微納中心超凈間培訓(xùn)課件

微納中心超凈間培訓(xùn)微納中心超凈間培訓(xùn)超凈間就是達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度的實驗室，是微納加工的重要平臺。對于潔凈度的標(biāo)準(zhǔn)，美聯(lián)邦的209E標(biāo)準(zhǔn)的定義是將“室內(nèi)懸浮粒子濃度控制在一定水平的房間”；潔凈室分級：習(xí)慣上的稱呼為一級—-十級-百級—千級—萬級---十萬級（美國209E標(biāo)準(zhǔn)），這些級別的劃分是由房間內(nèi)空氣的潔凈度（空內(nèi)懸浮粒子的濃度）來實現(xiàn)的。百級、千級、萬級定義單位立英尺空氣含直徑于0.5μm塵埃粒數(shù)。超凈間概述超凈間就是達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度的實驗室，是微納加工的重要平臺超凈間工作原理超凈間工作原理潔凈度不達(dá)標(biāo)的后果潔凈度不達(dá)標(biāo)的后果超凈間內(nèi)的主要污染源是人，包括人體衣服表面附著物、纖維、體表脫落物（皮屑、頭屑、唾沫）、走路揚(yáng)起的塵埃等。有數(shù)據(jù)顯示：人員著不同的衣服和各種動作都會對無塵室的空氣質(zhì)量產(chǎn)生影響，見下表：不同衣著、不同動作時的人體產(chǎn)塵超凈間污染源控制超凈間內(nèi)的主要污染源是人，包括人體衣服表面附著物、纖維、體表門禁2門禁3門禁1C405C40610萬級內(nèi)走廊緩沖走廊千級區(qū)不銹鋼柜子新舊鞋柜ResearchCenterforMicro/NanoSystem外部掛衣架(門禁1外走廊)10萬級走廊

C409

C412

C410

C407

C411

C414超凈間平面布局圖門禁2門禁3門禁1C40510萬級內(nèi)走廊緩沖走廊千級區(qū)不銹鋼鞋柜區(qū)更衣室凈化間FilterFilterFilter鞋柜凈化服存貯架風(fēng)淋室凈化間桌子，工作臺，椅子，貨架，推車及設(shè)備超凈間結(jié)構(gòu)圖鞋柜區(qū)更衣室凈化間FilterFilterFilter鞋柜凈Step1進(jìn)入鞋柜區(qū)，在該區(qū)域：1.將限制物品除去(非凈化紙、背包等)2.將個人物品存放在分配的鞋柜里，禁止放到地面或者柜子上。3.超凈間內(nèi)不準(zhǔn)穿拖鞋，進(jìn)入凈化區(qū)域必須穿白色凈化鞋（臨時參觀人員穿一次性鞋套），禁止穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內(nèi)外進(jìn)進(jìn)出出。凈化鞋不能直接與日常鞋放在一起,否則會交叉污染!應(yīng)該將凈化鞋用塑料袋套好，再放在儲物柜內(nèi)。進(jìn)出超凈間基本操作Step1凈化鞋不能直接與日常鞋放在一起,否則會交叉污染!存放鞋子入柜更換防塵白鞋進(jìn)出超凈間基本操作存放鞋子入柜更換防塵白鞋進(jìn)出超凈間基本操作Step2進(jìn)入一更換衣區(qū)，在該區(qū)域：1.穿一更防塵白大褂2.準(zhǔn)備進(jìn)入超凈間進(jìn)出超凈間基本操作Step2進(jìn)出超凈間基本操作注意事項：1.防塵白大褂一人一件，請勿亂穿他人的2.取放防塵白大褂時候，按照規(guī)定放好防塵白大褂3.請及時清洗防塵白大褂4.衣架上寫上自己的標(biāo)簽，衣服標(biāo)上自己姓名的牌子進(jìn)出超凈間基本操作注意事項：進(jìn)出超凈間基本操作1.進(jìn)入前在粘塵墊上踩過.2.在風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋,時間30秒,風(fēng)淋時舉起雙手,緩慢轉(zhuǎn)身3-4圈.

3.從更衣室進(jìn)凈化間的風(fēng)淋室,每次最多進(jìn)入兩人.4.如果發(fā)現(xiàn)風(fēng)淋室不吹風(fēng),可以按“急停”,

再按“風(fēng)淋”.

