生產(chǎn)實(shí)習(xí)技術(shù)報(bào)告

1、 生產(chǎn)實(shí)習(xí)技術(shù)報(bào)告 學(xué)院：機(jī)電學(xué)院 班號(hào)：05081401學(xué)號(hào)：2013301441姓名：曾培林技術(shù)報(bào)告目錄（一） 公司介紹（二） 實(shí)習(xí)日程安排（三） 實(shí)習(xí)了解的產(chǎn)品種類(lèi)及知識(shí)總結(jié)（四） 干泵的工作原理的較深入了解與總結(jié)（五） 實(shí)習(xí)感想與活動(dòng)總結(jié) 一 公司介紹中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司 (以下簡(jiǎn)稱公司) 是一家集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)為一體的高科技企業(yè)，其前身是中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心，創(chuàng)建于1958年，公司位于沈陽(yáng)市渾南新區(qū) (國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)) 內(nèi)，占地面積110畝、建筑面積3.5萬(wàn)平方米，總資產(chǎn)3.5億元人民幣。公司現(xiàn)有員工382人，其中具有本科以上學(xué)歷的

2、科技人員占員工總數(shù)的60%。公司始終堅(jiān)持以人為本，追求技術(shù)領(lǐng)先。經(jīng)過(guò)半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，造就了創(chuàng)新合作的學(xué)習(xí)型團(tuán)隊(duì)，構(gòu)建了高起點(diǎn)、高標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)平臺(tái)。公司以高真空、超高真空、潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ)，主要研發(fā)生產(chǎn)各類(lèi)薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、單晶爐、太陽(yáng)能光伏設(shè)備、集成電路裝備、大科學(xué)工程裝備、無(wú)油真空獲得及系統(tǒng)集成。多年來(lái)，公司依靠自身的技術(shù)和人才優(yōu)勢(shì)，創(chuàng)造了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)第一，多次打破發(fā)達(dá)國(guó)家技術(shù)封鎖。公司參加了北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)、合肥同步輻射、蘭州重離子加速器、上海第三代光源、“921”工程等國(guó)家重大科學(xué)工程的建設(shè)，為其提供了先進(jìn)的技術(shù)和成套設(shè)備。曾先后獲得國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)十余項(xiàng)，中

3、國(guó)科學(xué)院及省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)五十余項(xiàng)，國(guó)家級(jí)新產(chǎn)品三十余項(xiàng)，擁有專(zhuān)利80余項(xiàng)，是遼寧省、沈陽(yáng)市的高新技術(shù)企業(yè)，連續(xù)多年獲得AAA級(jí)資信等級(jí)證書(shū)。公司2000年通過(guò)了ISO9001國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證；2006年被認(rèn)定為“沈陽(yáng)市科技領(lǐng)航型企業(yè)”；2007年被遼寧省認(rèn)定為“技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)”；并入選“科技創(chuàng)新示范企業(yè)”培育計(jì)劃；2008年公司企業(yè)技術(shù)中心被遼寧省認(rèn)定為“省級(jí)企業(yè)技術(shù)中心”；2013年獲得“遼寧省創(chuàng)新型中小企業(yè)”稱號(hào)。公司建立了先進(jìn)的設(shè)計(jì)、加工和質(zhì)量管理體系，產(chǎn)品設(shè)計(jì)采用三維軟件設(shè)計(jì)，并引入了PDM (產(chǎn)品數(shù)據(jù)管理) 和CAPP (計(jì)算機(jī)輔助工藝過(guò)程設(shè)計(jì)) ，進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)效

4、率。在產(chǎn)品質(zhì)量方面，嚴(yán)格執(zhí)行ISO9001國(guó)際質(zhì)量體系。公司現(xiàn)擁有各類(lèi)機(jī)加設(shè)備100多臺(tái)套，擁有高檔數(shù)控加工中心及檢測(cè)設(shè)備。在加工、焊接、清洗、表面處理、真空除氣等方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，擁有先進(jìn)的表面工藝生產(chǎn)線、標(biāo)準(zhǔn)廠房、潔凈裝調(diào)間。沈科儀隸屬于中科院，在響應(yīng)號(hào)召改制為股份制企業(yè)后，由中科院控股，其兄弟企業(yè)有聯(lián)想和北京科儀等公司。沈科儀制造出了我國(guó)第一臺(tái)分子外延設(shè)備，第一臺(tái)多功能電子能譜儀。其子公司在上海、成都、沈陽(yáng)都有分布，不過(guò)據(jù)我向干泵維修部的師傅了解，在上海沈科儀只有維修的廠而無(wú)研發(fā)的技術(shù)部門(mén)。沈科儀總部公司場(chǎng)地成L形布局，主要產(chǎn)品有以下三種：（1）科研實(shí)驗(yàn)類(lèi)產(chǎn)品，主要用于各大高校和研究所；

