián)機、高速狀態(tài)，離合器選擇開關(guān)至合位置（上下游）。啟動反應器大車、升降臺的聯(lián)動降按鈕，快速降低反應器高度，使反應器石墨底面距玻璃板10毫米左右（降低反應器同時，操作人員通過工業(yè)電視觀察，錫槽兩側(cè)操作人員通過觀察邊填充觀察）。2調(diào)整調(diào)彎裝置，使反應器在錫槽橫向基本水平，通過單獨升降大車、升

48、降臺的上、下游，調(diào)整反應器縱向水平。（操作人員通過工業(yè)電視或錫槽兩側(cè)觀察邊封觀察）。3選擇開關(guān)置于低速，啟動反應器大車、升降臺的聯(lián)動降按鈕，慢速降低反應器高度，降至鍍膜位置，接開關(guān)發(fā)訊，升降電機停止下降，轉(zhuǎn)數(shù)顯示復位為零。此時反應器石墨液面距玻璃板1.52mm（倒影距離34mm），降低反應器同時，操作人員通過工業(yè)電視觀察。錫槽兩側(cè)操作人員通過觀察邊封觀察。4將錫槽兩側(cè)排氣管道快速接頭與排氣裝置連接，并將差壓變送器的接管與引射器相應管連接，調(diào)整壓縮空氣調(diào)節(jié)閥，使排氣負壓顯示為50Pa（在鍍膜過程中，觀察排氣狀態(tài)，調(diào)整排氣負壓為合適狀態(tài)）。（二）、供配氣系統(tǒng)操作開始鍍膜前，供配氣系統(tǒng)氮氣清掃已經(jīng)完

49、成，系統(tǒng)管路里還保持有遺留氮氣。在打開硅烷瓶閥、乙烯瓶閥前，須把氮氣放掉。打開截止閥S11、C4使硅烷、乙烯低壓壓力表顯示低于0.1Mpa，高壓部分的氮氣也須放掉，但系統(tǒng)不能放空，避免空氣進入。1硅烷：（1）選擇硅烷匯流排一側(cè)（6瓶）供氣，選擇右路，關(guān)閉截止閥S4、S5、S1。在打開硅烷氣瓶前檢查系統(tǒng)管路閥門，關(guān)閉截止閥S6、S11、S12、S13、S19。打開匯流排右路所有匯流排角閥、截止閥S2、S7、S9、S14、S15、S16、S17、S20、S21、BS3和電磁閥V2。檢查無誤后緩慢打開匯流排右路已安裝的6個硅烷氣瓶的瓶閥至全開。（2）壓力穩(wěn)定后緩慢打開截止閥S6至全開。（3）調(diào)整右路

50、減壓器，使低壓壓力顯示0.25Mpa。（4）觀察該組匯流排高壓壓力變化，待高壓壓力到1Mpa時，準備好另一組硅烷氣體。操作過程參考（1）。（5）當這一組硅烷氣瓶高壓壓力較低，低壓壓力0.1Mpa時（同時觀察混和氣流量變化，流量若降低也應立即切換），切換另一組硅烷。先關(guān)閉截止閥S2，再打開截止閥S1。手動更換硅烷氣瓶。2乙烯：（1）檢查乙烯管路閥門，關(guān)閉截止閥C2、C4、C5，打開電磁閥V3，匯流排一個角閥和截止閥BC1、BC2、C1、C3無誤后，打開已經(jīng)開啟角閥的對應乙烯氣瓶瓶閥。另一備用的乙烯氣瓶和相應角閥應各掛一小牌，注明“備用”字樣。（2）調(diào)整乙烯減壓器使低壓壓力顯示0.25Mpa字樣。

51、（3）打開截止閥C2至全開。3配氣：（1）檢查閥門關(guān)閉S19，打開S14、S15、S16、S17、S18、S20、S21、SC1、SC2。（2）鍍膜總控室開始鍍膜指令后，關(guān)閉截止閥N4（或N3）、N8。（3）在配氣控制室把硅烷、乙烯質(zhì)量流量控制電源盒打到閥控位置。按給定參數(shù)調(diào)整流量，打開順序為乙烯、硅烷。（4）調(diào)整SC1、SC2，使兩邊流量顯示平衡。（三）、鍍膜過程操作1鍍膜機組及輔助設備鍍膜過程操作分自動、點動和手動操作。（1）自動操作：A將自動/手動選擇開關(guān)旋至自動位置，按鍍膜開始按鈕，系統(tǒng)進入自動控制狀態(tài)。B在鍍膜開始20分鐘后，反應器大車、升降臺的升降電機每隔10分鐘升一圈。C反應器排

