誤差分析（測量結(jié)果不確定度）-同軸度測試儀校準規(guī)范_第1頁
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同軸度測試儀校準規(guī)范誤差分析規(guī)范起草組2022年09月《同軸度測試儀同軸度》測量結(jié)果不確定度評定示例A.1校準方法以引伸計標定器為標準器，將雙側(cè)引伸計可靠裝夾到標定器上，得到引伸計示值，計算出同軸度。下面以分辨力0.001mm，測量范圍為（0~2）mm的同軸度測試儀為例，進行同軸度測量，分析測量結(jié)果不確定度。A.2測量模型(A.1)式中：—同軸度測試儀同軸度；—雙側(cè)引伸計變形較大示值；—雙側(cè)引伸計示值的平均值；A.3方差和靈敏系數(shù)在公式(A.1)中轉(zhuǎn)化相關項影響。經(jīng)轉(zhuǎn)化：式中：因與強相關，且考慮兩個引伸計測量誤差的影響，所以：因c=()=()=A.4計算分量的標準不確定度不確定度來源于各種因素對雙側(cè)引伸計的影響，下面先分析引伸計測量不確定度。其主要由測量重復性或雙側(cè)引伸計分辨力、引伸計標定器示值誤差、測量環(huán)境溫度等引入的不確定度分量。A.4.1測量重復性引入的標準不確定度分量1：對雙側(cè)引伸計進行3次重復測量，校準5個測量點，獲得重復性數(shù)據(jù)。本例設sp=0.24μm，則1()=1()=0.24μmA.4.2測量儀分辨力引入的標準不確定度分量2：測量儀分辨力1μm，區(qū)間半寬度為α＝0.5μm服從均勻分布k＝則其標準不確定度為：2()=2()＝0.5mm/＝0.29μm在不確定度評定中測量儀測量重復性估算的標準不確定度也反映了數(shù)字顯示的量化誤差影響,所以取1,2中較大者參與計算,在此處選擇2()=2()=0.29μmA.4.3標準器引伸計標定器引入的不確定度分量3標準器引伸計標定器示值誤差MPE:±0.15%，當測量2mm時示值誤差為3μm,按均勻分布k=3()=3()=1.732μmA.4.4環(huán)境溫度偏離20℃引入的不確定度分量4同軸度測試儀是在實驗室環(huán)境下進行校準，溫度：（20±3）℃，由于雙側(cè)引伸計的量程僅為2mm,受溫度影響非常小，可忽略不計。A.4.5引伸計合成不確定度2mm時c=1.756μmA.4.6引伸計擴展不確定度2mm時U=×c=2×1.756=3.6μmk=2Urel==0.02%k=2A.5同軸度測試儀合成標準不確定度c校準點為2mm時，由于引伸計最大允許誤差為0.5%，即10μm,△Lmin極限值為1.99mm,△Lmax極限值為2.01mm,則≈0.1

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