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文檔簡介
1、PTH線操作手冊、目的圍、工藝流程三、PTH設(shè)備規(guī)格表四、PTH程序圖及各缸時間圍五、操作程序5.1開缸程序5.2工藝控制5.3生產(chǎn)操作和維護(hù)5.4 PTH線停產(chǎn)處理方法5.5 PTH線生產(chǎn)異常處理方法5.6沉銅效果檢測六、PTH線常見問題及處理方法七、背光級數(shù)圖八、附錄1、PTH線操作控制表2、PTH線設(shè)備檢測一覽表目的規(guī)規(guī)PTH線流程,提供PTH線工藝控制參數(shù)和操作方法,指導(dǎo)生產(chǎn)人員正常生產(chǎn),以確 保生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì),適用于 PTH手動或自動線操作。二、工藝流程三、PTH線設(shè)備規(guī)格表缸號工序材料攪拌水過濾發(fā)熱器備注1整孔除油P.PSS316M&TDISS316P.PSSV&T2
2、、3水洗P.PM&ACW-4微蝕P.PM&ACWDIP.PQTZC5、6水洗P.PM&ACW-7酸洗P.PMCWDI-& 9水洗P.PM&ACW-10預(yù)浸P.PMDIP.P-11活化P.PMDIP.PQTZV&T12、13水洗P.PMCWDI-14加速P.PMDIP.P-V&T15、16水洗P.PM&ACWDI-17化銅P.PM&ADIP.PTFSSC&V&T17化銅P.PM&ADIP.PTFSSC&V&T18 19水洗P.PM&ACW-備注:SS:不銹鋼 QTZ :石英 P
3、.P :聚丙烯 T:氣缸振蕩M:機械搖擺A :打氣 V :電振蕩器 TF :鐵氟龍C :冷卻四、PTH自動線程序圖及各缸時間圍序號缸名稱序號浸泡時間范圍滴水時間范圍1上/下架1*1-2水洗21-2min3水洗31-2min4沉銅412-18min10-20Sec5沉銅512-18min10-20Sec6沉銅612-18min10-20Sec7沉銅712-18min10-20Sec8水洗81-1.5min9水洗91-1.5min10加速102-4min10-20Sec11水洗111-1.5min12水洗121-1.5min13活化135-8min15-20Sec14預(yù)浸140.5-2min15-
4、20Sec15水洗151-1.5min16水洗161-1.5min17酸洗171-3min5-10Sec18水洗181-1.5min19水洗1191-1.5min20微蝕201-2min10-15Sec21水洗°211-3min22水洗4221-3min23除油235-8min10-20Sec注:滴水時間欄空白無要求各廠根據(jù)實際情況可作適當(dāng)調(diào)整五、操作程序5.1開缸程序5.1.1 前期準(zhǔn)備A、清洗缸體:新線開缸前須用 3-5% NaOH溶液泡缸12小時,用清水清洗干凈后,再 用3-5% HSO泡缸12小時,再用清水沖洗,至少 2次,藥水槽再用純水清洗一次 備用。舊線視缸體清潔度,可考
5、慮不用酸堿泡,但缸體須用清水洗凈,藥水缸須 用純水清洗;B、測量:測量缸壁長、寬、高,計算出缸體積,計算方法:V體=長X寬X高(藥水液位高度);C、檢查生產(chǎn)輔料(比如,"SQ是否渾濁等)。5.1.2 開缸5.1.2.1 整孔除油缸:A、加入DI水至2/3體積;B、加入整孔劑 DS-122(10%);C、補充DI水至液位;D、打開加熱,開啟過濾機5.1.2.2 微蝕缸:A、加入水至2/3體積,開啟打氣;B、加入硫酸4% (或硫酸8%適合硫酸雙氧水系列產(chǎn)品);C、冷卻后加入過硫酸鈉80g/L ;D、加水至液位,攪拌。5.1.2.3 酸浸缸:A、加入DI水至2/3體積;B、加入 2%( V
