微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計使用說明書

1、目 錄1、安全說明 12、技術(shù)參數(shù) 23、工作原理 34、性能概述 45、使用概述 56、規(guī)管性能概述 77、規(guī)管外形及安裝 108、真空計與規(guī)管連線 129、真空計開機(jī)及顯示說明 1310、真空計使用方法 1310.1電阻2單元使用方法 1310.2電阻1與電離復(fù)合單元使用方法 1511、真空計去氣 17*12、控制功能及設(shè)定方法 17*13、控制輸出 18*14、擴(kuò)展功能 20 機(jī)箱規(guī)格 2215、附錄 規(guī)管接口 24 常見問題 27 *號內(nèi)容屬選配功能說明，僅選配了此功能相應(yīng)配置有效1、 安 全 說 明 為確保該真空計的正常功能，使其具有較高的準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性和較長的使用壽命，請根據(jù)本說明

2、書中規(guī)定的允許值和應(yīng)用條件進(jìn)行操作和使用。·操作、維護(hù)和維修該真空計時，請遵守電氣設(shè)備的安全規(guī)范。·避免大氣壓下開啟電離規(guī)燈絲，這將燒毀電離規(guī)燈絲。·避免真空系統(tǒng)或管道有真空時，強(qiáng)制拆卸規(guī)管。·避免用于“正壓”的真空系統(tǒng)安裝普通規(guī)管，應(yīng)安裝承受“正壓”的規(guī)管。·避免真空系統(tǒng)中腐蝕性氣體腐蝕電阻規(guī)傳感絲及電離規(guī)各電極，以延長規(guī)管壽命。·采用適當(dāng)措施防止誤操作或不允許的損壞。·如未按本說明書操作，我們將不承擔(dān)任何責(zé)任；有關(guān)該真空計及其附件的保證條款也將無效。該說明書使用符號說明： 注意：表示必須遵循的信息，如未遵循可能會導(dǎo)致對人

3、身的傷害和對該真空計的損壞。 表示重要的附加信息和技巧或建議。炫辰鈦金保留對產(chǎn)品外觀及設(shè)計改進(jìn)和改變的權(quán)利，而無需事先通知，產(chǎn)品及配件以實物為準(zhǔn)。2、技術(shù)參數(shù)2.1 電阻單元技術(shù)參數(shù)：·配用規(guī)管型號:ZJ-52T電阻規(guī)·電阻規(guī)傳感絲冷態(tài)電阻值(86.5±1.7)·真空度測量范圍（對干燥空氣或氮氣） 1.0×1052.5×103可測范圍。 2.5×1035.0×10-1不大于顯示值的±30% 5.0×10-11.0×10-1可測范圍。·有效控制范圍2.5×1035.0

4、×10-1Pa。2.2 電離單元技術(shù)參數(shù):·測量范圍:51Pa可測范圍 15×10-5 Pa不大于顯示值的±50% 5×10-51×10-5Pa可測范圍·配用規(guī)管型號:ZJ-27電離規(guī)·規(guī)管靈敏度:0.15±15% Pa-1。·規(guī)管加速極（柵極）對地電位：225V±3%·規(guī)管陰極（燈絲）中心點對地電位：25V±5%。·收集極對地電壓：0V。·發(fā)射電流：100uA±3% 51×10-1Pa 1mA±3% 1×

5、10-11×10-5 Pa·離子流放大器示值誤差：51×10-4 Pa不大于±5% 1×10-41×10-5 Pa不大于±10%·規(guī)管除氣方式：焦耳去氣。·有效控制范圍：1Pa5×10-5 Pa2.3其它參數(shù)·控制輸出模式：繼電器觸點通、斷輸出。每一組輸出為一對常閉和一對常開。·控制負(fù)載：AC220V/1A（DC28V/5A）無感負(fù)載。·工作電源：AC220V±10%/50HZ。·功率：最大功率約40W。·工作環(huán)境溫度：0450C。&#

