《微電子器》PPT課件.ppt

微電子器件 電子科技大學(xué)微電子與固體電子學(xué)院張慶中 總學(xué)時(shí) 72學(xué)時(shí)其中課堂講授 60學(xué)時(shí) 實(shí)驗(yàn) 12學(xué)時(shí)成績構(gòu)成 期末考試 70分 平時(shí) 20分 實(shí)驗(yàn) 10分 W W W HAT HY HO 電子器件發(fā)展簡史 1904年 真空二極管1907年 真空三極管 電子管 美國貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明的世界上第一支鍺點(diǎn)接觸雙極晶體管 1947年 雙極型晶體管1960年 實(shí)用的MOS場效應(yīng)管 固體器件 1950年發(fā)明了結(jié)型雙極型晶體管 并于1956年獲得諾貝爾物理獎 1956年出現(xiàn)了擴(kuò)散工藝 1959年開發(fā)出了硅平面工藝 為以后集成電路的大發(fā)展奠定了技術(shù)基礎(chǔ) 1959年美國的仙童公司 Fairchilds 開發(fā)出了第一塊用硅平面工藝制造的集成電路 并于2000年獲得諾貝爾物理獎 半導(dǎo)體器件內(nèi)的載流子在外電場作用下的運(yùn)動規(guī)律可以用一套基本方程來加以描述 這套基本方程是分析一切半導(dǎo)體器件的基本數(shù)學(xué)工具 半導(dǎo)體器件基本方程是由麥克斯韋方程組結(jié)合半導(dǎo)體的固體物理特性推導(dǎo)出來的 這些方程都是三維的 1 1半導(dǎo)體器件基本方程的形式 第1章半導(dǎo)體器件基本方程 對于數(shù)量場 對于矢量場 先來復(fù)習(xí)場論中的有關(guān)內(nèi)容 所以泊松方程又可寫成 1 1b 分析半導(dǎo)體器件的基本方程包含三組方程 1 1 1泊松方程 1 1a 式中為靜電勢 它與電場強(qiáng)度之間有如下關(guān)系 1 1 2輸運(yùn)方程輸運(yùn)方程又稱為電流密度方程 1 2 1 3 電子電流密度和空穴電流密度都是由漂移電流密度和擴(kuò)散電流密度兩部分所構(gòu)成 即 1 1 3連續(xù)性方程 1 4 1 5 式中 Un和Up分別代表電子和空穴的凈復(fù)合率 當(dāng)U 0時(shí)表示凈復(fù)合 當(dāng)U 0時(shí)表示凈產(chǎn)生 所謂連續(xù)性是指載流子濃度在時(shí)空上的連續(xù)性 即 造成某體積內(nèi)載流子增加的原因 一定是載流子對該體積有凈流入和載流子在該體積內(nèi)有凈產(chǎn)生 1 1 4方程的積分形式以上各方程均為微分形式 其中方程 1 1 1 4 1 5 可根據(jù)場論中的積分變換公式 而變換為如下的積分形式 1 6 1 8 1 7 上面的方程 1 6 式中 代表電位移 高斯定理 就是大家熟知的 方程 1 7 1 8 稱為電子與空穴的電荷控制方程 表示流出某封閉曲面的電流受該曲面內(nèi)電荷的變化率與電荷的凈復(fù)合率所控制 在用基本方程分析半導(dǎo)體器件時(shí) 有兩條途徑 一條是用計(jì)算機(jī)求數(shù)值解 這就是通常所說的半導(dǎo)體器件的數(shù)值模擬 另一條是求基本方程的解析解 得到解的封閉形式的表達(dá)式 但求解析解是非常困難的 一般需先對基本方程在一定的近似條件下加以簡化后再求解 本課程討論第二條途徑 1 9 1 10 1 11 1 12 1 13 1 2基本方程的簡化與應(yīng)用舉例 最重要的簡化是三維形式的方程簡化為一維形式 得到 在此基礎(chǔ)上再根據(jù)不同的具體情況還可進(jìn)行各種不同形式的簡化 例1 1對于方程 1 9 1 14 在耗盡區(qū)中 可假設(shè)p n 0 又若在N型耗盡區(qū)中 則還可忽略NA 得 若在P型耗盡區(qū)中 則得 例1 2對于方程 1 10 1 16 當(dāng)載流子濃度和電場很小而載流子濃度的梯度很大時(shí) 則漂移電流密度遠(yuǎn)小于擴(kuò)散電流密度 可以忽略漂移電流密度 方程 1 10 簡化為 反之 則可以忽略擴(kuò)散電流密度 方程 1 10 簡化為 例1 3對于方程 1 12 1 13 中的凈復(fù)合率U 當(dāng)作如下假設(shè) 1 復(fù)合中心對電子與空穴有相同的俘獲截面 2 復(fù)合中心的能級與本征費(fèi)米能級相等 則U可表為 式中 代表載流子壽命 如果在P型區(qū)中 且滿足小注入條件 則 同理 在N型區(qū)中 于是得 1 18 1 19 1 17 例1 4將電子擴(kuò)散電流密度方程 1 16 同理可得空穴的擴(kuò)散方程 1 23 1 21 代入電子連續(xù)性方程 1 12 設(shè)Dn為常數(shù) 再將Un的表達(dá)式代入 可得電子的擴(kuò)散方程 例1 5對于泊松方程的積分形式 1 6 1 25 也可對積分形式的基本方程進(jìn)行簡化 在N型耗盡區(qū)中可簡化為 式中 分別代表體積V內(nèi)的電子總電荷量和非平衡電子總電荷量 例1 6對于方程 1 7 1 7 將電子凈復(fù)合率的方程 1 18 代入 并經(jīng)積分后得 1 26 定態(tài)時(shí) 上式可再簡化為 1 27 方程 1 26 1 29 是電荷控制模型中的常用公式 只是具體形式或符號視不同情況而可能有所不同 同理 對于N型區(qū)中的少子空穴 定態(tài)時(shí) 1 29 1 28 分析半導(dǎo)體器件時(shí) 應(yīng)先將整個(gè)器件分為若干個(gè)區(qū) 然后在各個(gè)區(qū)中視具體情況對基本方程做相應(yīng)的簡化后進(jìn)行求解 求解微分方程時(shí)還需要給出邊界條件 擴(kuò)散方程的邊界條件為邊界上的