6、/V) HSQ;C、加入DI水至液位,攪拌均勻。5.1.2.4 預(yù)浸缸:A、加入DI水至2/3體積;B、加入預(yù)浸劑 DS-133 220g/L(或 DS-133 220g/L,AR 鹽酸 5% 適合 DS-133體系);C、加入DI水至液位,攪溶后開啟過濾泵。5.1.2.5 活化缸:A、加入DI水至2/3體積;B、加入預(yù)浸鹽 DS-133 220g/L,AR鹽酸5%C、加入DI水至液位,攪溶后開啟過濾泵;D、加入活化劑DS-140 2%E、打開加熱器循環(huán)。5.126加速缸:A、加入DI水至2/3體積;B、加 DS-155 10%C、加入DI水至液位;D、打開過濾泵。5.1.2.7沉銅缸:A、加
7、入DI水至2/3體積;B、開啟打氣,加入沉銅液DS-166M 5%C、緩慢加入DS-166A 7%D、緩慢加入DS-166B 7%E、補充DI水至液位,開啟過濾。5.2工藝控制整孔除油A、工藝參數(shù)a、溫度60-70 Cb、時間5-8minc、過濾連續(xù)過濾d、搖擺連續(xù)B、控制a、堿度控制在0.09-0.15N ;b、每生產(chǎn)100m板補加 1-1.5L DS-122 ;c、每班分析一次,依化驗結(jié)果調(diào)整維護(hù)。C、更換a、每升工作液處理30-35韋板或銅含量大于1g/L時換缸b、每次全部排凈舊液,洗凈缸體后,重新開缸。微蝕A、工藝參數(shù)a、溫度25-35 Cb、時間1-2minc、濃度Na 2S2O8
8、60-100g/L H2SQ 3-5%d、過濾連續(xù)過濾f、打氣過硫酸鈉體系開打氣,雙氧水體系無須打氣。B、控制a、每生產(chǎn)100m添加 NqSO 5KG 硫酸 2L;bCab523AabcBabCAabcdBabCabAabc、每班分析一次,微蝕速率控制在 ;、更換、銅含量大于25g/L時更換;、更換時保管1/6左右舊槽液,再加入1/2體積純水,然后加入4%硫酸及 80g/L Na 2S2O8,用純水補充至液位。酸浸缸、工藝參數(shù)、溫度室溫(20-30 C)、時間 1-3min、搖擺連續(xù)、控制、HSQ濃度控制在1-3%;、每班分析一次,按分析結(jié)果補加。、更換與微蝕缸同時更換。預(yù)浸、工藝參數(shù)、溫度
9、室溫(18-30 C)、時間 0.5-2min、過濾連續(xù)過濾、搖擺連續(xù)。、控制、比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/L DS-133可升高比重0.01SG(或 補加165g/L DS-133可升高比重0.01SG,8.3ml/L鹽酸可提高酸度0.1N, 此適合DS-133體系);、每生產(chǎn)100斥板補加2.5KG DS-133、0.5L鹽酸。、更換、每升槽液生產(chǎn)30吊時更換;、或溶液轉(zhuǎn)變成藍(lán)色或綠色時更換。活化、工藝參數(shù)、溫度 35-44 C、時間 5-8min、攪拌搖擺或過濾循環(huán)dBabCabc526AabcdBabCabcAabcdefBa、加熱器石英或鐵氟龍e、過濾定期過
10、濾、控制、每生產(chǎn) 100m2補加 DS-140 0.6L ;、比重控制在,比色控制在60-90%。、更換、每升槽液生產(chǎn)600mi時換缸;、鐵含量高于150ppE時更換;、換時排除全部舊液,再用稀鹽酸泡洗槽壁,以清水洗凈后用純水清洗, 重新開缸。加速、工藝參數(shù)、溫度酸性室溫(20-30 C)、時間 2-4min、攪拌搖擺或過濾循環(huán)、過濾連續(xù)過濾、控制、酸性控制到0.2-0.4N ;、每生產(chǎn)1000ft相對補加DS-155 1.5L。、更換、每升槽液生產(chǎn)20-30m?時更換;、當(dāng)溶液變混濁時;、更換時全部排除舊液,洗凈槽液重新更換?;瘜W(xué)銅、工藝參數(shù)、溫度25-30、時間12-18min、沉積速率1
