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文檔簡(jiǎn)介

1、1、真空的定義 真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位 通常用托(Torr)為單位,近年國(guó)際上取用帕(Pa)作為單位。1托1/760大氣壓1毫米汞柱4、托與帕的轉(zhuǎn)換 1托133.322帕或1帕7.5×10-3托5、平均自由程 作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“”表示。6、流量 單位時(shí)間流過任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/

2、秒(Torr·L/s)。7、流導(dǎo) 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。 UQ/(P2- P1)8、壓力或壓強(qiáng) 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。10、極限真空 真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次,取其10次的平均值為極限真空值。11、抽氣速率 在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為

3、抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即SpQ/(PP0)真空常用數(shù)據(jù)及單位換算1、真空區(qū)域劃分真空區(qū)域 壓強(qiáng)范圍 托(Torr) 帕(Pa) 低真空 76010 1013251333 中真空 1010-3 13331.33×10-1 高真空 10-310-8 1.33×10-110-6 超高真空 10-810-12 10-610-10 極高真空 10-12 10-10 3、重量:公斤-磅-央士對(duì)照表單位 公斤(kg) 英磅(Ib) 央士(oz) 1公斤 1 2.2 35.27 1磅 0.45 1 16 1央士 0.03 0.06 1 4、各種真空計(jì)及規(guī)管對(duì)照表真空計(jì)名稱 電阻真空計(jì) 熱偶真

4、空計(jì) 1.熱陰極電離真空計(jì)2.壓強(qiáng)自動(dòng)控制儀 冷陰極碰控真空計(jì) 中真空計(jì) 超高真空計(jì) 規(guī)管名稱 電阻規(guī)管 熱偶規(guī)管 電離規(guī)管 冷陰極規(guī)管 中真空規(guī)管 B-A規(guī)管 規(guī)管型號(hào) ZJ-52T ZJ-51(DL-3)ZJ-53 ZJ-27(DL-9)ZJ-2(DL-2)ZJ-10(DL-5) M014 DL-5DL-8 ZJ-32ZJ-32BCZJ-12 5、絕對(duì)溫度、攝氏、華氏溫度對(duì)照表溫度形式 K(絕對(duì)溫度) (攝氏) °F(華氏) K(絕對(duì)溫度) 1 +273.15 5/9(°F+459.67) (攝氏) K-273.15 1 5/9(°F-32) °F(

5、華氏) 9/5(K-459.67) 9/5(+32) 1 6、抽氣速率單位換算表單位 立方米/秒(m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小時(shí) 立方英尺/分 1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88 1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119 1立方米/小時(shí)(1m3/h) 2.78×10-4 0.278 1 0.59 1立方英尺/分(1cft/min) 4.72×10-4 0.47 1.69 1 7、各種水的電阻率(歐姆)水 海水 劣質(zhì)自來水 優(yōu)質(zhì)自來水 蒸餾水 超凈水 電阻率 1010-2 103 104105 106 1071088、

6、20空氣在不同壓強(qiáng)下的分子平均自由程P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9 (厘米) 4.72×10-3 4.72 47.2 472 4720 4.72×1069、常用壓強(qiáng)單位換算表帕Pa 托Torr 微米汞柱mHg微巴bar毫巴mbar大氣壓atm工程大氣壓am英寸汞柱inHg 磅/英寸2lb/in2 1 Pa17.5×10-37.51010-29.86923×10-6 1.0197×1052.953×10-41.450×10-41 Torr133.3211031333.21.33321.31579

7、×10-3 1.3595×10-33.937×10-21.934×10-21 mHg0.1333210-311.33321.3332×10-3 1.31579×10-61.3595×10-63.937×10-51.934×10-51 bar10-17.5×10-47.5×10-1110-39.86923×10-7 1.0197×10-62.953×10-51.450×10-51 mbar1027.5×10-17.5×10210

8、319.86923×10-4 1.0197×10-32.953×10-21.450×10-21 atm101325760760×1031013.25×103 1013.2511.033329.92114.6961 am98066.3735.56735.56×103 980663980663×10-3 0.967839128.95914.2231 inHg338625.425.4×1033.386×10433.863.342×10-2 3.453×10-214.912×

9、;10-11 lb/in2 689551.71551.715×103 6.895×10468.956.805×10-2 7.031×10-22.086110、不同壓強(qiáng)下空氣分子密度P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9 n0(個(gè)/厘米3) 4×1016 4×1013 4×1012 4×1011 4×1010 4×107 11、真空油脂的主要性能名稱成分20時(shí)飽和蒸氣壓(托) 最高使用溫度()2#高分子碳3.1×10-8303# 氧化合物10-9354# 皂基脂1

