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1、(一)真空區(qū)域的劃分氣體溫度T293.15 K管道始端壓力P16.666 Pa低真空105102Pa氣體絕熱指數(shù)k1.4管道末端壓力P26.66 Pa中真空10210-1Pa氣體相對分子量M29氣體常數(shù)R8.314 KJ/(Kmol.K)L/da高真空10-110-5Pa氣體粘度1.81E-02 mPa.s氣體密度7.93E-05 kg/m301超高真空20d)泵有效抽速u17.77777778 L/s80.143粘性流動長管流導Cvl1.93E+03 cm3/s管道的流導C88.88888889 L/s100.1172 圓孔流導判斷直直徑徑初初選選值值正正確確200.0625氣體壓力比X0.

2、99909991粘性流動圓孔的流導Cvl1071989.268 cm3/s(按圓孔面積)(五)抽氣時間粘性流動圓孔的流導Cvl68607313.18 cm3/s(按管面積)泵名義抽速up22.22222222 L/s3 短管流導(L20d)抽氣時間t2.30 s分子流動長管流導Cml15810.69933 cm3/s(六)壓力降計算2 圓孔流導氣體質(zhì)量流量WG6.34E-03 kg/h分子流動圓孔流導Cml10242.19522 cm3/sWG/D7.93E-023 短管流導(L20d)摩擦系數(shù)f1 (查圖)修正系數(shù)a0.0625管道摩擦系數(shù)4分子流動短管流導Cml36307.63673 cm

3、3/s流體流速u14.42 m/sc 過渡流動真空管每米管道壓力降p0.039 Pa過渡流動流導CT1.40E+05 cm3/s管道末端壓力P26.55Pap/P21.77%判斷所所選選直直徑徑正正確確最最終終得得到到的的流流導導C C1 1. .4 40 0E E+ +0 05 5 cm3/s查表數(shù)據(jù)FlowMoleculeFlowTransitionalFlowViscous基準摩擦系數(shù)F10.0155管徑校正系數(shù)CD13.5溫度校正系數(shù)CT11.5Circle Hole10242.195221.40E+051071989.268基準摩擦系數(shù)F20.071管徑校正系數(shù)CD23.2溫度校正系數(shù)CT21.67CLP15810.699331.40E+051.93E+03CSP36307.636731.40E+051.93E+03CLP15810.69933140046.96431927.5注:1 藍色為需要輸入的數(shù)據(jù)2

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