GB/T 38341-2019微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38341—2019

微機電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

ThereliabilitytestmethodsofMEMSinintegratedenvironments

2019-12-31發(fā)布2020-04-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T38341—2019

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

試驗方法

4…………………1

預(yù)處理

4.1………………1

溫度濕度試驗

4.2、………………………2

機械試驗

4.3……………9

耦合試驗

4.4……………12

失效結(jié)果處理

5……………15

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T38341—2019

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位東南大學(xué)華為技術(shù)有限公司佛山市川東磁電股份有限公司中機生產(chǎn)力促進中

:、、、

心浙江博亞精密機械有限公司沈陽國儀檢測技術(shù)有限公司無錫華潤上華科技有限公司北京大學(xué)

、、、、、

中北大學(xué)中國科學(xué)院電子學(xué)研究所北京必創(chuàng)科技股份有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王磊黃創(chuàng)君于振毅陸學(xué)貴朱悅夏長奉黃慶安龍克文石云波李海斌

:、、、、、、、、、、

肖昆輝鄭鳳杰張威程逸軒馬書嫏陳得民

、、、、、。

Ⅲ

GB/T38341—2019

微機電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了器件可靠性綜合環(huán)境的試驗方法和失效結(jié)果處理

MEMS。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于需要進行可靠性試驗的器件

MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

微機電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T26111。

4試驗方法

41預(yù)處理

.

411概述

..

試驗前應(yīng)對器件進行預(yù)處理若器件使用時不需要焊接或者使用者認定焊接不會對器件產(chǎn)生影

。

響則無需進行預(yù)處理

,。

412目的

..

本試驗?zāi)M器件在實際使用時因為焊接所經(jīng)歷的各種環(huán)境的影響由于焊接工藝過程中溫度與濕

。

度影響有可能造成器件產(chǎn)生熱失配應(yīng)力水汽蒸發(fā)造成的大應(yīng)變以及有機物污染等失效因此有焊

、,。,

接需要的器件應(yīng)進行此試驗

。

413設(shè)備

..

試驗設(shè)備包括一臺能在規(guī)定溫度下恒溫的溫控試驗箱一臺可在規(guī)定溫度和濕度下工作的浸濕設(shè)

、

備以及一臺能夠達到規(guī)定溫度的回流焊設(shè)備

,。

414程序

..

4141試驗箱的維護和初始處理

...

試驗計時開始前溫度試驗箱應(yīng)保留足夠的升溫時間以保證所有待測樣品溫度盡量均勻浸濕設(shè)

,