潔凈管道測試流程

1、QC流程及注意事項周科 目 錄：v一、外觀檢查及管路確認一、外觀檢查及管路確認v二、氣密測試二、氣密測試v三、氦測漏檢驗三、氦測漏檢驗v四、微粒子測試四、微粒子測試v五、含水量測試五、含水量測試v六、含氧量測試六、含氧量測試v七、機臺復(fù)歸七、機臺復(fù)歸一、外觀檢驗一、外觀檢驗管路確認管路確認：垂直與水平檢驗焊道SupportGasket管路流程測試NO結(jié)束/記錄1、外觀檢驗程序：、外觀檢驗程序：a. 所有管路是否依PID圖設(shè)計排列施工，并予標示氣體種類。b. 所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料（閥件、管材等）。c. 管路是否角度不正、傾斜、歪曲。d. 管路是否有污物殘留。e. 管路是否有凹陷、龜裂

2、等不良缺陷g. 確定支撐管線的支架安置無誤。h. 確定配管的工作不會妨礙本身維護保養(yǎng)及美觀程度。超高純氣體管路裝配完成后，須做管路之外觀檢驗，其檢驗項目為：超高純氣體管路裝配完成后，須做管路之外觀檢驗，其檢驗項目為：2.對氣對氣,管路確認管路確認a. 管路之入口（源頭）接上氣源。b. 送氣測試，管路正確，管路的終點則有氣體流出。c. 復(fù)原管路，檢查標示是否正確。d. 多管路氣體測試，逐管檢查，以免混淆。e. 執(zhí)行檢查時若發(fā)現(xiàn)有不符合事項時，品保人員應(yīng)通知工程部監(jiān)工進行改善。二二. 氣密測試氣密測試 使用氣體： 廠內(nèi)PN2系統(tǒng)或particle小于0.1um的惰性氣體做壓力測試。測試項目規(guī)定氣體

3、測試壓力測試時間壓力測試N28kg/cm212小時（或依業(yè)主規(guī)定）1、保壓測試：、保壓測試： 測試壓力及時間設(shè)計值:a. 封住出氣：管路上留一道進氣口，其余進出氣口都封住。b. 銜接管路：將管路進氣口接氣源，出氣口接上Gauge或圓盤壓力計， c. 圓盤壓力計歸零：于使用前需做歸零的動作。d. 充入氣體：進氣口氣源或出氣口Gauge或圓盤壓力計，盤面管路上所形成封閉的空間。 有閥件必須全開。封 住 進 出 氣程 序銜 接 管 路充 入 氣 體充 入 氣 體NOYESGauge歸 零Snoop測 試測 試結(jié) 束 /記 錄e. Snoop測試：用Snoop測試盤面管上之接頭是f. 測試：用Gaug

4、e或圓盤壓力記錄器來測試盤面g. 測試時間：12小時或依業(yè)主要求之測試時間。h. 測試溫度：盡量維持開始測試溫度（無塵室溫否有漏氣現(xiàn)象。（若有漏的現(xiàn)象，會有起泡的狀況）。管路上壓力狀況，并隨時間的流逝，記錄下每一時刻的實時壓力值。度23C）至測試結(jié)果（因為溫度會影響測試設(shè)備壓力）。i.在規(guī)定的時間內(nèi)，管路的壓力應(yīng)沒有下降。如果壓力值有出入，但測試開始和完成時的溫度不同，則須再考慮溫度校正公式，以決定此壓力測試是否通過。溫度校正公式：v（1） 計算公式：vP1：起始絕對壓力值 (/2g 1 )。vP2：理論最終絕對壓力值 (/2g 1 )。vP2：最終絕對壓力值 (/2g 1 )。vT1：起始絕

5、對溫度 ( 273oK )vT2：最終絕對溫度 ( 273oK )v P2P1T2 / T1 （2） 判定： P2 P1/ P2 3 j.結(jié)束/記錄：在開始記錄壓力前及完成測試后，將測試管路名稱、起始及結(jié)束的壓力值、時間日期等務(wù)必詳實紀錄。注意事項：注意事項：a .所有測試均須以最有效率的方式進行，譬如以幾個鄰近的管線為一組搭b.改善措施：針對有漏的地方進行維修及重工之改善措施。c.測試時，管路充入測試氣體后10分鐘或更久，才開始做記錄，以免產(chǎn)生d.未接受試壓部份，如安全閥、控制閥、壓力計等，均應(yīng)接受氣密試驗。配一壓力記錄儀進行測試工作。誤差。氣密試驗的壓力不可超過該組件的最大壓力范圍。 e.

