標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 34612-2017 藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定了使用X射線雙晶衍射技術(shù)對藍(lán)寶石單晶材料進(jìn)行質(zhì)量評估的具體操作流程與要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于通過X射線雙晶衍射搖擺曲線來測定藍(lán)寶石晶體的完整性、缺陷密度以及晶體取向等關(guān)鍵參數(shù)。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，首先需要準(zhǔn)備適當(dāng)?shù)臉悠?，確保其表面平整且無污染。對于實(shí)驗(yàn)設(shè)備而言，應(yīng)選擇具有足夠分辨率和穩(wěn)定性的X射線衍射儀，并配備適合于藍(lán)寶石檢測的特定幾何配置。此外，還需要確定正確的入射角、掃描速度以及其他相關(guān)參數(shù)以獲得最佳測試效果。

在實(shí)際測量過程中，按照設(shè)定好的條件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，獲取到的搖擺曲線反映了樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。通過對這些曲線特征點(diǎn)（如半高寬）的分析，可以定量地評價(jià)藍(lán)寶石晶體的質(zhì)量特性。例如，較小的半高寬值通常意味著更高的晶體完整性和更低的位錯密度。

最后，基于上述步驟得到的結(jié)果，可進(jìn)一步應(yīng)用于藍(lán)寶石材料的選擇、加工及應(yīng)用領(lǐng)域中，為提高產(chǎn)品質(zhì)量提供科學(xué)依據(jù)。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-10-14 頒布
  • 2018-05-01 實(shí)施
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GB/T 34612-2017藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法_第1頁
GB/T 34612-2017藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法_第2頁
GB/T 34612-2017藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線測量方法_第3頁
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文檔簡介

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34612—2017

藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線

測量方法

MeasurementmethodforX-raydoublecrystaldiffractionrockingcurve

ofsapphirecrystals

2017-10-14發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34612—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所上海大恒光學(xué)精密機(jī)械有限公司中國科

:、、

學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所新疆紫晶光電技術(shù)有限公司江蘇浩瀚藍(lán)寶石科技有限公司丹東新東方晶

、、、

體儀器有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人杭寅徐民潘世烈張方方趙興儉郭宏鶴趙松彬

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34612—2017

藍(lán)寶石晶體X射線雙晶衍射搖擺曲線

測量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線的測量方法

X。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石晶體射線雙晶衍射搖擺曲線的測量

X。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

χ軸χaxis

傾斜樣品的軸由入射射線衍射射線束構(gòu)成的衍射平面與樣品表面相交而成

,X、X。

32

.

χ角χangle

樣品某晶面與樣品表面的夾角

。

33

.

φ角φangle

樣品臺繞樣品表面法線旋轉(zhuǎn)的角度

。

34

.

φ掃描φscan

連續(xù)改變角并記錄衍射強(qiáng)度的測量模式

φ。

35

.

ω角ωangle

入射射線與樣品表面夾角

X。

36

.

ω掃描ωscan

連續(xù)改變ω角并記錄衍射強(qiáng)度的測量模式

。

4方法提要

41晶體是由空間間距為d的一系列平行的離子原子或分子平面構(gòu)成當(dāng)一束平行的單色射線

.、。X

射入該平面且射線在相鄰平面間的光程差為其波長的整數(shù)n倍時就會產(chǎn)生衍射反射當(dāng)入

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