11、.6-25微英寸/分鐘、過濾連續(xù)過濾、攪拌空氣及機械攪拌、操作容量(負(fù)載)0.15-0.25ft2/L、控制、濃度控制NaOH11-13g/LHCHO6-8g/Lb、濃度控制在正常圍之補加量計算方法:(cU標(biāo)準(zhǔn)值-分析值)x v槽體30DS-166B(L)=甲醛(L)=液堿(L)=(NaO標(biāo)準(zhǔn)值-分析值)x V槽體180(甲醛標(biāo)準(zhǔn)值-分析值-補加166A升高值)x V槽體370(甲醛標(biāo)準(zhǔn)值-分析值-補加166B升高值)x V槽體2001. 每生產(chǎn)6-8m2板添加DS-166A B各1L;2. 每星期更換一次過濾棉芯,更換時用稀硫酸浸洗新濾芯,用DI水洗凈,放入濾槽中使用;3. 每周倒一次槽,并
12、將槽壁沉積銅消除,方法:抽入廢微蝕液或加入一定量HSQ、NaS2Q并加水至液位并開啟打氣;4. 每班分析3次,即4小時分析一次。C 、更換a、每升槽液生產(chǎn)30-40或藥水添加量達(dá)5OMTO寸換缸;b、更換時將槽液全部排放,消除缸壁沉積銅,洗凈后重新配。5.3生產(chǎn)控制與維護(hù)5.3.1 新開缸藥水須化驗分析,確保濃度正常圍,檢查各藥水缸溫度應(yīng)達(dá)到正常圍;5.3.2 取三架裸基材板依沉銅線正常程序拖缸。每架雙面累積應(yīng)達(dá)沉銅缸最佳負(fù)載,即 0.2ft2/L ;5.3.3 緊接拖缸板后做一架生產(chǎn)板,抽取生產(chǎn)板背光,要求:雙面板8.5級以上,多 層板8.0級以上(詳見背光等級表)。正常后批量生產(chǎn),并連續(xù)生
13、產(chǎn),并連續(xù) 跟進(jìn)至少3缸板。5.3.4 生產(chǎn)過程中須做好生產(chǎn)記錄,藥水補加盡可能少量多次,以保持各藥水缸濃度 平衡,前處理各缸藥水每生產(chǎn)100 m2補加一次,化銅缸視生產(chǎn)板而定,每架 板至少6 m2時,累積6吊補加166A、B液各1L,每架大于6吊時,生產(chǎn)一架添 加一次。添加量計算:添加量(L)=累積生產(chǎn)面積m/6m2;5.3.5 每次開拉前須檢查設(shè)備運行狀況,待溫度升到正常管控要求,化驗分析調(diào)整各藥水缸濃度后,拖缸做板,步驟同 532、533 ;5.3.6 無化驗室的廠家,每次開拉前,沉銅缸須補加 DS-166A B各15ml/L ,停產(chǎn)12小時以上,還須補加至少 5ml/L甲醛(37%。5
14、.4 PTH線停產(chǎn)處理方法:5.4.1 停產(chǎn)前沉銅少添加一次藥水;5.4.2 關(guān)掉所有藥水缸中的加熱器;5.4.3 關(guān)掉水洗缸的入水閥及打氣閥;5.4.4 保持沉銅缸有打氣及過濾;5.4.5 保持活化缸有循環(huán);5.4.6 長時間停產(chǎn)或放假,須將藥水缸蓋好,尤其是活化槽。5.5 PTH線停電及機械故障處理方法:5.5.1 當(dāng)遇停電或機械故障時把正浸在藥水槽中的板取出水洗待重做;5.5.2 當(dāng)遇停電機械故障不超過10分鐘,浸在水洗缸中的板可正常往后生產(chǎn)如若不然須取出重做;5.5.3 在沉銅缸板可繼續(xù)沉銅至足夠時間,然后取出至板電;5.5.4 停電時間超過4小時,須用純水酸制,用AR級硫酸中和沉銅缸中的NaOH用量約為7ml/L(AR級硫酸);5.5.5 返工板程序:微蝕一水洗一磨板一 PTH工序5.6沉銅效果檢測:5.6.1 背光檢測:每生產(chǎn)四小時檢測一次,具體見背光對照表;5.6.2 孔銅附著力檢測:沉銅板做到成品后,進(jìn)行熱沖擊實驗,孔銅不脫離為OK六、PTH線常見問題及處理常見 問題因 原 匕匕 厶冃 可背不不良孔內(nèi)無
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