5、（2）國(guó)家重大科學(xué)項(xiàng)目，如北京正負(fù)粒子對(duì)撞機(jī)與蘭州重離子加速器等高價(jià)大工程；（3）工業(yè)化生產(chǎn)設(shè)備，來(lái)訂購(gòu)的主要是一些國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造商。沈科儀是中國(guó)真空協(xié)會(huì)和中國(guó)真空學(xué)會(huì)的副理事長(zhǎng)單位，技術(shù)力量很強(qiáng)，公司主要有三個(gè)技術(shù)產(chǎn)品部門(mén)：（1）真空應(yīng)用產(chǎn)品事業(yè)部（2）高端裝備事業(yè)部（原LED裝備事業(yè)部）（3）真空干泵事業(yè)部。我們近兩周的實(shí)習(xí)就在這三個(gè)部門(mén)進(jìn)行。二實(shí)習(xí)日程安排 7.10 抵達(dá)沈科儀，開(kāi)會(huì)簡(jiǎn)要了解公司與產(chǎn) 品； 7.11至7.13 在真空應(yīng)用產(chǎn)品事業(yè)部實(shí)習(xí)； 7.14 在真空干泵事業(yè)部實(shí)習(xí)；7.15,7.16 放假； 7.17,7.18 在真空干泵事業(yè)部實(shí)習(xí)； 7.19,7.20,7.21早上

6、 在高端裝備事業(yè)部聽(tīng)龐師傅講課與實(shí) 習(xí)； 7.21下午 在會(huì)議室開(kāi)會(huì)總結(jié)，并寫(xiě)技術(shù)報(bào)告的 提綱，7.21晚離開(kāi)沈科儀，實(shí)習(xí)完滿 結(jié)束。三實(shí)習(xí)了解的產(chǎn)品種類(lèi)與知識(shí)總結(jié) (一) 真空應(yīng)用產(chǎn)品：這類(lèi)產(chǎn)品主要在真空應(yīng)用產(chǎn)品事業(yè)部實(shí)習(xí)的地方，在這一部門(mén)。其客戶多是高校和科研院所，還有一小部分是半導(dǎo)體企業(yè)。第一天實(shí)習(xí)時(shí)，主要了解的是非標(biāo)個(gè)性化產(chǎn)品，比如西工大材料學(xué)院定制的非標(biāo)真空冶煉裝置，哈工大定制的非標(biāo)納米氣相沉積裝置，此外還有一臺(tái)非標(biāo)的熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。第二天和第三天實(shí)習(xí)主要學(xué)習(xí)的是真空互聯(lián)裝置和標(biāo)準(zhǔn)真空應(yīng)用產(chǎn)品。在實(shí)習(xí)中，我了解到了真空應(yīng)用產(chǎn)品的一些重要部件：（1） 真空干泵：主要有分子泵和離子泵兩大

7、類(lèi)，目前沈科儀做的主要是離子泵，分子泵領(lǐng)域主要是北科儀在做。在真空應(yīng)用產(chǎn)品中，分子泵用的多為渦旋分子泵，其原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走以達(dá)到制造真空的目的。據(jù)師傅介紹分子泵除了渦旋泵外還有牽引泵和復(fù)合泵這兩種類(lèi)型。在講解時(shí)，他重點(diǎn)介紹了復(fù)合泵這種分子泵：復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在l0級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。 盤(pán)式牽引級(jí)是在平板圓

8、盤(pán)平面上按一定規(guī)律開(kāi)出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤(pán)串接起來(lái)構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤(pán)對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣目的。筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開(kāi)在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來(lái)達(dá)到較理想的抽氣效果。在復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)中，必須處理好渦輪級(jí)與牽

9、引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過(guò)渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真 空環(huán)境。 （2）閥門(mén)：在實(shí)習(xí)中我見(jiàn)得最多的便是插板閥和蝶閥了，所以在課下對(duì)這兩類(lèi)閥門(mén)也進(jìn)行了了解。插板閥又稱手動(dòng)刀型閘閥，刀形閘閥它是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門(mén)，其

