生產(chǎn)車間防靜電技術(shù)要求VIP

1、 文件編號(hào)： 發(fā)放號(hào)： 受控狀態(tài)：生產(chǎn)車間防靜電技術(shù)要求編制：審核：批準(zhǔn)： 發(fā)布日期： 生效日期： 文件發(fā)行及更改記錄表制修訂更改原因更改內(nèi)容審核批準(zhǔn)生效日期版本號(hào)1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了本公司生產(chǎn)車間靜電防護(hù)的技術(shù)要求；本標(biāo)準(zhǔn)適用于本公司產(chǎn)品生產(chǎn)、物料存放、試驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)的防靜電控制。2術(shù)語(yǔ)2.1防靜電工作區(qū)（EPA）配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記且滿足防靜電要求，為建立保護(hù)面積和進(jìn)行保護(hù)性操作所必須配置的設(shè)施和工具的統(tǒng)稱，如有靜電敏感元器件和組裝件操作的生產(chǎn)區(qū)和物料存放區(qū)域。2.2硬接地（hard ground） 直接與大地電極做導(dǎo)電性連接的一種接地方式。2.3軟接地

2、（soft ground）通過一足以限制流過物體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。2.4大地電極(earth electrode)埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。他可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的，為接地系統(tǒng)提供接大地的基準(zhǔn)點(diǎn)。2.5靜電耗散材料（dissipative materials） 其表面電阻率等于或大于1×105，但小于1×1012；或體積電阻率等于或大于1×104cm，但小于1×1011的材料。3 一般要求3.1防靜電標(biāo)記符號(hào) 在防靜電工作區(qū)應(yīng)在明顯的位置貼靜電防護(hù)標(biāo)志，如圖3-13-1 靜電防護(hù)標(biāo)志3.2

3、工作人員在進(jìn)入防靜電工作區(qū)時(shí)，須穿戴好防靜電工作服、工作鞋。3.3工作人員對(duì)靜電敏感元器件、組裝件進(jìn)行操作時(shí)，須戴好ESD防護(hù)腕帶，并測(cè)試合格。3.4指定人員定期測(cè)量并記錄車間環(huán)境條件。4詳細(xì)要求4.1氣候與環(huán)境條件溫度 EPA內(nèi)應(yīng)裝有溫度調(diào)節(jié)裝置，以維持其室溫在25±5，采用準(zhǔn)確度優(yōu)于±2的溫度計(jì)測(cè)量EPA的室溫，并在每日的同一時(shí)間進(jìn)行測(cè)量并記錄。記錄表見附表1濕度EPA內(nèi)應(yīng)裝有濕度調(diào)節(jié)裝置，以維持室內(nèi)相對(duì)濕度在3070%RH范圍內(nèi)。采用準(zhǔn)確度優(yōu)于±2%的濕度計(jì)測(cè)量EPA內(nèi)的濕度，并在每日的同一時(shí)間進(jìn)行測(cè)量并記錄。記錄表見附表1潔凈度保持生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)干凈、整潔。靜電

4、消除器在對(duì)靜電敏感元器件或組裝件操作的工作臺(tái)上，應(yīng)裝設(shè)靜電消除器（離子風(fēng)機(jī)等），以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工件上產(chǎn)生的靜電荷。靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護(hù)區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi)，中和能力應(yīng)優(yōu)于±250V/s。4.2接地EPA內(nèi)應(yīng)有滿足使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng)，并通過大地電極分系統(tǒng)接到大地。防靜電接地分系統(tǒng) EPA的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地板防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等，連接方式如圖4-1。除個(gè)別指明需采用硬接地外，一般采用軟接地方式，其接地電阻可由外界電阻、材料內(nèi)固有電阻

5、或它們的組合構(gòu)成。接地安裝注意事項(xiàng)防靜電接地分系統(tǒng)最好與電源地等其它分系統(tǒng)各自獨(dú)立；防靜電工具、裝置等的接地端子允許使用易于拆卸的各種夾式連接器，如鱷魚夾、插針等，但應(yīng)確保電氣連接可靠。接地主干線截面積應(yīng)不小于100mm2；支干線截面積應(yīng)不小于6mm2；設(shè)備和工作臺(tái)的接地線應(yīng)采用截面積不小于1.25mm2的多股敷塑導(dǎo)線，接地線顏色應(yīng)和操作現(xiàn)場(chǎng)其它電源線等的顏色有較大區(qū)別。4.3各種器材、用具的靜電性能 測(cè)量?jī)x器 EPA相關(guān)設(shè)施安裝完成后應(yīng)定期對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)，并記錄檢測(cè)結(jié)果（檢測(cè)記錄表見附表2），接地系統(tǒng)的測(cè)量?jī)x器的量程應(yīng)為01011，測(cè)量電極為圓柱形，直徑50mm，重量2kg。儀器的輸入和輸出線

