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1、【名詞解釋】TFT陣列工序（TFT array process）2010/12/08 00:00 打印 E-mail 從制造的角度來看液晶面板的話，可分為TFT陣列工序、液晶單元工序、液晶模塊工序三類。各工序使用專用制造裝置及部件和材料。在這些液晶面板制造工序中，尤其是TFT陣列工序和液晶單元工序決定液晶面板顯示性能的重要工序。其中，TFT陣列工序?qū)γ姘逯圃斐杀镜挠绊懹葹橥怀觥?TFT陣列是對液晶進行驅(qū)動的電路基板。TFT和顯示像素電極被排列在玻璃基板上，用于驅(qū)動TFT的柵極布線、輸送加載在像素上的電壓信號的信號布線縱橫交錯。 TFT陣列工序與半導(dǎo)體的制造工序相似。與在硅晶圓上制造半導(dǎo)體電路一

2、樣，通過反復(fù)實施成膜、光刻及蝕刻工序，在玻璃基板上制造出TFT陣列。制造TFT陣列的各工序所使用的制造裝置在原理上也與半導(dǎo)體制造裝置相同。制造裝置的性能會影響液晶面板的性能。同時，制造裝置的生產(chǎn)效率（玻璃基板的處理能力以及工藝材料的使用量），以及制造裝置的集合體即制造生產(chǎn)線的整體效率也會大大影響液晶面板的成本。 比如，業(yè)界為提高制造生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率，多年來一直在努力削減掩模數(shù)。掩模數(shù)是指成膜工序、光刻工序及蝕刻工序的反復(fù)次數(shù)。掩模數(shù)的削減在液晶面板制造的技術(shù)革新中起到了突出的作用。19世紀(jì)80年代中期，松下電器產(chǎn)業(yè)首次投放市場的3英寸彩色液晶電視所使用的面板就是通過8張掩模的工序制造的。之后，各液晶面板廠商為了減少TFT陣列的工序數(shù)量，壓縮投資金額，積極展開了減少掩模數(shù)的開發(fā)。目前已減少到了4張掩模，工序數(shù)量大為減少。 另外，一直在支撐著PC用及電視用液晶面板走向大屏幕化、值得一提的技術(shù)是玻璃基板的大尺寸化。19世紀(jì)90年代初TFT液晶面板開始量產(chǎn)時最初使用的是300mm×400mm左右的第一代基板，而目前已發(fā)展到了了2880mm×3130mm的第十代基板。液晶面板尺寸一直加大的話，一塊玻璃基板能夠獲得的面板數(shù)量就會減少，使生產(chǎn)效率下降。為了對此進行彌補，就必須使玻璃基板實現(xiàn)大尺寸化。液晶用玻璃基板具有數(shù)倍于硅晶圓的面積。另外，玻璃基板面積的擴大速度要比硅晶圓

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