6、試驗時須確定通風(fēng)良好。 f.試壓后排放管內(nèi)壓力，并保持吹凈狀態(tài)，或使管內(nèi)保持0.5 /2 以上壓力，并注意安全防止排放環(huán)境缺氧。三三.氦氦測漏檢驗測漏檢驗 氦氣的特點是分子比較小，在空氣中無毒害作用，又不易吸附到管路上以至殘留。當封閉的管路在泵的作用下成真空狀態(tài)時，在焊道周圍和接口處噴以氦氣，如有泄漏時氦氣分子即可通過微小的縫隙進入管路從而進入氦測漏機。氦測漏機中的質(zhì)譜儀，它能從通過測量氦分子的數(shù)量得出漏率的相應(yīng)數(shù)值。 氦測氦測漏漏測試程序：測試程序：抽真空測試NO結(jié)束/記錄檢驗管路銜接管路設(shè)備抽真空a.設(shè)備抽真空：先將He測漏儀設(shè)備內(nèi)部真空值到1*10-9atm.cc/secb.檢驗管路：檢

7、查管路、盤面上之每個焊接點VCR接頭是否有組裝好。c.銜接管路：將要測試管路之所有進氣口封起來，只留下一個測試孔，d.抽真空：測試的管路抽真空數(shù)值必須達到1*10-9atm.cc/sec,且數(shù)值與氦測漏儀設(shè)備銜接。穩(wěn)定后才可進行測試動作。e.測試：用氦氣噴槍噴要測試之管路、盤面上之每個焊接點及VCR接頭,噴氦f.結(jié)束/記錄：將測試結(jié)果數(shù)值記錄于氦測漏測試記錄表上。開、關(guān)機程序：開、關(guān)機程序：開 機：a.打開電源開關(guān),VENT燈亮, 約3分鐘， Pump到達極速 ,面板有 b.Vent燈亮后，在測試儀控制面板上即可看出漏率顯示，此時系關(guān) 機 程 序：a.關(guān)閉主要電源前,須將測漏儀面按到Vent處

8、. b.待Vent燈亮后才 可關(guān)機。 c.關(guān)機后因內(nèi)部Pump仍高速運轉(zhuǎn)，必須等待3-5分鐘才可移動。 d.關(guān)機后須將測試口封住，以保持測漏儀內(nèi)部的清潔。屬剛開機，機器內(nèi)部仍殘留氣體存在，此時須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec,等待漏率數(shù)值穩(wěn)定后，即可銜接要測試之管路、盤面。氣時要遵循由近及遠，由高到低的原則，監(jiān)控氦測漏儀控制面板上數(shù)值顯示。測試數(shù)值規(guī)格：1*10-9atm.cc/sec以下。數(shù)值顯示，即表示氦測漏儀已準備完成。氦測漏儀操作注意事項：氦測漏儀操作注意事項：a.氦測漏儀于開機后，應(yīng)平穩(wěn)放置，不可有傾斜。b.本機內(nèi)部抽氣系統(tǒng)屬特之渦輪分子泵，在關(guān)機3-5分鐘后，即P

9、ump確實c.在測試工作結(jié)束后，因內(nèi)部含有大量的氦氣，故于管路盤面分離后 ，測d.氦測漏儀工作電壓系分為220V在送電前，須確定電壓是否正確。e.因本機器設(shè)備系屬精密電子儀器設(shè)備，故必須使用有接地式插頭。f.本機器設(shè)備長期不使用時，每周必須開機運轉(zhuǎn)一小時，可保持測漏儀更好停止運轉(zhuǎn)后，始可移動或重新開機。漏儀必須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec待漏率數(shù)值穩(wěn)定后即可關(guān)機。的靈敏度。四四. . 微粒子分析微粒子分析 Particle有一激光管，當微粒子在氣流的作用下，通過激光管發(fā)出的激光束時發(fā)生折射作用。微粒子大小不同，折射光的強度也不同。不同的折射光通過光電轉(zhuǎn)換，即得到強度不同的電