6、183;工作相對濕度85%。·機(jī)箱規(guī)格及開孔尺寸和重量參見附錄。3、工作原理3.1電阻單元工作原理 電阻單元采用熱傳導(dǎo)式電阻真空規(guī)（又稱皮拉尼規(guī)），基于這種規(guī)通以電流的熱絲溫度是隨真空（壓力）而變化的。由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻的變化。因此用測量電阻的變化來測量真空度。3.2 電離計工作原理 電離單元采用熱陰極電離規(guī)?；谶@種規(guī)在低壓力（真空）下，對通過電流的電離管燈絲“加熱”，使其發(fā)射電子，故稱熱陰極電離規(guī)；同時給電離規(guī)加速極施加直流高壓，使電子在規(guī)管電極間產(chǎn)生的電場中被加速，去轟擊氣體分子使其電離，電離產(chǎn)生的正離子被收集極接收。離子流與氣體壓力p的關(guān)系： I+=KIePK為規(guī)管靈

7、敏度，I+為離子流，Ie為發(fā)射電流，P為真空系統(tǒng)內(nèi)壓力（真空）。3.3 復(fù)合真空計由電阻規(guī)管、電離規(guī)管和電子學(xué)電路組成。電阻單元電路完成電阻規(guī)熱絲定溫功率調(diào)節(jié)，以及隨真空度變化的測量橋路電壓信號的采樣，放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。電離單元電路一部份提供電離規(guī)管所需的工作電壓以及發(fā)射電流的穩(wěn)定；另一部份完成離子流的檢測、放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。以微處理器為核心的數(shù)字電路，一方面完成電阻單元真空數(shù)字信號非線性處理、運算，最后送顯示器顯示；一方面完成電離單元數(shù)字信號采樣、運算，并送顯示器顯示；同時完成離子流放大量程和發(fā)射電流轉(zhuǎn)換的自動切換。另一方面接受前面板各按鍵指令或后板外

8、控信號指令并發(fā)出相應(yīng)執(zhí)行指令；同時輸出真空控制信號以及真空度模擬信號和計算機(jī)通訊信號等。其工作原理功理圖如下：電阻規(guī)2測量橋路調(diào)理電路模數(shù)轉(zhuǎn)換（A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/D)）調(diào)理電路測量橋路電阻規(guī)1微處理器控制輸出模擬量輸出計算機(jī)口輸出外控信號按鍵輸入顯示器電 源交流AC模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/D)離子流放大穩(wěn)發(fā)射回路規(guī)管燈絲電離規(guī)管收集極直流高壓加速集真空計電路工作原理框圖4、性能概述：本復(fù)合真空計：采用經(jīng)過特殊的穩(wěn)定的處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件的電阻規(guī)，從而更大程度地降低零點、滿度的漂移。采用特別的定溫式工作模式，使其電阻單元具有更寬廣的測量范圍和更快的響應(yīng)時間。采用高穩(wěn)定、高性能直

9、流高壓穩(wěn)壓及穩(wěn)發(fā)射電路，以確保電離規(guī)各參數(shù)穩(wěn)定運行。采用獨特的真空度離子流采樣放大電路和保護(hù)回路，確保從收集極回路串入的瞬變電壓（TVS）強(qiáng)力衰減，使得真空度測量更加穩(wěn)定和可靠。采用全進(jìn)口的微處理和數(shù)字接口芯片以及模擬與數(shù)字分離技術(shù)，光電隔離技術(shù)，數(shù)字濾波等新技術(shù)，確保了真空計具有強(qiáng)大的抗干擾能力。采用優(yōu)化的全自動切換技術(shù)，確保真空計自動量程切換平穩(wěn)和可靠。采用超量程自動關(guān)閉電離規(guī)燈絲技術(shù)，確保因真空系統(tǒng)突然曝露大氣而不損壞電離規(guī)。采用了外控PLC信號、RS232/RS485信號，開啟/關(guān)閉電離規(guī)最新功能，使得實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動化成為可能。采用國際通用流行的2U標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱以及PVC彩色薄膜面板，

