透射電鏡介紹課件

1、一一 概況概況透射式電子顯微鏡透射式電子顯微鏡(Transmission ElectronMicroscopes )簡稱透射電鏡。原理：原理：利用磁透鏡對穿過樣品的電子束進(jìn)行放大，這種電子束帶有樣品中的超微結(jié)構(gòu)信息，可以在熒光屏上顯示超微結(jié)構(gòu)的放大電子圖像。特點(diǎn)特點(diǎn)： 分辨率高：H-9500可達(dá)0.10nm 放大倍數(shù)高：幾百數(shù)十萬倍 應(yīng)用范圍廣：生物、醫(yī)學(xué)、冶金、 化學(xué)化工HITACHI H-7650HITACHI H-7700二二 結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)1、電子光學(xué)系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng) 照明系統(tǒng)鏡筒 成 像 系 統(tǒng) 觀察記錄系統(tǒng)電子槍聚光鏡樣品室物鏡中間鏡投影鏡觀察室照相系統(tǒng)結(jié)構(gòu)1.1 照明系統(tǒng)照明系統(tǒng)n電

2、子槍電子槍電鏡以電子槍作為光源，相當(dāng)于光學(xué)顯微鏡的照明可見光源。目前電鏡大多采用由陰極、柵極和陽極陰極、柵極和陽極組成的三極式電子槍。陰極陰極 俗稱燈絲，一般為直徑0.12mm的鎢絲鎢絲制成彎曲或發(fā)叉式（也稱V型）。通入加熱電流時，燈絲尖端產(chǎn)生熱電子發(fā)射，并在陽極電壓作用下，將發(fā)射的電子加速到極高的速度。另外還有LaB6陰極和場發(fā)射鎢場發(fā)射鎢單晶單晶陰極，其亮度和壽命均優(yōu)于前者。柵極柵極 由一個中央孔徑d=2mm的圓金屬筒構(gòu)成。柵極水平面與燈絲尖端的距離h=0.51mm，并且在柵極上加有相對于陰極的負(fù)電位，因此也稱負(fù)偏壓柵極，用于有效地控制陰極（燈絲）的發(fā)射電流。陽極陽極 陽極電位為零，相對于

3、陰極是正的加速電壓。通常幾十千伏幾百千伏，視不同要求而定，其作用是使電子加速。聚光鏡聚光鏡聚光鏡的作用聚光鏡的作用是將電子槍所發(fā)射的電子束會聚在樣品上，控制照明亮度、電子束斑的大小及孔徑角。構(gòu)成：構(gòu)成：電磁透鏡、聚光鏡光闌、偏轉(zhuǎn)線圈、消像散器等組成。Overfocused Focused Underfocused (Second condenser lens )1.2 成像系統(tǒng)成像系統(tǒng)成像放大系統(tǒng)成像放大系統(tǒng)是電鏡獲得高分辨率和高放大倍數(shù)的核心組件。一般由物鏡、中間鏡物鏡、中間鏡和兩個投影鏡和兩個投影鏡組成?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)中間鏡和投影鏡的電流來改變不同的放大倍數(shù)，改變物鏡電流對圖像進(jìn)行聚焦。裝上有

4、關(guān)附件，還可進(jìn)行掃描、電子衍射和能譜分析等方面的觀察和測試。物鏡物鏡(Objective lens) 物鏡物鏡(Objective lens)是成像放大系統(tǒng)的第一級成像透鏡，其作用是將樣品信息作初級放大，一般放大倍數(shù)為50倍。物鏡光闌物鏡光闌(Objective aperture )Remove aperture Insert aperture中間鏡中間鏡(Intermediate lens) 中間鏡和投影鏡的作用中間鏡和投影鏡的作用是將來自物鏡的初級像逐級放大，最后成像于熒光屏上。其結(jié)構(gòu)與物鏡基本相似，中間鏡中間鏡是長焦距弱磁透鏡，投影鏡投影鏡是短焦距強(qiáng)磁透鏡。利用改變中間鏡和第一投影鏡的電流來控制總放大倍數(shù)。投影鏡投影鏡(Projector Lens)1.3 觀察記錄系統(tǒng)觀察記錄系統(tǒng)n熒光板n雙目鏡n底片盒n底片傳送裝置n控制暴光裝置2 真空排氣系統(tǒng)真空排氣系統(tǒng)真空系統(tǒng)的作用真空系統(tǒng)的作用是使鏡筒內(nèi)部處于高真空狀態(tài)，也是決定電鏡能否正常工作的重要因素。如果真空度差，則：(1)導(dǎo)致氣體分子與高速運(yùn)行的電子相互作用而隨機(jī)地散射電子，降低圖像的反差。(2)電子槍中所殘存的氣體分子會產(chǎn)生電離而放電，引起電子束發(fā)射不穩(wěn)定或“閃爍”。(3)殘余氣體與熱燈絲作用，縮短燈絲壽命。(4)殘余氣體聚集在樣品上會污染樣品。真空系統(tǒng)包括：真空系統(tǒng)