如果還有問題,通知管理人員維修.5.禁止從超凈間的后門（萬級間走廊及412

房間都有后門）進(jìn)進(jìn)出出，走廊后門是用于

運輸氣瓶和垃圾廢液等物品的.Step3進(jìn)入風(fēng)淋室進(jìn)出超凈間基本操作1.進(jìn)入前在粘塵墊上踩過.Step3進(jìn)入風(fēng)淋1.出超凈間：

只從指定超凈間出口走出。2.脫及存放一更白大褂：

將一更防塵白大褂掛在分配的衣架上，注意不要將一更防塵白大褂的內(nèi)側(cè)翻到外面存放

3.更換、存放防塵白鞋

進(jìn)入鞋柜區(qū)，更換防塵白鞋，將防塵白鞋存放到鞋柜里Step4出超凈間

進(jìn)出超凈間基本操作1.出超凈間：Step4出超凈間進(jìn)出超凈間穿鞋子 1.進(jìn)入超凈間一定要更換超凈間專用鞋子或者換鞋套，不允許穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內(nèi)外進(jìn)進(jìn)出出；穿衣服 2.進(jìn)入超凈間一定更換防塵服，出超凈間一定將一更防塵服留置在對應(yīng)的衣柜，嚴(yán)禁將防塵服穿出超凈間；不走后門 3.禁止從超凈間的后門（萬級間走廊及412房間都有后門）進(jìn)進(jìn)出出，走廊后門只限于運輸氣瓶和垃圾廢液等物品；不帶外人 4.禁止隨意帶其他沒有門禁的人員進(jìn)入超凈間實驗室做實驗，有需求的人可以申請門禁開通，并接受超凈間基本守則的培訓(xùn)。保持清潔 5.不得長期把垃圾堆放在走廊，要及時通知清潔阿姨來清理。超凈間的基本規(guī)范穿鞋子超凈間的基本規(guī)范對于上述超凈間守則，如有違規(guī)者，視情節(jié)輕重進(jìn)行處罰。發(fā)現(xiàn)一次違反超凈間守則的，提出口頭批評；違反兩次以上的，檢討教育，并加以公示；情節(jié)嚴(yán)重者將在知會轉(zhuǎn)化中心主任的情況下，停止門禁10個工作日。若要提前開通，必須向微納中心繳納超凈間規(guī)范培訓(xùn)費用50元/人/次（見微納中心網(wǎng)站收費標(biāo)準(zhǔn)），并接受微納中心的培訓(xùn)。違反超凈間規(guī)范的處罰對于上述超凈間守則，如有違規(guī)者，視情節(jié)輕重進(jìn)行處罰。違反超凈微納中心超凈間培訓(xùn)微納中心超凈間培訓(xùn)超凈間就是達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度的實驗室，是微納加工的重要平臺。對于潔凈度的標(biāo)準(zhǔn)，美聯(lián)邦的209E標(biāo)準(zhǔn)的定義是將“室內(nèi)懸浮粒子濃度控制在一定水平的房間”；潔凈室分級：習(xí)慣上的稱呼為一級—-十級-百級—千級—萬級---十萬級（美國209E標(biāo)準(zhǔn)），這些級別的劃分是由房間內(nèi)空氣的潔凈度（空內(nèi)懸浮粒子的濃度）來實現(xiàn)的。百級、千級、萬級定義單位立英尺空氣含直徑于0.5μm塵埃粒數(shù)。超凈間概述超凈間就是達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度的實驗室，是微納加工的重要平臺超凈間工作原理超凈間工作原理潔凈度不達(dá)標(biāo)的后果潔凈度不達(dá)標(biāo)的后果超凈間內(nèi)的主要污染源是人，包括人體衣服表面附著物、纖維、體表脫落物（皮屑、頭屑、唾沫）、走路揚(yáng)起的塵埃等。有數(shù)據(jù)顯示：人員著不同的衣服和各種動作都會對無塵室的空氣質(zhì)量產(chǎn)生影響，見下表：不同衣著、不同動作時的人體產(chǎn)塵超凈間污染源控制超凈間內(nèi)的主要污染源是人，包括人體衣服表面附著物、纖維、體表門禁2門禁3門禁1C405C40610萬級內(nèi)走廊緩沖走廊千級區(qū)不銹鋼柜子新舊鞋柜ResearchCenterforMicro/NanoSystem外部掛衣架(門禁1外走廊)10萬級走廊