10、使真空計外型更為美觀、時尚。5、使用概述 真空計為二路電阻測量和一路電離測量，組合為復(fù)合真空計。電阻單元2為獨立工作單元，由真空計前面板左窗口顯示。適宜抽氣機(jī)組前級管路或其它位置的粗、低真空測量和控制。電阻1和電離組合為復(fù)合單元，由真空計前面板右窗口顯示。這種復(fù)合在自動模式時，可實現(xiàn)電阻1自動開啟和關(guān)閉電離規(guī)實現(xiàn)真實度連續(xù)測量和控制：（此模式運行要求電阻規(guī)1和電離規(guī)安裝位置之間應(yīng)沒有壓力（真空）差，如同一真空室內(nèi)等）。這種復(fù)合在手動模式時，電阻1和電離規(guī)可不受安裝位置限制（如不在同一真空室內(nèi)等），通過手動開啟和關(guān)閉電離規(guī)進(jìn)行測量和控制。這種復(fù)合也可通過外控端口PLC信號等關(guān)閉電離規(guī)，以實現(xiàn)真空

11、系統(tǒng)在放氣降真空之前關(guān)閉電離規(guī)，避免了在低真空時使點亮的電離規(guī)燈絲氧化，以延長規(guī)管壽命；同時在真空系統(tǒng)恢復(fù)抽真空后又置為自動程序自動開啟電離規(guī)?？赏ㄟ^前面板完成控制點的設(shè)定，以及自動/手動模式測量時的自由切換。可能過前面板零點（真空），滿度（大氣壓）修正小孔，修正電阻單元零點（真空）和滿度（大氣壓）值?？赏ㄟ^面板完成去氣功能等操作。真空計前/后面板功能圖：ZDF-X-LED前面板ZDF-X-LED后面板ZDF-X前面板ZDF-X后面板6、規(guī)管性能概述：該復(fù)合真空計采用ZJ-52T電阻規(guī)和ZJ-27熱陰極電離規(guī)。61電阻規(guī)性能概述：ZJ-52T電阻規(guī)(又稱皮拉尼規(guī))采用經(jīng)過特殊的穩(wěn)定化處理工藝，

12、以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件，并內(nèi)置了環(huán)境溫度補(bǔ)償回路和管口防粉塵等裝置。具有量程寬、性能穩(wěn)定、響應(yīng)快、抗污染、耐氧化、漂移小、壽命長等特性。適用于粗、低真空測量，即大氣壓1.0×105 Pa至1.0×10-1 Pa測量。電阻規(guī)（皮拉尼規(guī)）以氣體分子熱傳導(dǎo)方式來檢測真空，這種熱傳導(dǎo)電阻規(guī)在低壓力（真空）下，氣體傳熱量與氣體的摩爾質(zhì)量，氣體分子溫度，熱絲表面等有關(guān)。因此不同種類的氣體對電阻規(guī)的靈敏度不同。由于該電阻計設(shè)計采用干燥空氣（或氮氣）校準(zhǔn)而得出的工作曲線。因此在真空環(huán)境下，相對空氣（氮氣）的其它氣體曲線及修正系數(shù)和等效氮壓力公式如下：（僅供參考）Peff（等效

13、真空）=K×P（顯示真空）6.2電離規(guī)性能概述 ZJ-27電離規(guī)（又稱寬量程規(guī)），其陰極燈絲采用貴金屬氧化物增強(qiáng)了陰極的抗氧化從而提高了耐受瞬時大氣沖擊的能力，延長了規(guī)管壽命。該熱陰極電離規(guī)的I+/IE與真空P的關(guān)系曲線如下圖如示：如圖所示，當(dāng)真空度進(jìn)一步降低時，在Pm處I+/IE將達(dá)到一個峰值，然后急劇下降，這種現(xiàn)象稱作雙值現(xiàn)象。ZJ-27電離規(guī)的峰值點（或雙值點）為：5.0Pa左右。因此在開啟電離規(guī)測量時，真空度應(yīng)高于此點，若真空度低于此點，此時你將會發(fā)現(xiàn)異常的真空度顯示。如真空度變好時系數(shù)本應(yīng)減小，它卻反而增加，或真空度異常偏高等。 ZJ-27電離規(guī)雖采用了抗氧化陰極燈絲，但高

