ICP刻蝕工藝要點(diǎn)講解

1、ICP考試題庫(kù)1、ICP刻蝕機(jī)的分子泵正常運(yùn)行時(shí)的轉(zhuǎn)速大約在（A20000C400002、北微ICP本底真空和漏率指標(biāo)為（A）A00.1mT1mT/minC0.3-0.5mT2.5mT0.5mT狀態(tài)，選擇;B.點(diǎn)擊LoadSequence顯示步驟，再點(diǎn)擊,W清零,自動(dòng)力口1;G.結(jié)束后，蓋上反應(yīng)室，擰上螺絲，注意先不用擰緊，點(diǎn)擊EXITmode！出maintenancemode,等機(jī)臺(tái)進(jìn)入vacuumready狀態(tài)，擰緊反應(yīng)室上的螺絲.。11 .簡(jiǎn)述ELEDEICP作業(yè)流程圖.簡(jiǎn)述ELEDEICP裝晶片標(biāo)準(zhǔn)操作流程A.用無(wú)塵布蘸IPA擦拭鋁托盤表面（包括O-ring）;B.用專用鐐子將晶片按照

2、一定順序夾放到托盤的各個(gè)位置上（如上圖），以邊緣均勻蓋住密封圈為準(zhǔn)（除平邊），如左下圖（不含石英蓋）所示；C.放置石英蓋時(shí)不能移動(dòng)晶片，對(duì)準(zhǔn)定位銷將石英蓋輕放至托盤上，以邊緣均勻蓋住密封圈為準(zhǔn)（除平邊），如右下圖（含石英蓋）所示；D.擰上螺絲（注意不擰緊，避免衣袖、手套碰到晶片表面）；E.用力矩螺絲刀擰內(nèi)中外圈螺絲，每隔2個(gè)擰一次，分2次擰緊，1次檢查；F.檢查一遍晶片是否放好，并用專用吹掃工具吹掃一遍；G.用無(wú)塵布蘸IPA擦拭鋁托盤底部，注意不可將IPA沾到晶片上；H,將裝載托盤輕放至片盒上。12 .簡(jiǎn)述ELEDEICP蝕亥I作業(yè)操作1,打開(kāi)傳輸腔室門，將片盒輕放在卡板上，剛好卡住定位銷，切

3、忌左右移動(dòng)片盒;2,點(diǎn)擊配方，打開(kāi)工藝配方,檢查所選配方的工藝參數(shù)；3,點(diǎn)擊片盒配方,打開(kāi)所選的片盒配方；若沒(méi)有要選擇的配方，則新建一個(gè);4,點(diǎn)擊主界面,查看片盒配方詳細(xì)信息，確認(rèn)無(wú)誤，點(diǎn)擊開(kāi)始工藝;5,待工藝結(jié)束后，打開(kāi)傳輸腔室門，取出片盒及托盤，卸下晶片；14 .簡(jiǎn)述ELEDEICP清洗石英蓋、鋁盤、螺絲作業(yè)流程圖.簡(jiǎn)述ELEDEICP清洗反應(yīng)室作業(yè)流程圖15 .簡(jiǎn)述ELEDEICP螺絲清洗標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程A.把螺絲裝在小燒杯里，倒入IPA覆蓋為宜，超聲波振動(dòng)10min;B.用其把螺絲吹干17.簡(jiǎn)述ELEDEICP清洗反應(yīng)室方法及步驟A.進(jìn)入維護(hù)/工藝模塊,在腔室操作中點(diǎn)擊吹掃,至少吹掃100

4、次；B.吹掃完畢后，點(diǎn)擊吹大氣,進(jìn)行腔室破真空動(dòng)作；C.按照正確的流程打開(kāi)反應(yīng)室；D.移走反應(yīng)室零部件（石英蓋、密封圈、內(nèi)襯、壓環(huán)等）；E.先用浸有DI水的無(wú)塵布擦拭反應(yīng)室內(nèi)壁，再用IPA擦拭，直到擦拭的無(wú)塵布上看不到殘余物的顏色為止；F.按照步驟E擦拭反應(yīng)室其余每個(gè)地方，特別是真空測(cè)量孔；G.手動(dòng)把升降針升起，用浸有IPA的無(wú)塵布擦拭三針；H.用浸有IPA的無(wú)塵布擦拭卡盤、聚焦環(huán)表面；1. 按照步驟E擦拭其他的部件（內(nèi)襯、壓環(huán)等）；J.安裝反應(yīng)室零部件（石英蓋、密封圈、內(nèi)襯、壓環(huán)等）；K.關(guān)閉反應(yīng)室；L.恢復(fù)反應(yīng)室狀態(tài).簡(jiǎn)述SLRICP作業(yè)流程圖18 .簡(jiǎn)述SLRICP裝晶片標(biāo)準(zhǔn)操作流程A:

5、用打圈圈的方式使橡皮條均勻分布在底盤的各個(gè)小槽上；B:判斷托盤的方向，以中間的區(qū)域?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)，若定位橫邊往下的，則托盤兩邊的兩個(gè)小孔分別為左右兩孔；C:用專用鐐子將晶片夾放到托盤的各個(gè)位置上，并對(duì)準(zhǔn)位置；D:把螺絲放在蓋子的小孔里；E:以蓋子邊緣的一個(gè)小孔為左邊，對(duì)應(yīng)托盤的左邊位置，小心地放在底盤上；F:用內(nèi)六角起子對(duì)角地?cái)Q螺絲，分兩次擰。第一次擰的程度為7成緊，第二次力度相對(duì)均勻地稍微擰緊；G:用專用吹掃工具吹掃已裝好片的托盤一遍。19 .簡(jiǎn)述SLRICP清洗托盤、螺絲作業(yè)流程圖20 .簡(jiǎn)述SLRICP清洗反應(yīng)室作業(yè)流程圖21 .簡(jiǎn)述SLRICP反應(yīng)室清洗步驟A:打開(kāi)反應(yīng)室（同時(shí)按住2個(gè)上升開(kāi)關(guān)響右推開(kāi)腔體）B:用DI水清洗反應(yīng)室（包括底座、腔壁、夾具）C:用吸塵器吸走遺留的塵埃和水分子D:用異丙醇清洗反應(yīng)室E:用真空硅脂涂抹真空密封橡