標準解讀

《GB/T 34091-2017 電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷》是一項國家標準，專門針對用于電子工業(yè)中的六氟乙烷（C2F6）制定了質量要求和技術規(guī)范。該標準旨在確保六氟乙烷作為清洗劑、蝕刻劑等在半導體制造過程中的高效性和安全性。

根據此標準，六氟乙烷需滿足一定的純度要求以及其他特定雜質的最大允許含量限制，以保證其適用于精密的電子加工工藝中。例如，對于某些關鍵雜質如水分、氧氣、一氧化碳等有著嚴格的控制標準，這些規(guī)定有助于減少對半導體材料及設備可能造成的損害或污染風險。

此外，《GB/T 34091-2017》還涵蓋了六氟乙烷氣體的包裝、標志、運輸和儲存等方面的要求，強調了在整個供應鏈過程中保持產品質量的重要性。通過遵循這些指導原則，可以有效避免因不當處理而導致的產品變質或性能下降問題。

該標準適用于所有涉及生產、使用以及銷售電子級六氟乙烷的企業(yè)和個人，為行業(yè)內提供了一個統(tǒng)一的質量基準，促進了相關產品和服務的一致性和可靠性。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-07-31 頒布
  • 2017-11-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T34091—2017

電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

Gasforelectronicindustry—Hexafluoroethane

2017-07-31發(fā)布2017-11-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34091—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位浙江省化工研究院有限公司廣東華特氣體股份有限公司四川中測標物科技有

:、、

限公司高麥儀器公司西南化工研究設計院有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司東莞市聯臣電

、、、、

子科技有限公司國家化學工業(yè)氣體產品質量監(jiān)督檢驗中心福建天津長蘆華信化工股份有限公司

、()、、

中昊光明化工研究設計院有限公司

。

本標準主要起草人史婉君廖恒易杜漢盛白占旗方正潘義牛艷東方華王鴻陳熔林宇巍

:、、、、、、、、、、、

鄧建平李健周鵬云

、、。

Ⅰ

GB/T34091—2017

電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用六氟乙烷的技術要求試驗方法包裝標志貯運及安全

、、、、。

本標準適用于工業(yè)用六氟乙烷經精制提純而得的高純六氟乙烷產品主要在電子工業(yè)等離子蝕刻

。

工藝中作為蝕刻氣體或作為電子器元件清洗劑

。

分子式

:C2F6。

相對分子質量按年國際相對原子質量

:138.0124(2013)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB/T5099

氣體分析微量水分的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全技術監(jiān)察規(guī)程

TSGR0006

危險化學品安全管理條例年版

(2002)

特種設備安全監(jiān)察條例年版

(2009)

3技術要求

六氟乙烷的質量應符合表的要求

1。

表1技術指標

項目指標

六氟乙烷純度體積分數-2

(C2F6)()/10≥99.999

氫含量體積分數-6

(H2)()/10<0.5

氧氬含量體積分數-6

(+)(O2+Ar)()/10<1

氮含量體積分數-6

(N2)()/10<

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