10、0-710-81307501 硅油加硅粉10-6以下-40+20012、力單位的換算達(dá)因(Dyn)牛頓(N) 斯坦公斤力(kgf)110-510-81.02×10-613、功率單位換算單位馬力千瓦瓦馬力(PS)10.735735千瓦(kW)1.3611000瓦(W)1.360.001114、真空封膏特性真空脂名稱 真空封脂真空封泥508030溫度50803010-710-8托10-710-8托5×10-4托15、各種橡膠特性表橡膠種類 天然橡膠丁基橡膠丁腈橡膠氟橡膠特性1耐水性,耐酸性,耐堿性良好滲透率小耐油良好23型耐強(qiáng)酸特性2出氣量較大升華嚴(yán)重彈性較好26型滲透率低出氣

11、率小真空范圍1×105托107托108托10-8托溫度30803015030120-2020016、面積單位換算平方米(m2) 平方厘米(cm2) 平方毫米(mm2) 平方市尺(sc2) 平方英尺(ft2) 平方英寸(in2) 1 10000 1000000 9 10.7639 1550 17、容積單位換算立方米升立方市尺英加侖美加侖(液體)立方英尺立方英寸日升1 1000 27 219.98 264.18 35.3147 0.06103 554.37 18、1號(hào)真空機(jī)械泵油的主要性能指標(biāo)項(xiàng)目運(yùn)動(dòng)粘離(厘泊) 閃點(diǎn)()飽和蒸汽壓20時(shí)(托)比重(克/厘米3)分子量(克) KK-1 5

12、0時(shí)(4757)100時(shí)(811) 不低于15不高于4×10-50.86333 19、國(guó)產(chǎn)擴(kuò)散泵油性能指標(biāo)牌號(hào)1#2#3#274硅油275硅油飽和蒸氣壓(托)20不大于4×10-82×10-82×10-82×10-81.7×10-8運(yùn)動(dòng)粘度(厘泊)45605565688038±3165±20凝固點(diǎn)()不高于-15-15-15-10-14-18閃點(diǎn)()不低于230230230210243比重(克/厘米2)1.051.081.09±0.02 20、真空泵的種類及其工作范圍真空泵工作范圍(托)真空泵工作范圍(托

13、)旋片真空泵7605×10-4往復(fù)真空泵76010-2滑閥真空泵7605×10-3吸附泵76010-4油增壓泵10-110-4濺射離子泵10-410-10羅茨真空泵10-110-4鈦升華泵10-310-10油擴(kuò)散泵10-35×10-7分子泵10-310-10水環(huán)真空泵76025低溫泵10-310-1021、水在各種溫度下的飽和蒸氣壓溫度蒸汽壓mmHg溫度蒸汽壓mmHg溫度蒸汽壓mmHg溫度蒸汽壓mmHg溫度蒸汽壓mmHg-200.77256.543031.8255118.080355.1-190.8567.013133.7056123.881369.7-180.9

14、3577.513235.6657129.882384.9-171.02788.053337.7358136.183400.6-161.12898.613439.9059142.684416.8-151.238109.213542.1860149.485433.6-141.357119.843644.5661156.486450.9-131.4861210.523747.0762163.887468.7-121.6271311.233849.6563171.488487.1-111.7801411.993952.4464179.389506.1-101.9461512.794055.326518

15、7.590525.8-92.2151613.634158.3466196.191546.1-82.3211714.534261.5067205.092567.0-72.5321815.484364.8068214.293588.6-62.7611916.484468.2669223.794610.9-53.0082017.544571.8870233.795633.9-43.2762118.654675.6571243.996657.6-33.5662219.834779.6072254.697682.1-23.8792321.074883.7173265.798707.3-14.216242

16、2.384988.0274277.299733.204.5792523.765092.5175289.1100760.014.9302625.215197.2076301.425.2902726.7452102.177314.1 35.6902828.3553107.278327.346.102930.0454112.579341.022、一些物質(zhì)的熔點(diǎn)、熔解熱、沸點(diǎn)和汽化熱物質(zhì)熔點(diǎn)()熔解熱(Cal/g)沸點(diǎn)()汽化熱(Cal/g)酒精-11423.5478204二硫化碳-11245.346.2584氨-77.781.3-33327松節(jié)油-1080160-冰080100539萘8033218

17、50.5生鐵110012008245093一氧化碳-20046.68-190263醋酸16.616.4118.3104甲醇-97.120.9564.794苯胺-6.2430.24184.3124苯5.4882.2丙酮-96.556.1羅茨真空泵的工作原理 羅茨泵的結(jié)構(gòu)如圖所示。在泵腔內(nèi),有二個(gè)"8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從吸氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。右(下)圖為羅茨

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