14、溫?zé)艚z長時間工作在較低真空下（氧氣分壓相對校高）亦易被氧化，并逐步降低發(fā)射能力，使規(guī)管壽命縮短。 因此應(yīng)采取最優(yōu)的真空系統(tǒng)運行程序，縮短低真空區(qū)域停留時間。 并使其保持在高真空區(qū)域工作。 或無需測量時暫時關(guān)閉電離規(guī)。6.3電阻適宜測量范圍：2.5×103Pa1.0Pa 電離規(guī)適宜測量范圍：1.0Pa5.0×10-5Pa 7、規(guī)管外形及安裝7.1規(guī)管外形圖ZJ-52T電阻規(guī)外形圖ZJ-27電離規(guī)外形圖7.2規(guī)管安裝：規(guī)管安裝的位置和方法對測量值及規(guī)管壽命有明顯的影響，尤其是當(dāng)系統(tǒng)中存在氣流、氣源等非均勻條件或高能離子/電子時，這種影響更加明顯。安裝示意圖如下：7.2.1電阻規(guī)

15、安裝說明 玻璃外殼電阻規(guī)安裝前可先與電阻單元連機(jī)確認(rèn)零點是否正確或修正其零點，然后開封安裝。 采用豎直安裝。 水平安裝可能會帶來測量偏差。7.2.2電離規(guī)安裝說明 應(yīng)優(yōu)先采用豎直安裝。 應(yīng)遠(yuǎn)離有油蒸汽（如擴(kuò)散泵返油）的位置，防止油蒸汽遇高溫?zé)艚z裂解，改變規(guī)管靈敏度和特性以延長規(guī)管的使用壽命。 應(yīng)遠(yuǎn)離高能離子或電子的位置，或屏蔽衰減真空系統(tǒng)內(nèi)的高能離子或電子進(jìn)入規(guī)管，轟擊規(guī)管電極，加速規(guī)管電極老化，縮短規(guī)管壽命。 應(yīng)避免規(guī)管安裝處有漏孔，否則微小漏氣在規(guī)管局部產(chǎn)生壓力差，這將帶來較大的測量偏差。8、真空計與規(guī)管連線8.1真空計與電阻規(guī)連線圖 將電阻規(guī)電纜線（五芯插頭）與儀器后面板電阻規(guī)1/2插口

16、相連并旋緊，電纜線的另一頭（八腳插座）與電阻規(guī)八腳插頭相連。8.2真空計與電離規(guī)連線圖 將電離規(guī)電纜線（四芯插頭）與儀器后面板電離規(guī)插口相連并旋緊，電纜線的另一頭（八腳插口）與電離規(guī)八腳插頭相連。同時將收集極電纜（BNC插頭）與儀器后面板收集極插口相連，另一頭夾子與玻璃規(guī)管收集極管冒相連或與金屬規(guī)管第1腳引出線相連。9、真空計開機(jī)及顯示說明： 在確保所有連線正確后，即可接通真空計電源，顯示屏顯示 電阻2單元 電阻1與電離復(fù)合單元2.00E2系數(shù)位 表示×10 指數(shù)符號位“+”或“-”指數(shù)位例如左窗口顯示：表示真空度為2.0×102Pa=200Pa 當(dāng)指數(shù)符號為負(fù)顯示“-”，

17、為正不顯示“+”10、真空計使用方法10.1電阻2單元使用方法： 電阻2為獨立單元，真空計開機(jī)后 此刻應(yīng)進(jìn)行電阻單元2設(shè)定操作（如果有此功能或需要設(shè)定）。 若不進(jìn)行設(shè)定操作（無此設(shè)定功能或已設(shè)定過），5秒后電阻單元2自動進(jìn)入測量壯態(tài)并顯示真空度（左窗口）。10.1.1電阻計2單元零點、滿度修正 由于電阻規(guī)本身的特異性（即零散性）以及使用時的特定環(huán)境等因素，從而使電阻計2與某一個電阻規(guī)匹配首次使用時或使用一段時間后，需要對零點、滿度進(jìn)行修正。·零點修正及說明 應(yīng)在真空度高于1.0×10-1Pa時進(jìn)行。將真空計切換為手動，手動開啟電離規(guī)完成高真空的測量，其操作方法詳見15頁手動

