GB/T 14139-1993硅外延片

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 14139-1993 硅外延片》是中國(guó)一項(xiàng)關(guān)于硅外延片的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定硅外延片的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求，以確保其在半導(dǎo)體工業(yè)中的適用性和可靠性。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

1. 范圍：本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件制造用的單晶硅外延片，明確了適用的硅外延片類型及主要應(yīng)用領(lǐng)域。

2. 規(guī)范性引用文件：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)所直接引用或參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文檔，這些文件對(duì)于理解和執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的具體要求至關(guān)重要。

3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)硅外延片相關(guān)的專業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了解釋和界定，幫助讀者準(zhǔn)確理解標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。

4. 分類與標(biāo)記：根據(jù)硅外延片的材質(zhì)、尺寸、厚度、電阻率等特性進(jìn)行分類，并規(guī)定了產(chǎn)品標(biāo)記方法，確保信息清晰可追溯。

5. 技術(shù)要求：

   • 外觀：規(guī)定了硅外延片表面應(yīng)平整、無(wú)明顯缺陷。
   • 尺寸和形狀：對(duì)外延片的直徑、厚度、平行度等物理尺寸提出具體要求。
   • 晶體質(zhì)量：包括晶向、位錯(cuò)密度、微缺陷等指標(biāo)，確保材料的電學(xué)性能。
   • 雜質(zhì)含量：限制了特定雜質(zhì)元素的最大濃度，以保證半導(dǎo)體器件的性能穩(wěn)定。
   • 表面粗糙度和清潔度：對(duì)外延片表面的微觀形態(tài)和平整度，以及表面沾污程度提出了標(biāo)準(zhǔn)。

6. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)說(shuō)明了如何通過(guò)各種物理、化學(xué)檢測(cè)手段來(lái)驗(yàn)證硅外延片是否滿足上述技術(shù)要求，包括但不限于X射線衍射分析、四探針?lè)y(cè)電阻率、掃描電子顯微鏡觀察等。

7. 檢驗(yàn)規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品檢驗(yàn)的程序、抽樣方法、合格判定準(zhǔn)則等，確保產(chǎn)品質(zhì)量控制的一致性和有效性。

8. 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：對(duì)硅外延片的標(biāo)識(shí)信息、包裝材料、防護(hù)措施、運(yùn)輸條件以及儲(chǔ)存環(huán)境進(jìn)行了規(guī)定，以防止在流通和存儲(chǔ)過(guò)程中受到損壞。

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