GB/T 30110-2013空間紅外探測器碲鎘汞外延材料參數(shù)測試方法

ICS49060

H80.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T30110—2013

空間紅外探測器碲鎘汞外延材料

參數(shù)測試方法

Measuringmethodsofparametersof

HgCdTeepilayersusedforspaceinfrareddetectors

2013-12-17發(fā)布2014-05-15實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T30110—2013

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號和說明

4………………3

材料參數(shù)測試方法

5………………………4

組分與厚度測試

5.1……………………4

表面晶向測試

5.2………………………8

晶格常數(shù)測試

5.3………………………9

表面平整度測試

5.4……………………10

表面粗糙度測試

5.5……………………12

材料電學(xué)參數(shù)測試

5.6…………………13

少數(shù)載流子壽命測試

5.7………………16

位錯密度測試

5.8………………………18

表面缺陷密度測試

5.9…………………20

射線雙晶衍射半峰寬測試

5.10X……………………20

射線形貌測試

5.11X…………………22

材料性能非均勻性測試

5.12…………23

空間環(huán)境下材料抗輻照性能測試方法

6…………………24

試驗條件

6.1……………24

材料抗輻照性能參數(shù)測試

6.2…………24

材料參數(shù)的精密度精確度和不確定度測試方法

7、……………………24

測試設(shè)備要求

8……………24

附錄規(guī)范性附錄材料的光學(xué)常數(shù)

A()…………………25

附錄規(guī)范性附錄縱向組分梯度分布的碲鎘汞外延材料透過率T+和反射率R-的計算

B()aa……26

附錄資料性附錄激光干涉儀原理

C()…………………29

附錄資料性附錄位錯密度測量值的標(biāo)準(zhǔn)均方差與腐蝕坑計數(shù)平均值的關(guān)系

D()…30

參考文獻(xiàn)

……………………31

GB/T30110—2013

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國空間科學(xué)及其應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC312)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所中國電子科技集團第十一研究所中國兵器工

:、、

業(yè)集團昆明物理研究所

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人楊建榮周立慶魏彥鋒折偉林孫士文陳路王金義何力

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30110—2013

空間紅外探測器碲鎘汞外延材料

參數(shù)測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了空間紅外探測器用碲鎘汞外延材料性能參數(shù)的測試方法和測試設(shè)備

(HgCdTe)

要求

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于空間紅外探測器用碲鎘汞外延材料的參數(shù)測試其他用途的碲鎘汞外延材料參數(shù)的

,

測試可參照使用

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

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GJB548B—2005

材料物理性能測試方法的精密度精確度和不確定度

GJB1485、

測量設(shè)備的質(zhì)量保證要求計量確認(rèn)體系

GJB2712

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

襯底substrate

為外延提供周期性排列的表面原子結(jié)構(gòu)的單晶材料

。

32

.

外延材料epitaxialmaterial

在單晶襯底上用氣相和液相等生長方法獲得的單晶薄膜材料

。

33

.

液相外延liquidphaseepitaxyLPE

;

把半導(dǎo)體材料溶解在溶劑中