18、模式開啟和關(guān)閉電離規(guī)。將電阻規(guī)2和電離規(guī)與高真空系統(tǒng)妥善連接，同時對真空系統(tǒng)抽到真空，開啟電離規(guī)進(jìn)行真空檢測，在真空度高于1.0×10-1Pa時，此時電阻2單元若顯示1.0×10-1Pa，說明零點正確，不需要修正，若顯示不為此值，如顯示2.5EO或1.E-1等，應(yīng)進(jìn)行修正。其修正操作方法如下：用一字小改刀伸入真空計前面板電阻單元2零點修正小孔，正或反時針旋轉(zhuǎn)，使其顯示1.0E-1即可。 順時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。 高真空狀態(tài)下，由于環(huán)境溫度以及傳感絲表面壯態(tài)改變等因素的影響，零點易漂移，若一般能顯示在1.0E-15.0E-1內(nèi)，均屬正常，不需要修正。·

19、;滿度修正及說明 滿度修正在大氣壓狀態(tài)下進(jìn)行。在零點確認(rèn)正確或經(jīng)修正正確后，對真空系統(tǒng)放氣，直至大氣壓下，電阻單元2顯示1.0E5，說明滿度正確，不需要修正。若顯示不為此值，如顯示6.0E3或HHE5，應(yīng)進(jìn)行修正，其修正操作方法如下： 用一字小改刀伸入真空計前面板電阻單元2滿度修正（大氣壓）小孔，正或反時針旋轉(zhuǎn)，使其顯示1.0E5即可。 順時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小?；谏鲜鲞€未對真空計進(jìn)行零點確認(rèn)或修正。以及真空計零點正確或變化微小，但滿度值已變化。因此真空計開機(jī)后，在大氣壓下，僅僅對其滿度修正即可。 滿度修正時，電阻規(guī)安裝或放置狀態(tài)（豎直或水平）應(yīng)與使用時狀態(tài)相同。大氣壓（常壓）

20、狀態(tài)下由于空氣分子密度大或經(jīng)高溫環(huán)境下工作后，其滿度值恢復(fù)和穩(wěn)定時間較長。 因此雖存在一定的漂移，若一般能顯示在1.0E49.0E4范圍均屬正常，不需要修正。10.1.2、控制功能及設(shè)定方法控制功能及設(shè)定方法詳見17頁控制功能及設(shè)定方法10.1.3、控制輸出：詳見18頁控制輸出10.2電阻單元1與電離復(fù)合單元使用方法10.2.1電阻單元1使用方法 電阻單元1既是低真空測量與控制單元，又是自動開啟電離規(guī)單元?；诘驼婵諟y量與控制單元其使用方法與電阻單元2相同。在1.0×1052Pa時由右窗口顯示其真空測量值。若需進(jìn)行零點修正，應(yīng)將復(fù)合單元置為手動，由與其組合的電離計測量高真空，然后關(guān)閉

21、電離規(guī)或按“電阻1”按鍵轉(zhuǎn)為電阻1顯示，以此確認(rèn)零點是否需要修正。 在日常工作中，常觀測零點值的變化，若變化微小（10-1Pa量程）可不需要修正，若變化較大以致不能開啟電離規(guī)則需要修正零點。這樣做將對真空系統(tǒng)的真空檢測和控制正常運行帶來幫助和方便。 基于電阻1的啟動功能在真空度測量值高于2Pa時，（*且外控端1與2斷開恢復(fù)自動模式，）電離規(guī)被自動開啟并顯示電離測量值，電阻1測量值被隱藏。10.2.2電離單元使用方法：·自動模式電離規(guī)開啟：真空計開機(jī)后，復(fù)合單元優(yōu)先置為自動工作模式，同時前面板自動指示燈亮。由電阻規(guī)1自動開啟電離規(guī)實現(xiàn)連續(xù)測量。 開機(jī)后應(yīng)進(jìn)行電離計控制功能設(shè)定。否則5秒

