標準解讀

《GB/T 32386-2015 電子工業(yè)用氣體 六氟化鎢》是一項國家標準，主要針對電子工業(yè)中使用的六氟化鎢氣體的質量控制和技術要求進行了規(guī)定。該標準詳細描述了六氟化鎢氣體的純度要求、雜質含量限制以及相關的測試方法等內容，旨在確保這種特殊氣體在半導體制造等高技術領域的應用時能夠達到所需的性能標準。

根據標準內容，六氟化鎢（WF6）作為重要的電子特氣之一，在集成電路制造過程中被廣泛用于化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等工藝中形成鎢薄膜。為了保證最終產品的質量和穩(wěn)定性，標準對六氟化鎢中的水分、氧氣、氮氣、一氧化碳、二氧化碳以及其他可能存在的微量雜質設定了嚴格的上限值。此外，還特別強調了包裝容器的選擇與處理方式，以避免外部因素導致的產品污染或變質問題。


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....

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  • 2015-12-31 頒布
  • 2016-07-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T32386—2015

電子工業(yè)用氣體六氟化鎢

Gasesforelectronicindustry—Tungstenhexaflouride

2015-12-31發(fā)布2016-07-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32386—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位中國船舶重工集團公司第七一八研究所廈門鎢業(yè)股份有限公司西南化工研究

:、、

設計院有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司上海儀盟電子科技有限公司

、、。

本標準主要起草人鄭秋艷江海風王占衛(wèi)方蘭蘭林竹光王志信方華楊任周鵬云

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32386—2015

電子工業(yè)用氣體六氟化鎢

1范圍

本標準規(guī)定了六氟化鎢的技術要求試驗方法包裝標志貯運和安全

、、、、。

本標準適用于化學合成法制取并經精制純化的六氟化鎢該產品主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學

。

氣相沉積工藝鎢材料的制備等

、。

分子式

:WF6。

分子量按年國際相對原子質量計算

:297.8304192(2009)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB5099

氣體分析動態(tài)體積法制備校準用混合氣體第部分滲透法

GB/T5275.1010:

氣瓶顏色標志

GB7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準

TJ36-79

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2002)

特種設備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術要求

六氟化鎢的技術指標應符合表要求

1。

表1技術指標

項目名稱指標

六氟化鎢純度體積分數-2

(WF6)()/10≥99.999.99999.999599.9999

四氟化碳含量體積分數-6

(CF4)()/10≤100.50.50.1

氮含量

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