10、原理是閘板上開(kāi)有一個(gè)通徑大小的圓口，通過(guò)閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動(dòng)作。此閥門(mén)的優(yōu)點(diǎn)在于閥體通徑無(wú)凹槽，介質(zhì)不會(huì)卡阻堵塞，并且具有全通徑流通特性，其密封結(jié)構(gòu)可以分軟密封、硬密封結(jié)構(gòu)。穿透式刀閘閥是具有精密構(gòu)造，工藝性好，結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)，密封閥座為活動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有防磨損和自動(dòng)補(bǔ)償功能，因而壽命更長(zhǎng)。在關(guān)閉和開(kāi)啟過(guò)程中閥座跟閘板一直緊貼運(yùn)動(dòng)，使得閥門(mén)啟閉力穩(wěn)定， 并且具有切斷介質(zhì)等特點(diǎn)。蝶閥又叫翻板閥，是一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的調(diào)節(jié)閥，可用于低壓管道介質(zhì)的開(kāi)關(guān)控制的蝶閥是指關(guān)閉件（閥瓣或蝶板）為圓盤(pán)，圍繞閥軸旋轉(zhuǎn)來(lái)達(dá)到開(kāi)啟與關(guān)閉的一種閥。 （3）密封圈及測(cè)漏方法： 密封方法主要有無(wú)氧銅

11、圈密封和銀線密封兩種方法。其中無(wú)氧銅圏密封適用于一般情形下的密封，而銀線密封主要適用于真空度要求高的情形下的密封。 檢漏方法主要有酒精檢測(cè)和氦氣檢測(cè)兩種方法，酒精檢測(cè)較為簡(jiǎn)便，只適用于粗測(cè)，細(xì)微的漏點(diǎn)檢測(cè)不到，而氦氣檢漏方法較復(fù)雜，還需用到專(zhuān)門(mén)的儀器，但是檢測(cè)結(jié)果精確，所以精密檢漏中多用氦氣檢漏的方法。 （4）水冷或氣冷裝置：水（氣）冷的目的是為了讓干泵維持在一個(gè)合適的溫度，避免因溫度較高而損傷干泵，降低其壽命。 （5）真空規(guī)管：主要有電阻規(guī)與電離規(guī)兩種真空規(guī)管，電離規(guī)是用來(lái)測(cè)量高真空（10-5pa到10-6pa）的壓力，電阻規(guī)是用來(lái)測(cè)量低真空(0.1pa左右)的壓力，兩種規(guī)管壓真空度測(cè)量范圍

12、不一樣。 下面來(lái)詳述一下我前三天實(shí)習(xí)所了解的一些典型真空應(yīng)用產(chǎn)品： （1）熱蒸發(fā)鍍膜非標(biāo)產(chǎn)品：通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸鍍Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。 （2）真空互聯(lián)裝置： 該工程屬于國(guó)家科技大項(xiàng)目，由沈科儀為蘇州某科研院所研發(fā)制造?！凹{米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站”依托中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所，由中科院與江蘇省、蘇州市共同建設(shè)，首期投入約15億元，建設(shè)規(guī)劃用地約150畝，納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站包括納米材料生長(zhǎng)、器件制備、加工與測(cè)試等各功能模塊的真空互聯(lián)裝置及個(gè)性化用戶站

13、，形成一個(gè)獨(dú)一無(wú)二的材料研究與器件研發(fā)環(huán)境?；ヂ?lián)裝置的物質(zhì)輸運(yùn)由磁控小車(chē)承擔(dān)，通過(guò)電動(dòng)控制器與光電定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)控制。另外載物臺(tái)下方還置放彈簧以達(dá)到減震的目的。 （3）PECVD型等離子體化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備 設(shè)備采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜，用以制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽(yáng)電池器件?？蓮V泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。該系統(tǒng)主要由真空反應(yīng)室、上蓋組件、熱絲架、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。 （4）雙室磁控濺射系統(tǒng) 系統(tǒng)主要由濺射真空室、進(jìn)樣室、

14、永磁磁控濺射靶（三個(gè)靶）、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。 （5）真空冶金裝置： 冶金裝置主要了解的是電弧爐。主要由電弧熔煉真空室、電弧槍、電弧熔煉電源、五工位水冷銅坩堝、翻轉(zhuǎn)機(jī)械手、真空吸鑄裝置、磁力攪拌、工作氣路、系統(tǒng)抽氣、真空測(cè)量及電氣控制系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)等各部分組成。用于熔煉高熔點(diǎn)金屬/合金，以及真空吸鑄法制備大塊非晶材料。（二）干泵維修和制造 第一天在干泵事業(yè)部的實(shí)習(xí)主要是在維修部門(mén)進(jìn)行的，主要了解的是干泵維修的步驟，下面對(duì)干泵的維修過(guò)程進(jìn)行詳