22、后電阻單元1自動進(jìn)入測量壯態(tài)，在1.0×1052Pa范圍由右窗口顯示測量值。 電離規(guī)開啟點真空度為2.0Pa。 當(dāng)電阻1單元測量真空度高于2.0Pa*同時外控端口1與2斷開。 電離規(guī)被啟動，燈絲點亮（玻璃規(guī)可觀測到），顯示屏初始顯示電離規(guī)發(fā)射電流值（以最后一次顯示值為準(zhǔn)）。 若顯示值在0.0800.120標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，表明真空計發(fā)射電流正常，真空計進(jìn)入真空度檢測程序并顯示真空度值。 若顯示值在0.0800.120標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，這后顯示-，說明系統(tǒng)內(nèi)真空度處于電離規(guī)臨界峰值點，電離計自身進(jìn)入超量程自動保護(hù)程序，保護(hù)電離規(guī)。這是由于電阻計1零點不正確，即零點提前過多所至，需要修正零點，零點修

23、正參見13頁。 若顯示值顯示在0.0800.120標(biāo)準(zhǔn)范圍以外，這將關(guān)閉電離規(guī)，并顯示-，說明規(guī)管燈絲斷或規(guī)管發(fā)射能力降低，以及使用了與出廠時不匹配的規(guī)管電纜。 ·自動模式電離規(guī)關(guān)閉：真空度降低至5Pa時電離規(guī)自身超量程關(guān)閉。以及再降低至10Pa時由電阻單元1關(guān)閉電離規(guī)。按前面板關(guān)閉按鍵關(guān)閉電離規(guī)。外控端口1與2閉合關(guān)閉電離規(guī)。·手動模式電離規(guī)開啟：真空計開機(jī)后或工作中，按一下前面板自動按鍵，即取消自動運行程序，同時前面板自動指示燈熄滅。同時外控端口1與2斷開（或端口不連接線），（因程序設(shè)定外控端口1與2閉合，前面板開啟按鍵無效）。在確保真空系統(tǒng)內(nèi)真空度高于5Pa時。按一下

24、前面板“開電離”按鍵，隨后放開，電離規(guī)燈絲點亮（玻璃規(guī)可觀測到），顯示屏初始顯示電離規(guī)發(fā)射電流（以最后一次顯示值為準(zhǔn)）。顯示方式和現(xiàn)象與自動模式相同。若真空系統(tǒng)真空度低于ZJ-27型電離規(guī)峰值點“雙峰點”，提前打開電離規(guī)，真空計將關(guān)閉電離規(guī)或顯示一個虛假的真空度值。 電離規(guī)開啟進(jìn)入真空度測量，若再一次按下“開電離”按鍵并保持，則顯示當(dāng)前的發(fā)射電流值。·手動模式電離規(guī)關(guān)閉：按一下前面板“關(guān)電離”按鍵，則關(guān)閉電離規(guī)，停止真空檢測，顯示屏顯示-。外控端口1與2閉合，則關(guān)閉電離規(guī)，停止真空檢測，顯示屏顯示-。10.2.5控制功能及設(shè)定方法 控制功能及設(shè)定方法詳見17頁控制功能及設(shè)定方法10.

25、2.6控制輸出：詳見18頁控制輸出11、真空計去氣：電離規(guī)工作時的去氣作用是一個與規(guī)的歷史條件和使用條件有關(guān)的變化參量，為減少測量誤差，應(yīng)對規(guī)管電極去氣。需要去氣時，按一下真空計前面板“去氣”按鍵，開始對規(guī)管去氣，并顯示去氣累積時間，每次去氣時間35分鐘為宜。若中止去氣，則按一下“開電腦”按鍵，退出去氣程序轉(zhuǎn)入真空度測量并顯示當(dāng)前真空度值。 去氣時真空度應(yīng)大于1.0×10-2Pa，否則不執(zhí)行去氣指令。 但在真空度低于1.0×10-2Pa時，沒有必要對規(guī)管去氣。*12、控制功能及設(shè)定方法：12.1、控制功能 控制功能是專為全自動或半自動真空設(shè)備設(shè)計的擴(kuò)展功能。通過真空計的繼電

