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1、叉指電極引發(fā)的思考Ydeng2013-03-12叉指狀的出現(xiàn)叉指狀的出現(xiàn)IDT叉指換能器（構(gòu)成SAW最基本的單元）聲表濾波器的作用是將射頻訊號轉(zhuǎn)換成聲波訊號，經(jīng)過一段距離傳遞之后，再將接收之聲波訊號轉(zhuǎn)換成所需的射頻訊號。SAW是SURFACE ACOUSTIC WAVE（聲表面波）的簡稱，聲表面波器件是利用聲表面波對電信號進(jìn)行模擬處理的器件，其頻率范圍約在107109赫。產(chǎn)生表面聲波最簡單的方式，就是利用叉能換能器，來直接激發(fā)表面聲波，基本上，叉指換能器分為輸入及輸出兩個部份，它們是一層厚度約2000 至3500 的鋁薄膜，經(jīng)由光蝕刻技術(shù)成型在壓電單晶材料之基板表面。當(dāng)一個訊號電壓外加到輸入換

2、能器的正負(fù)電極上時，在每對叉指之間就會建立電場，壓電基板表面一受到電聲的作用，便產(chǎn)生同步耦合之上下振動，而激發(fā)出表面聲波，當(dāng)同極叉指間的距離等于表面聲波波長時，所激發(fā)的聲面表效率最大，一般常用的壓電基板材料有石英，鉭酸鋰，及鈮酸鋰等。NATURE COMMUNICATIONS | 3:763 | DoI: 10.1038/ncomms1767 | Chem. Sci., 2013, 4, 16631667 | 1663叉指電極引入叉指電極引入超級電容器超級電容器SAW器件或其中的IDT引入NG，將使此領(lǐng)域翻向又一篇章！ Ydeng 2013-03-12 NG的結(jié)合方式：成為源；和SAW材料間組合。 叉指型電極除做IDT外，作為電極都是應(yīng)用到微加工中，一定還有個作用，是啥？ 有必要開展微加工方面的研究。（IDT微加工）半導(dǎo)體集成電路微加工工藝步驟 聲表濾波器的作用是將射頻訊號轉(zhuǎn)換成聲波訊號，經(jīng)過一距離傳遞之后，再將接收的之聲波訊中與轉(zhuǎn)換成所需要的射頻訊號，通常下列參數(shù)均可決定SAW 元件的特性，包括：指狀電極圖形與數(shù)目，柵狀電極圖形與數(shù)目，金

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