52、氣清掃氣缸每隔10分鐘啟動一次，清掃排氣狹縫。D當反應器升高到最大鍍膜高度或擦板時，按自動鍍膜停止按鈕。（2）點動操作：點動步進升、降可干預自動操作，但不影響自動的正常運行。（3）手動操作：A將自動/手動選擇開關(guān)旋至手動位置。B在鍍膜開始20分鐘后，每隔10分鐘按點動步進升按鈕或手搖反應器大車、升降臺的升降手輪一圈，使反應器升高一圈。C每隔10分鐘按排氣清掃按鈕，使反應器排氣清掃氣缸啟動一次，清掃排氣狹縫。D當反應器升高到最大鍍膜高度或擦板時，停止鍍膜。2鍍膜開始后，每隔30分鐘取一次樣品，做透過率測定和抗酸、堿性試驗（具體方法看技術(shù)手冊）。3隨時觀察鍍膜玻璃有無劃傷，及時調(diào)整反應器高度。4隨

53、時觀察反應器排氣狀態(tài)。5供、配氣系統(tǒng)：（1）供配氣站、隨時觀察硅烷、乙烯、氮氣高、低壓情況和流量，做到有問題及時處理，硅烷氣體及時切換，氮氣氣瓶及時更換。（2）接到總控室停止鍍膜指令后，關(guān)閉硅烷、乙烯質(zhì)量流量控制器。同時打開截止閥N4（或N3）、N8，保證反應器氮氣吹掃狀態(tài)。硅烷關(guān)閉S5（或S4）、乙烯關(guān)閉C1（停止鍍膜時間不大于2小時，否則整個系統(tǒng)要用氮氣清洗）。6按大車、升降臺聯(lián)動升按鈕，使反應器升至錫槽內(nèi)平衡位置，錫槽內(nèi)清掃反應器石墨底面。7重復前邊反應器下降操作把反應器降到鍍膜位置。8清掃反應器后再鍍膜，打開截止閥S5（或S4）、C1，先關(guān)閉截止閥N4（或N3）、N8，再打開乙烯、硅烷

54、質(zhì)量流量控制器到設定流量參數(shù)。9觀察反應器石墨底面粉塵沉積和鍍膜玻璃透過率情況。若需要在線外清掃時，應立即停止鍍膜。（四）、清掃反應器1供配氣系統(tǒng)若清掃完反應器后鍍膜繼續(xù)進行，供配氣系統(tǒng)可按臨時停止操作，操作情況參考錫槽內(nèi)清掃反應器。若反應器清掃過后，不再連續(xù)鍍膜（停止時間大于3小時），供配氣系統(tǒng)要做徹底清掃。（1）關(guān)閉使用的硅烷、乙烯氣瓶，把硅烷、乙烯匯流排高壓部分放到小于0.1Mpa，但不能放空。（2）打開截止閥N2，調(diào)整該路減壓器，使氮氣低壓壓力顯示為0.8Mpa，打開截止閥S12、S13、C5。（3）按鍍膜過程調(diào)整硅烷、乙烯參數(shù)程序一樣。調(diào)整壓力、流量，清掃硅烷、乙烯管路30分鐘。（4）關(guān)閉N2、S12、S13、C5。（5）打開截止閥N4（或N3）、N8，保證反應器氮氣吹掃狀態(tài)。2反應器大車、升降臺、反應器行走機構(gòu)（1）首先選擇聯(lián)升、高速選擇開關(guān)，按聯(lián)動升按鈕，將反應器升高至平衡位置，使反應器石墨底面距錫槽池壁上沿15mm左右。（2）搖動調(diào)彎手輪，將調(diào)彎力去掉。（3）轉(zhuǎn)動快速排氣接頭，將兩側(cè)的排氣接頭拆除，同時拆除升降臺一側(cè)的反應器進氣口的膠管