C409

C412

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C407

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C414超凈間平面布局圖門禁2門禁3門禁1C40510萬級內(nèi)走廊緩沖走廊千級區(qū)不銹鋼鞋柜區(qū)更衣室凈化間FilterFilterFilter鞋柜凈化服存貯架風(fēng)淋室凈化間桌子，工作臺，椅子，貨架，推車及設(shè)備超凈間結(jié)構(gòu)圖鞋柜區(qū)更衣室凈化間FilterFilterFilter鞋柜凈Step1進(jìn)入鞋柜區(qū)，在該區(qū)域：1.將限制物品除去(非凈化紙、背包等)2.將個人物品存放在分配的鞋柜里，禁止放到地面或者柜子上。3.超凈間內(nèi)不準(zhǔn)穿拖鞋，進(jìn)入凈化區(qū)域必須穿白色凈化鞋（臨時參觀人員穿一次性鞋套），禁止穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內(nèi)外進(jìn)進(jìn)出出。凈化鞋不能直接與日常鞋放在一起,否則會交叉污染!應(yīng)該將凈化鞋用塑料袋套好，再放在儲物柜內(nèi)。進(jìn)出超凈間基本操作Step1凈化鞋不能直接與日常鞋放在一起,否則會交叉污染!存放鞋子入柜更換防塵白鞋進(jìn)出超凈間基本操作存放鞋子入柜更換防塵白鞋進(jìn)出超凈間基本操作Step2進(jìn)入一更換衣區(qū)，在該區(qū)域：1.穿一更防塵白大褂2.準(zhǔn)備進(jìn)入超凈間進(jìn)出超凈間基本操作Step2進(jìn)出超凈間基本操作注意事項：1.防塵白大褂一人一件，請勿亂穿他人的2.取放防塵白大褂時候，按照規(guī)定放好防塵白大褂3.請及時清洗防塵白大褂4.衣架上寫上自己的標(biāo)簽，衣服標(biāo)上自己姓名的牌子進(jìn)出超凈間基本操作注意事項：進(jìn)出超凈間基本操作1.進(jìn)入前在粘塵墊上踩過.2.在風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋,時間30秒,風(fēng)淋時舉起雙手,緩慢轉(zhuǎn)身3-4圈.

3.從更衣室進(jìn)凈化間的風(fēng)淋室,每次最多進(jìn)入兩人.4.如果發(fā)現(xiàn)風(fēng)淋室不吹風(fēng),可以按“急?！?

再按“風(fēng)淋”.

如果還有問題,通知管理人員維修.5.禁止從超凈間的后門（萬級間走廊及412

房間都有后門）進(jìn)進(jìn)出出，走廊后門是用于

運輸氣瓶和垃圾廢液等物品的.Step3進(jìn)入風(fēng)淋室進(jìn)出超凈間基本操作1.進(jìn)入前在粘塵墊上踩過.Step3進(jìn)入風(fēng)淋1.出超凈間：

只從指定超凈間出口走出。2.脫及存放一更白大褂：

將一更防塵白大褂掛在分配的衣架上，注意不要將一更防塵白大褂的內(nèi)側(cè)翻到外面存放

3.更換、存放防塵白鞋

進(jìn)入鞋柜區(qū)，更換防塵白鞋，將防塵白鞋存放到鞋柜里Step4出超凈間

進(jìn)出超凈間基本操作1.出超凈間：Step4出超凈間進(jìn)出超凈間穿鞋子 1.進(jìn)入超凈間一定要更換超凈間專用鞋子或者換鞋套，不允許穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內(nèi)外進(jìn)進(jìn)出出；穿衣服 2.進(jìn)入超凈間一定更換防塵服，出超凈間一定將一更防塵服留置在對應(yīng)的衣柜，嚴(yán)禁將防塵服穿出超凈間；不走后門 3.禁止從超凈間的后門（萬級間走廊及412房間都有后門）進(jìn)進(jìn)出出，走廊后門只限于運輸氣瓶和垃圾廢液等物品；不帶外人 4.禁止隨意帶其他沒有門禁的人員進(jìn)入超凈間實驗室做實驗，有需求的人可以申請門禁開通，并接受超凈間基本守則的培訓(xùn)。保持清潔 5.不得長期把垃圾堆放在走廊，要及時通知清潔阿姨來清理。超凈間