15、細(xì)說(shuō)明： （1）第一步是將完整的干泵進(jìn)行拆解，拆解時(shí)先通過(guò)注油并加熱打開(kāi)齒輪與軸的過(guò)盈連接，取下齒輪。經(jīng)我觀察，干泵內(nèi)的密封方式主要用的是膠圈密封。 （2）用清洗機(jī)對(duì)干泵的零部件進(jìn)行清洗，其清洗劑是酸性金屬清洗劑。所謂的清洗就是洗去零件表面油污和粉塵的過(guò)程。 （3）用烘烤機(jī)對(duì)清洗后的零件進(jìn)行烘干。 （4）將零件送入噴砂機(jī)進(jìn)行除銹，除銹主要針對(duì)內(nèi)表面，外表面采用噴涂黑色防銹漆的方法進(jìn)行防銹。 (5)對(duì)清洗好的零件進(jìn)行裝配，因?yàn)閱T工外出，這一過(guò)程閑置，未能看到實(shí)際操作。 干泵損壞的主要原因是在使用中的粉塵積累，干泵的泵間縫隙要盡可能小的目的是為了減小反流。 除了維修之外還參觀了對(duì)干泵的動(dòng)平衡檢測(cè)，

16、制造的剛性轉(zhuǎn)子都要在平衡機(jī)上作動(dòng)平衡測(cè)量，動(dòng)平衡的目的在于消除機(jī)械在高速轉(zhuǎn)動(dòng)的情況下發(fā)生不平衡現(xiàn)象。在高速轉(zhuǎn)動(dòng)情況下即使是很小的零部件都會(huì)產(chǎn)生很大的離心力，而平衡機(jī)可以校正轉(zhuǎn)子，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)平衡。 在干泵事業(yè)部的實(shí)習(xí)第二天和第三天是在干泵的調(diào)試與裝配部門(mén)，在這個(gè)部門(mén)，一半場(chǎng)地用來(lái)做干泵的裝配與調(diào)試，一半用來(lái)進(jìn)行渦旋泵的裝配與調(diào)試。首先來(lái)說(shuō)干泵的裝配過(guò)程，主要是將零部件裝配為完整的干泵，沈科儀的產(chǎn)品主要以二級(jí)泵為主，也有少量的四級(jí)泵與進(jìn)口泵在廠里進(jìn)行保修維護(hù)。在學(xué)習(xí)中了解到500A型干泵和1000A型干泵的原理并不盡相同，500A型干泵的上泵與下泵均為羅茨干泵，而1000A型干泵只有上泵為羅茨泵，

17、下泵為一復(fù)合泵。對(duì)于干泵的調(diào)試來(lái)說(shuō)，需要用專(zhuān)用儀表測(cè)量以下數(shù)據(jù)：干泵頻率，干泵溫度，羅茨溫度，羅茨功率，羅茨電流，干泵功率，干泵電流，氮?dú)饬髁?，排氣壓力，運(yùn)行時(shí)間，報(bào)警狀態(tài)等參數(shù)。下午時(shí)還進(jìn)行了干泵控制電路的組裝。干泵控制電路的主要組件有：變阻器，熱敏電阻，濾波器。由一條三火一地的電線對(duì)各元件進(jìn)行連接，使用的電源為三相交流電源，通過(guò)電路即可實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度，干泵轉(zhuǎn)速，干泵抽速的控制。 渦旋泵一般關(guān)注的是其進(jìn)氣口的極限真空度，極限真空度的測(cè)量利用的是真空計(jì)與流量計(jì)，流量計(jì)的接口接在渦旋泵的進(jìn)氣口上，接通電源后，待渦旋泵工作一段時(shí)間，觀察真空計(jì)的示數(shù)，了解渦旋泵的極限真空度大小。 （三）高端裝備事業(yè)部