10、流。而電流的變化可以對微粒子大小及數(shù)量進行測量。管路吹掃測試NO結(jié)束選用氣體測試流程：測試流程：1.選用氣體：選用氣體： a.使用氣體必須經(jīng)過0.01um過濾器過濾之惰性氣體（氮氣等） b.氣體來源純凈值必須小于小于0.1um2.管路吹掃：管路吹掃： a.將測試管路之入口或盤面進氣口接上氣源，來Purge所要測試的管路。 b.管路盤面之氣體的出口必須單獨測試。 c.測試時如果不斷出現(xiàn)Particle時可用橡膠榔頭或手輕拍所要測試的管路； 所有閥門都要做“開”“關(guān)”動作，以使管內(nèi)微粒子隨Purge氣體排出。此 Purge程序需維持30分鐘以上。3.測試：測試： a.將管路之氣體出口接到Parti

11、cle Counter取樣口。 b.若管路為多氣體出口時，每支管路氣體出口必須做單獨測試。 c.測試壓力：45150psi。 d.測試時間：測試十分鐘取樣一次并記錄，連續(xù)測試三次。 e.測試標準：小于等于0.1um。測試儀器使用注意事項：測試儀器使用注意事項：a.電源啟動前，必須確定使用電源為220V，頻率為60Hz。b.開機后，不可移開進氣端，以免鐳射管損壞。c.本測試機臺為非防爆型，故測試氣體僅可使用Air、Ar、CO2、He、Ne、N2。4.結(jié)束結(jié)束需將測試結(jié)果記錄于微粒子分析測試記錄表，以作日后追溯與識別使用。TRACER水分分析儀的基本原理：CELL是一特殊電元件，其內(nèi)部表面有P2O

12、5層，當含有水分的氣體通過CELL時，CELL表面的P2O5層吸收水分并電解。水電解后形成帶電的離子，帶電離子形成電流，通過測量電流變化可以得知水分多少。 測試程序：測試程序：管路吹掃測試NO結(jié)束YES選用氣體1.選用氣體：選用氣體： 使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮氣或高純度的惰性氣體。2.管路吹掃：管路吹掃： a.將測試管路或盤面進氣孔接上氣源。 b.將測試管路盤面上所有閥件全部打開。 c.使用設(shè)計壓力氣源來Purge所要測試之管路,此Purge程序需維持30分鐘以上。3.測試：測試： a.氣體管路于銜接水分分析儀前，必須將銜接測試管路Purge 5分鐘，讓銜接管 b.并聯(lián)氣體管路之出氣口至

13、水份分析進氣口。 c.測試時依水份分析儀測試數(shù)據(jù)值的狀況，同時進行測試與Purge直到水份分析 d.測試標準值為：20ppb以下或依業(yè)主要求。路內(nèi)之水份隨Purge氣體流出。儀測試值達到標準數(shù)值以下。4.結(jié)束：結(jié)束： 將測試結(jié)果記錄于水份分析測試記錄表，以作日后追溯與識別使用。 CELL電流元件結(jié)合了一個包含在多孔管里的銀電極與鎘電極和鉑電極共同包含在氫氧化鉀溶液中。當含有氧分的氣體通過氫氧化鉀溶液時，氧在銀電極上還愿為氫氧根離子，通過溶液的移動，在鎘陽極產(chǎn)生負電荷形成電流，電流在微處理器控制下測量出相對應(yīng)的樣品氧濃度。測試程序：測試程序：選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮氣或同等純度的

14、惰性氣體。管路吹掃測試NO結(jié)束YES選用氣體1.管路吹掃：管路吹掃： a.將測試管路或接上氣源。 b.將測試管路盤面上所有閥件全部打開。 c.使用設(shè)計壓力之氣源來Purge所要測試之管路。 d.此Purge程序需維持30分鐘以上。2.測試：測試： a.氣體于接上設(shè)備前必須先將銜接測試管Purge5分鐘以上。 b.經(jīng)過Purge的銜接測試管路，銜接上微氧分析儀后，打開微氧分析儀電源進行測試。 c.測試時依微氧分析儀測試數(shù)據(jù)的狀況，同時進行測試與Purge直到測試值達到標準數(shù)值以下才合格。3.結(jié)束：結(jié)束： 將測試結(jié)果記錄于微氧分析測試記錄表，以作日后追溯與識別用。注意事項：注意事項： a.所有測試銜接管必須使用不銹鋼316L以上之材質(zhì)。 b.氣體于接上設(shè)備前必須先將銜接測試管Purge5分鐘以上。 c.測試規(guī)格：50PPB以下（或依客戶要求之規(guī)格）。七、機臺復(fù)歸七、機臺復(fù)歸1.復(fù)歸程序：復(fù)歸