GB/T 40868-2021納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40868—2021

納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)

Planninganddesignofcontrolledenvironmentsforresearchand

productionatthenanometerscale

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T40868—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

概述

4………………………2

規(guī)劃

5………………………2

設(shè)計(jì)

6………………………3

附錄資料性噪聲評(píng)價(jià)曲線與限值

A()…………………6

附錄資料性防微振設(shè)計(jì)

B()……………9

附錄資料性納米材料風(fēng)險(xiǎn)控制

C()……………………12

參考文獻(xiàn)

……………………14

GB/T40868—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位江蘇蘇凈科技有限公司中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司中天道成蘇州潔凈技

:、、()

術(shù)有限公司蘇州市計(jì)量測(cè)試院蘇州嘉合潔凈科技有限公司中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)國(guó)家納米科學(xué)中心南

、、、、、

京天加環(huán)境科技有限公司美埃中國(guó)環(huán)境凈化有限公司中電投工程研究檢測(cè)評(píng)定中心有限公司杭

、()、、

州市標(biāo)準(zhǔn)化研究院吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司常州祥明智能動(dòng)力股份有限公司北京恒泰建業(yè)工

、、、

程項(xiàng)目管理有限公司蘇州蘇信環(huán)境科技有限公司賀氏蘇州特殊材料有限公司

、、()。

本文件主要起草人王堯蔡杰姜皓遐蔣乃軍楊子強(qiáng)王其祥王大千姜偉康陳霖新張利群

:、、、、、、、、、、

朱蘭邴紹同石小雷高正周炬吳小泉葉偉強(qiáng)翟傳明張敏楊興宇董玉平郝胤博惠旅峰

、、、、、、、、、、、、、

肖軼群

。

Ⅰ

GB/T40868—2021

引言

納米尺度受控環(huán)境涉及多學(xué)科交叉且非常復(fù)雜其設(shè)計(jì)很難參照現(xiàn)有的設(shè)計(jì)資料設(shè)計(jì)建造技術(shù)

,,,、

難度高投資大建設(shè)周期長(zhǎng)適宜的規(guī)劃設(shè)計(jì)有助于項(xiàng)目順利進(jìn)行

、,,。

本文件總結(jié)歸納已建納米尺度受控環(huán)境的經(jīng)驗(yàn)提示規(guī)劃設(shè)計(jì)可能遇到的特殊問題以及項(xiàng)目進(jìn)

,、,

程中的潛在障礙為項(xiàng)目規(guī)劃決策提供指南給出的相關(guān)技術(shù)要求和限值方便業(yè)主與設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)間的技

,。,

術(shù)協(xié)商和探討

。

本文件未詳細(xì)規(guī)定環(huán)境條件具體科研生產(chǎn)需求以及具體工藝設(shè)備儀器決定其環(huán)境條件

,、。

本文件并非普遍適用于所有納米技術(shù)設(shè)施的具體項(xiàng)目或細(xì)節(jié)設(shè)施各不相同使用時(shí)宜將本文件

。,

的一般性要求加以完善以適應(yīng)具體設(shè)施的運(yùn)行要求

,。

Ⅱ

GB/T40868—2021

納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)

1范圍

本文件給出了納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察設(shè)計(jì)要求等

、。

本文件適用于納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與設(shè)計(jì)

。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件

。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

納米尺度nanometerscalenanoscale

;

處于之間的尺寸范圍

1nm~100nm。

來源有修改

[:GB/T30544.1—2014,2.1,]

32

.

粒子particle

有明確物理邊界的微小物質(zhì)

。

33

.

納米顆粒nanoparticle

三個(gè)維度的外部尺寸都在納米尺度的納米物體其最長(zhǎng)軸和最短軸的長(zhǎng)度沒有明顯差別

,。

來源

[:GB/T30544.4—2019,2.4]

34

.

污染物contaminant

對(duì)產(chǎn)品和工藝有不良影響的粒子非粒子分子或生物體

、、。

來源

[:GB/T25915.6—2010,2.41]

35

.

空氣化學(xué)污染物