GB/T 37959-2019含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計信息模型

ICS3524050

J07..

中華人民共和國國家標準

GB/T37959—2019

含工藝腔室類集成電路裝備

設(shè)計信息模型

InformationmodelforcontainingprocesschamberICequipmentdesign

2019-08-30發(fā)布2020-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T37959—2019

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

術(shù)語和定義

2………………1

縮略語

3……………………2

模型體系

4…………………2

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計過程的一般規(guī)定

4.1……2

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計軟件平臺結(jié)構(gòu)體系

4.2…………………3

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計信息模型

5…………………4

概念模型

5.1……………4

要素

5.2…………………4

關(guān)系

5.3…………………5

信息模型元素

5.4………………………5

附錄資料性附錄含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計信息模型示例

A()………………13

GB/T37959—2019

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國自動化系統(tǒng)與集成標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC159)。

本標準起草單位中車信息技術(shù)有限公司清華大學北京機械工業(yè)自動化研究所有限公司中國石

:、、、

油規(guī)劃總院

。

本標準主要起草人顧明程嘉李麗季林紅陳莉曹自立張穎黎曉東王海丹王峰

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T37959—2019

含工藝腔室類集成電路裝備

設(shè)計信息模型

1范圍

本標準規(guī)定了含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計軟件平臺信息模型規(guī)定了搭建含工藝腔

,

室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計軟件平臺的一般性要求

。

本標準適用于含工藝腔室類集成電路裝備的建模仿真設(shè)計軟件

。

2術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

21

.

建模modeling

使用軟件為被設(shè)計對象建立用于仿真的幾何模型

CAD。

22

.

仿真simulation

利用計算機虛擬模型復(fù)現(xiàn)實際系統(tǒng)中發(fā)生的本質(zhì)過程并通過對系統(tǒng)虛擬模型的實驗來研究存在

,

的或設(shè)計中的系統(tǒng)

。

23

.

仿真流程模板simulationprocesstemplate

用于描述定制化的仿真流程信息的一種文件保存了一個仿真流程的完整邏輯關(guān)系

XML,。

注包含軟件模塊求解邏輯順序和上下游傳輸?shù)淖兞啃畔?/p>

:、。

24

.

參數(shù)parameters

仿真設(shè)計過程中對結(jié)果有較顯著影響的可調(diào)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)定值

、。

25

.

實驗設(shè)計designofexperiment

一種有計劃的研究對過程要素進行一系列有意圖的改變并進行效果觀測對結(jié)果進行統(tǒng)計分析

,,,

以便確定效果與要素改變之間的關(guān)系從而更好地了解和控制這一過程

,。

26

.

優(yōu)化設(shè)計optimaldesign

以數(shù)學中的最優(yōu)化理論為基礎(chǔ)以計算機為手段根據(jù)設(shè)計所追求的性能目標建立目標函數(shù)在滿

,,,,

足給定的各種約束條件下尋求最優(yōu)的設(shè)計方案的過程

,。

27

.

特征值characteristicvalues