標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 31986-2015 電子工業(yè)用氣體 八氟丙烷》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),主要針對(duì)八氟丙烷(C?F?)這種在半導(dǎo)體制造等電子工業(yè)領(lǐng)域中作為蝕刻氣體使用的化學(xué)品。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了適用于電子工業(yè)中的八氟丙烷的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容。
技術(shù)要求部分明確了產(chǎn)品的純度級(jí)別及雜質(zhì)含量限制,確保其能滿足特定應(yīng)用環(huán)境下的需求。例如,對(duì)于高純度級(jí)別的八氟丙烷,除了對(duì)主成分的濃度有嚴(yán)格要求外,還特別指出了幾種可能影響最終產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵雜質(zhì)的最大允許濃度值。
試驗(yàn)方法章節(jié)提供了檢測(cè)產(chǎn)品是否符合上述技術(shù)指標(biāo)的具體操作步驟,包括但不限于氣相色譜法來測(cè)定組分含量,以及其他專門針對(duì)某些特定雜質(zhì)的分析手段。這些方法的選擇基于它們能夠準(zhǔn)確可靠地反映樣品實(shí)際情況的能力。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2015-09-11 頒布
- 2016-05-01 實(shí)施



文檔簡(jiǎn)介
ICS7110020
G86..
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T31986—2015
電子工業(yè)用氣體八氟丙烷
Gasforelectronicindustry—Perfluoropropane
2015-09-11發(fā)布2016-05-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布
中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T31986—2015
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任
。。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口
(SAC/TC203)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國(guó)家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心福建浙江省化工研究院有限公司
:()、、
佛山市華特氣體有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司中昊光明化
、、、
工研究設(shè)計(jì)院有限公司四川中測(cè)標(biāo)物科技有限公司天津長(zhǎng)蘆華信化工股份有限公司西南化工研究
、、、
設(shè)計(jì)院有限公司
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人林宇巍陳熔史婉君方路廖恒易金向華孫猛方華孫福楠方正崔學(xué)文
:、、、、、、、、、、、
周鵬云
。
Ⅰ
GB/T31986—2015
電子工業(yè)用氣體八氟丙烷
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了八氟丙烷的技術(shù)要求試驗(yàn)方法包裝標(biāo)志貯運(yùn)和安全
、、、、。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備并通過精餾吸附催化等工藝提純的八氟丙烷產(chǎn)品
,、、,
以及碳和氟直接反應(yīng)法合成的八氟丙烷產(chǎn)品它在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或清洗
。
氣體
。
分子式
:C3F8。
相對(duì)分子質(zhì)量按年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量
:188.017(2011)。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志
GB190
工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則
GB/T3723
鋼質(zhì)無縫氣瓶
GB5099
氣體中微量水分的測(cè)定第部分光腔衰蕩光譜法
GB/T5832.33:
氣瓶顏色標(biāo)志
GB7144
氣體中一氧化碳二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法
GB/T8984、
液化氣體氣瓶充裝規(guī)定
GB14193
化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定
GB15258
氣瓶警示標(biāo)簽
GB16804
特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范
GB/T26571
氣體分析氦離子化氣相色譜法
GB/T28726
氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版
(2000)
危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版
(2011)
特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版
(2009)
3技術(shù)要求
八氟丙烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求
1。
表1技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目指標(biāo)
八氟丙烷純度體積分?jǐn)?shù)-2
(C3F8)()/10≥99.99999.99
氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6
(+)(O2+Ar)()/10<1
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