6、與兩電極通過鱷魚夾、連接器等便于拆卸的方式連接，測(cè)量時(shí)施以500V電壓。 ESD防護(hù)工作臺(tái)面除非制造工藝要求要使用導(dǎo)（靜）電工作臺(tái)面，EPA內(nèi)的工作臺(tái)面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。ESD防護(hù)工作臺(tái)面的對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見表1。對(duì)地電阻測(cè)量時(shí)，將測(cè)量?jī)x器的一端接到工作臺(tái)與地線的連接線上，另一個(gè)電極測(cè)量五個(gè)點(diǎn)取平均值（如圖4-2）。表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量時(shí)，兩測(cè)試電極相距0.9m，測(cè)量五組數(shù)據(jù)取平均值，測(cè)量時(shí)一電極不動(dòng)，另一電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉(zhuǎn)移動(dòng)（如圖4-3） ESD防護(hù)地面 除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)（靜）電地面，EPA內(nèi)應(yīng)采用靜電耗散地板、地墊或噴涂防靜電

7、漆，并良好接地，其對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見表1。對(duì)地電阻測(cè)量時(shí)，儀器一個(gè)電極接防靜電接地分系統(tǒng)，另一電極放置在防靜電地面上，取房間不同位置測(cè)量并取平均值（如圖4-4）；表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量時(shí)，一個(gè)電極固定，另一個(gè)電極以0.9m為半徑取5個(gè)測(cè)量點(diǎn)，并取平均值（如圖4-5）。表1 EPA內(nèi)各種器材的靜電性能要求器材名稱章條號(hào)表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻（）對(duì)地電阻（）穿戴狀態(tài)下的對(duì)地電阻（）說 明ESD防護(hù)工作臺(tái)7.5×1051.0×1010 7.5×1051.0×109/ESD防護(hù)地面1.0×1051.0×10101.0×1

8、051.0×109/ESD防護(hù)腕帶/7.5×1053.5×107/7.5×1051.0×1010/內(nèi)表面對(duì)電纜扣7.5×1055.0×106/腕帶連線端對(duì)端物流車、存放架7.5×1051.0×10107.5×1051.0×109器材名稱章條號(hào)表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻（）對(duì)地電阻（）穿戴狀態(tài)下的對(duì)地電阻（）說 明周轉(zhuǎn)容器7.5×1051.0×10107.5×1051.0×109（體積電阻）/工作服1.5×1051.0×10101.5&

9、#215;1051.0×1010/ ESD防護(hù)腕帶a腕帶穿戴狀態(tài)下的電阻測(cè)試操作者以正常方式戴上腕帶，把線端插入測(cè)試器，手指壓住手摸觸板，直至儀器可以穩(wěn)定測(cè)量為止（如圖4-6）。b腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻） 將兩測(cè)試點(diǎn)擊分別接觸腕帶內(nèi)表面和電纜扣與測(cè)試儀連接測(cè)量（如圖4-7）。c腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）用測(cè)試電極連接電纜兩端測(cè)試（如圖4-8）。4.3.5 物品存放架、內(nèi)部物流車應(yīng)能通過支腳或輪子接地，它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見表1。對(duì)地電阻測(cè)量如圖4-9；表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻的測(cè)量如圖4-10。 周轉(zhuǎn)容器其體積電阻和表

10、面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見表1。體積電阻測(cè)量如圖4-11；表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量如圖4-12。 ESD防護(hù)工作服ESD防護(hù)工作服各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時(shí)，工作服上設(shè)置專門的接地連接點(diǎn)，在穿戴過程中通過導(dǎo)線接地。測(cè)量時(shí)，工作服放在絕緣臺(tái)上，絕緣臺(tái)的表面電阻1014；兩電極之間的間距不小于300mm。ESD工作服的對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見表1。工作服的對(duì)地電阻測(cè)量如圖4-13；表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量如圖4-14。 電烙鐵 電烙鐵應(yīng)進(jìn)行硬接地，電烙鐵頭值接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于2。 其它 EPA內(nèi)的防靜電工作椅、防靜電工作鞋

11、等性能要符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。4.4 EPA維護(hù)與檢查要求對(duì)EPA的各項(xiàng)技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢查、監(jiān)測(cè)，以維持各項(xiàng)性能符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。檢查的頻次如表2所列。檢查頻次項(xiàng)目名稱檢查方式每日一次環(huán)境溫度、相對(duì)濕度測(cè)量佩戴腕帶狀態(tài)下的對(duì)地電阻測(cè)量ESD防護(hù)工作服穿戴情況目視每周一次ESD防護(hù)工作臺(tái)面接地情況目視地板、地墊接地情況目視系統(tǒng)接地情況目視每月一次標(biāo)記情況目視工作服對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量每季度一次ESD防護(hù)工作臺(tái)對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量地板、地墊對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量周轉(zhuǎn)容器體積電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量電烙鐵對(duì)地電阻測(cè)量存放架和內(nèi)部物流車對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量建成后第一年每季度一次，以后每21個(gè)月一次系統(tǒng)接地電阻測(cè)量檢測(cè)時(shí)間溫