26、器觸點通、斷（或開、關(guān)）來切斷真空設(shè)備的真空泵或閥門等設(shè)備的供給電源，從而實現(xiàn)真空設(shè)備的自動或半自動工作模式。 在最佳的真空測量段可任意設(shè)定真空控制點或區(qū)間控制值（即上、下限值）并輸出繼電器觸點通、斷信號。該真空計定義上限值比下限值數(shù)值小，即上限真空度比下限真空度高（例如：上限值為5.0E1，下限值應(yīng)為6.0E12.0E2等） 該真空計的控制功能為選配功能，僅選裝了該功能的真空計其前、后面板對應(yīng)按鍵、輸出功能有效。12.2、設(shè)定方法所有設(shè)定通過前面板設(shè)定按鍵完成。 所有設(shè)定在真空計開機(jī)后，應(yīng)立刻進(jìn)入設(shè)定操作，否則5秒后電阻1/2單元自動進(jìn)入測量狀態(tài)，此后不能進(jìn)行設(shè)定。 復(fù)合單元為全量程設(shè)定。在

27、2.5×1035.0×10-1P范圍，由電阻1單元控制輸出；在1Pa5*10-5Pa范圍，由電離單元控制輸出。具體操作方法如下：·上限值設(shè)定：按下“設(shè)定1”按鍵手不松開并保持，“設(shè)定1”上限燈亮，初始顯示5.0E-1，顯示值開始變化；顯示系數(shù)加1，逢10指數(shù)加1，顯示過程如下：5.0E-1，6.0E-11.0E 0，9.0E 01.0E 19.0E 21.0E 35.0E 35.0E-16.0E-1循環(huán)。當(dāng)顯示到所需設(shè)定上限值時，停止按鍵，“設(shè)定1”上限值設(shè)定完成。·下限值設(shè)定：緊跟著再次按下“設(shè)定1”按鍵并保持，“設(shè)定1”下限燈亮，顯示將從上限值開始增

28、加，其增加過程同上，當(dāng)增加到所需下限值時，停止按鍵“設(shè)定1”下限值完成的，此時整個設(shè)定完成。·點控值設(shè)定：如果上限值設(shè)定完成后不再次按下“設(shè)定1”按鍵，即不設(shè)定下限值，則上限值即為點控值?！霸O(shè)定2”“設(shè)定3”“設(shè)定n”操作與上述相同。5秒后電阻1/2單元進(jìn)入測量狀態(tài)，并顯示真空度值。·如何關(guān)閉控制點：按下任意“設(shè)定”按鍵，當(dāng)顯示0.0E-1或0.0E-5時，停止按鍵，則相應(yīng)控制點被關(guān)斷。·如何顯示控制點真空計進(jìn)入測量狀態(tài)后，可按下相應(yīng)“設(shè)定”按鍵，真空計將循環(huán)顯示上、下限設(shè)定值。 真空計的設(shè)定值具有掉電記憶。*13、控制輸出當(dāng)真空計檢測真空度達(dá)到某一設(shè)定值上限時，

29、控制輸出繼電器動作（即觸點常閉轉(zhuǎn)為常開），同時上限燈亮（或?qū)?yīng)的J1/J2燈亮）；若真空度下降低于該設(shè)定上限值時，上限燈滅，但繼電器保持不動作（點控時動作），當(dāng)真空度再繼續(xù)下降到設(shè)定下限值時，下限燈滅，或?qū)?yīng)的J1/J2燈滅，此時繼電器動作，恢復(fù)原態(tài)。 例如：某一設(shè)定上限值為9×102Pa，下限為1×103Pa，其變化過程如下13.1控制輸出端口：“設(shè)定1”“設(shè)定2”“設(shè)定n”控制輸出端口與真空計前面板相應(yīng)設(shè)定“按鍵”相對應(yīng)。 每一控制輸出由三個端子引出，中間端為公共端，另外兩端為常開和常閉端，其圖示為：13.2控制輸出對應(yīng)表電阻2單元控制輸出復(fù)合單元控制輸出設(shè)定1設(shè)定2設(shè)

30、定3設(shè)定4設(shè)定1設(shè)定2設(shè)定3設(shè)定4設(shè)定5設(shè)定6設(shè)定7設(shè)定8注：·標(biāo)準(zhǔn)控制輸出：設(shè)定1/2為電阻單元控制輸出，設(shè)定3/4為復(fù)合單元控制輸出。 ·若未特別說明按標(biāo)準(zhǔn)控制輸出。*14、擴(kuò)展功能 所有擴(kuò)展功能均為選配功能，僅選配了該功能的真空計才具有相應(yīng)的功能輸出。14.1外控關(guān)閉電離規(guī)輸入端口： 1與2閉合關(guān)閉電源；1與2斷開恢復(fù)自動模式。14.2模擬輸出14.2.1模擬輸出端口：ZDF-X-LED型輸出紅+/黑- ZDF-X型輸出1+/2-14.2.2模擬量輸出表（0-5V，0-10V，0-10Mv，4-20mA）14.3計算機(jī)輸出圖及通訊協(xié)議：14.3.1計算機(jī)輸出圖14.3

