CIGS薄膜太陽能電池工藝流程

1、60MW CIGS薄膜太陽能電池生產(chǎn)工藝序號設(shè)備名稱數(shù)量（套）工藝步驟作用1基板玻璃上料機(jī)2將玻璃從卡架中取出放到指定位習(xí)作為展板玻璃2璃清洗機(jī)12中壓高溫DI水沖淋、滾刷和烘干淸洗掉玻璃間隔樹脂粉末以及玻璃在生產(chǎn)加匸、傳 輸.搬運(yùn)和儲存過稈中產(chǎn)牛的顆粒殘?jiān)?、污染印?Sputter1通過DC Sputter將鉗金屬均勻地濺射到玻璃基板上，通過測試農(nóng)啲電阻的動作檢測 質(zhì)量，控制濺射。金屈薄膜層買。在CIGS薄膜太陽能電池中起金屬背電 極作用4Pl激光劃線機(jī)1P1釆用激光劃刻Mo層，激光為532nm波長的綠光金屬恥膜層作為電池背電極需要被劃刻為多個小單 元.提高電池性能5淸洗機(jī)21滾刷、中壓水沖

2、淋和風(fēng)刀高溫烘干淸洗掉玻璃農(nóng)啲由于P1劃刻后留有的金屈Mo顆粒殘 渣以及F1劃刻線凹椚內(nèi)殘留的金屬M(fèi)o顆粒6檢測設(shè)備1探針通過彈簧式多級接觸方式檢測主要對劃線不完整的、劃線瑕概的、以及劃線寬度 和距離，并檢測是否有短路現(xiàn)象7PECVD蒸鍍機(jī)3采用銅，鋼，緣的線性蒸發(fā)源在硒的環(huán)境中沉積形成CIGS電池吸收層。在真空腔室 內(nèi)需要通過在線的X対線熒比光譜分析儀來味控CIGS膜層成分.根據(jù)檢測結(jié)果調(diào)幣沉蒸鍍電池吸收層（CIGS）8化學(xué)水浴設(shè)備4當(dāng)化學(xué)浴中的溶液（Cd呈離J狀態(tài)）漫過CIGS膜層農(nóng)而時，玻璃基板被開始加熱， 同時玻璃f故維喪蕩.以利干CdS膜層的均勻沉積Cds的作用主要是保護(hù)CIGS膜層

3、免受ZrtD薄膜高能雖 澱鍍時界而受到創(chuàng)傷9清洗機(jī)31中高壓DI水噴淋、滾刷（毛刷不接觸玻璃鍍膜面）.風(fēng)刀高溫烘干.清洗掉化學(xué)浴后玻璃表面殘留的化學(xué)藥品10Sputter1采用脈沖直流將ZnO旋轉(zhuǎn)陶瓷靶濺鍍到玻璃基板上薄膜i-ZnO（純ZrtD本征層鍍在CIGS/CdS異質(zhì)結(jié)上的 層緩沖層，般厚度為50nm,可有效捉高電池組件整體效率，同時起到前電極A Z0層與CIGS/CdS異質(zhì) 結(jié)層； 間良好的緊床銜接11P2機(jī)械劃線機(jī)1機(jī)械劃刻方式CIGS/CdS/i-ZnO膜層作為電池的光吸收層，需要在 被劃刻溝名個小單元12Sputter1采用直流將AZO旋轉(zhuǎn)陶瓷靶濺鍍到玻璃基板上薄膜ZnO:Al

4、（AZO）層在CIGS薄膜太陽能電池中起金 屬氧化物前也極作用13P3機(jī)械劃線機(jī)1采用激光劃刻ZM:A1金屬氧化物膜層，激光為532nm波長的綠光ZrQAl金屬氧化物膜層作為電池背電極需要被劃刻 為名個小單元14淸邊機(jī)2去除玻璃板四邊從M。層至AZO層的所有膜層淸邊可以將電池有效區(qū)域與玻璃邊緣分開，保證電池 板良好的邊緣絕緣效果，同時防止封裝膜浸水后漏 審流的產(chǎn)牛15低照度檢測機(jī)構(gòu)1在低照度下檢測所有了電池的開路電壓用于判斷是否存在并聯(lián)電阻16激光鉆孔機(jī)1激光鉆孔孔洞為匯流條與接線倉之間連接所需的穿插扎17淸洗機(jī)41滾刷、中壓水沖淋和風(fēng)刀高溫烘干去除淸邊后殘留的金屆膜和玻璃淹18導(dǎo)線連接1銅帶分別粘貼在CIGS電池板的兩側(cè)正負(fù)極電池1：在于將CIGS薄膜電池板產(chǎn)牛的業(yè)流引出至接線盒H19前玻璃上料機(jī)2將玻璃從卡架中取出放到指定位置增加電池強(qiáng)度20淸洗機(jī)51中壓高溫DI水沖淋、滾刷和烘干淸洗掉玻璃間隔樹脂粉末以及玻璃在生產(chǎn)加匚、傳 輸.搬運(yùn)和儲存過程中產(chǎn)生的顆粒殘?jiān)?、污染印?1合片機(jī)1將超白玻璃準(zhǔn)確的放置基板上超口玻璃放置在電池基板上，層壓后增加組件的強(qiáng)22層壓機(jī)1將己疊層好的電池組件傳送到層圧機(jī)中，然后將組件密閉，抽真空施加斥力的同時 加熱使夾層中的PVB膠層熔合.將前電池基板與背玻璃