18、在高端裝備事業(yè)部的實(shí)習(xí)主要以聽(tīng)課方式和自主學(xué)習(xí)為主，學(xué)習(xí)到的東西較為零散。 講課的內(nèi)容主要圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及光伏產(chǎn)業(yè)展開(kāi)，不僅講述了這些行業(yè)的發(fā)展歷程與應(yīng)用的典型技術(shù)，而且講了一些這些產(chǎn)業(yè)發(fā)展中出現(xiàn)的不足。 首先來(lái)說(shuō)光伏產(chǎn)業(yè)，重點(diǎn)講了藍(lán)寶石的制備方法，最初藍(lán)寶石的制備方法是火焰法，由歐洲一位商人研究發(fā)明。現(xiàn)今的光伏產(chǎn)業(yè)則屬于資金密集型和技術(shù)密集型的產(chǎn)業(yè)，在國(guó)內(nèi)幾次產(chǎn)業(yè)洗牌后，留下的都是有著雄厚資金和科研實(shí)力的大型公司，小公司很難在光伏產(chǎn)業(yè)中生存。值得注意的是政府在08年前對(duì)光伏企業(yè)有很多政策補(bǔ)貼和貸款優(yōu)惠，但因?yàn)楹芏嗥髽I(yè)借政策空子空手套現(xiàn)，騙貸虛報(bào)，國(guó)家已于08年后取消了對(duì)光伏行業(yè)的補(bǔ)貼，無(wú)錫

19、尚德公司的破產(chǎn)就是最典型的事件。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)，經(jīng)濟(jì)收益最高的是下游的產(chǎn)業(yè)，中上游產(chǎn)業(yè)屬于勞動(dòng)密集型產(chǎn)業(yè)，但收益并不多。晶體的生長(zhǎng)工藝主要有：直拉法，水平區(qū)熔法，熱交換法，導(dǎo)模法，虹吸法，泡生法等方法。 除去聽(tīng)課外，還參觀了石墨烯裝置（石墨烯目前可以制作墨水屏幕），有機(jī)-無(wú)機(jī)蒸發(fā)鍍膜裝置 （采用了九個(gè)束源爐）。石墨烯裝置的原理是利用氫氣與乙烯高溫裂化生成石墨烯。四干泵（真空泵）的工作原理的較深入了解與總結(jié) 真空泵俗稱干泵。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵腔內(nèi)無(wú)任

20、何潤(rùn)滑油，四對(duì)斷面相同的轉(zhuǎn)子，分別在它們各自的泵腔內(nèi)固定在兩個(gè)平行的軸上，用一對(duì)時(shí)限齒輪把它們連接并調(diào)整到使它們相互不接觸，有一定的間隙。干泵工作時(shí)，泵腔容積不斷周期性地發(fā)生變化，由大到小和由小到大，這樣利用氣體通道的啟閉作用實(shí)現(xiàn)抽氣作用，并且采用拼接成套的結(jié)構(gòu)，細(xì)小雜質(zhì)和灰塵可通過(guò)氣道和氣體一起排出泵外，泵的連續(xù)工作最大入口壓力為5000Pa，可直排大氣。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研

21、究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。 常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái)， 伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增

22、長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。 真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)： （1)泵總體結(jié)構(gòu)型式 真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。

23、這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。（2)泵的傳動(dòng)方式真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。 特點(diǎn)：(1)

24、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成

25、的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下會(huì)影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能徹底解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。干泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：（1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；（2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；（3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些

26、工藝中，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；（4）化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；（5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。近年來(lái)，干泵得到迅速的發(fā)展，國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干泵的開(kāi)發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類(lèi)泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級(jí)壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型

27、等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級(jí)壓縮比）。不同類(lèi)型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。五實(shí)習(xí)感想與活動(dòng)總結(jié)（1） 實(shí)習(xí)體會(huì)：為期兩周的生產(chǎn)實(shí)習(xí)結(jié)束了。這段時(shí)間以來(lái)，我們經(jīng)歷了很多，學(xué)到了很多，同樣也領(lǐng)悟了很多。俗話說(shuō)實(shí)踐是檢驗(yàn)真理的唯一標(biāo)準(zhǔn)。我們生活學(xué)習(xí)都在學(xué)校，接觸的是課本知識(shí)，很少有機(jī)會(huì)接觸工廠的生產(chǎn)流程。但通過(guò)這半個(gè)月的生產(chǎn)實(shí)習(xí)，我的這些錯(cuò)誤觀點(diǎn)都改變了。書(shū)本上的知識(shí)是生產(chǎn)技術(shù)的基礎(chǔ)和保障，沒(méi)深厚理論的支持在工作崗位上會(huì)很迷惘去摸索，結(jié)果有時(shí)還會(huì)不盡如人意。在實(shí)習(xí)過(guò)程中，我充分的了解到理論聯(lián)系實(shí)際的重要性。通過(guò)實(shí)習(xí)，對(duì)自己專(zhuān)業(yè)有了更為詳盡與深刻的了解，也是對(duì)學(xué)校所學(xué)知識(shí)的鞏固與靈活運(yùn)用。這也使我明白了要不斷的豐富自己的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和專(zhuān)業(yè)技能才能在職場(chǎng)中更加有發(fā)