31、.2計算機(jī)通訊協(xié)議：ZDF-X-LED型 RS232單向發(fā)送協(xié)議1、傳輸方式：10位傳輸，一位起始位（0），8位數(shù)據(jù)位（低位在先），1位停止位（1）2、波特率：1.2KHZ3、發(fā)送順序：（為ASCII碼）發(fā)送順序02AHWYZWXYZw（或“OAAH”為ZDF-X特征字） 開始特征字02AH為16進(jìn)制 X Y Z W x y z w 式中，X、Y為電阻2單元測量系數(shù)，x、y為復(fù)合單元測量系數(shù)。 Z為電阻2單元指數(shù)符號，z為復(fù)合單元指數(shù)符號。 W為電阻2單元指數(shù)，w為復(fù)合單元指數(shù)。RS232/485雙向發(fā)送協(xié)議（可變地址） 1、傳輸方式：10位傳輸，一位起始位（0），8位數(shù)據(jù)位（低位在先），1位

32、停止位（1） 2、波特率：9.6KHz 3、地址設(shè)定方法：按住“設(shè)定1”按鈕，打開電源開關(guān)，儀器左窗口顯示值為本機(jī)地址，本機(jī)地址可通過設(shè)定1、設(shè)定2按鈕進(jìn)行修改，可修改范圍為01-99，修改完成后，可按“去氣”按鈕退出地址設(shè)定狀態(tài)或關(guān)閉電源均可。 如地址設(shè)定為48，則發(fā)送命令如下：命 令應(yīng) 答“4” “8” “0” “”低真空度 “X” “X” “X” “X” “”電阻規(guī)1（整數(shù)）（小數(shù)）（符號）（指數(shù)）“4” “8” “1” “”低真空度 “X” “X” “X” “X” “”電阻規(guī)2（整數(shù)）（小數(shù)）（符號）（指數(shù)）“4” “8” “2” “”高真空度 “X” “X” “X” “X” “”電離

33、規(guī)散（整數(shù)）（小數(shù)）（符號）（指數(shù)）注1：有效命令（上表所列）均應(yīng)等待真空計應(yīng)答，否則隨后命令有可能不能正常執(zhí)行。注2：以上命令均為ASCII碼。15、附錄15.1機(jī)箱規(guī)格及開孔尺寸和重量型 號ZDF-X-LEDZDF-X機(jī)箱規(guī)格480×88240×88480×119265×119開孔尺寸440×85200×85440×119225×119重量5.5kg3.5kg5.0kg3.5kg選定機(jī)箱15.2機(jī)箱尺寸及開孔尺寸詳圖15.3規(guī)管管體及接口尺寸 ZJ-52T管體及接口尺寸管 體接 口 尺 寸選定尺寸玻 璃15.5

34、±0.5金 屬15.5KF10/16KF25KF40CF16CF25CF35注：未特別說明按標(biāo)準(zhǔn)配置：為15.5金屬規(guī)管 ZJ-27管體及接口尺寸管 體接 口 尺 寸選定尺寸玻 璃15.5±0.5金 屬15.5KF10/16KF25KF40CF16CF25CF35注：未特別說明按標(biāo)準(zhǔn)配置：為15.5金屬規(guī)管15.4規(guī)管接口尺寸圖夾緊型真空快卸法蘭（摘自GB4982-85）Kf系列法蘭的型式及尺寸如下列圖表如下法蘭標(biāo)記DNdlmaxd2d3KF1014.012.2+0.2 030.0 0 -0.084KF1620.017.2 +0.2 030.0 0 -0.084KF2528.026.2+0.2 040.0 0 -0.100KF4044.541.2+0.2 055.0 0 -0.120 橡膠密封真空規(guī)管接頭（摘自JB/T