智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南（2017-2019年）為貫徹落實(shí)制造業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)融合發(fā)展、大數(shù)據(jù)等國(guó)家戰(zhàn)略，把握新一代信息技術(shù)深度調(diào)整戰(zhàn)略機(jī)遇期，提升智能傳感器產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力，保障國(guó)家信息安全，按照國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要要求，結(jié)合加快推進(jìn)傳感器及智能化儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃，制訂本行動(dòng)指南。一、行動(dòng)背景當(dāng)今世界，以信息技術(shù)為代表的新一輪科技革命方興未艾，全球信息技術(shù)發(fā)展正處于跨界融合、加速創(chuàng)新、深度調(diào)整的歷史時(shí)期，呈現(xiàn)萬(wàn)物互聯(lián)、萬(wàn)物智能的新特征。智能傳感器作為與外界環(huán)境交互的重要手段和感知信息的主要來(lái)源，是指具有信息采集、信息處理、信息交換、信息存儲(chǔ)功能的多元件集成

2、電路，是集成傳感芯片、通信芯片、微處理器、驅(qū)動(dòng)程序、軟件算法等于一體的系統(tǒng)級(jí)產(chǎn)品，市場(chǎng)應(yīng)用正呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，已成為決定未來(lái)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心與基礎(chǔ)之一。同時(shí)，物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、人工智能應(yīng)用的興起，推動(dòng)傳感技術(shù)由單點(diǎn)突破向系統(tǒng)化、體系化的協(xié)同創(chuàng)新轉(zhuǎn)變，大平臺(tái)、大生態(tài)主導(dǎo)核心技術(shù)走向態(tài)勢(shì)明顯，并成為發(fā)達(dá)國(guó)家和跨國(guó)企業(yè)布局的戰(zhàn)略高地。經(jīng)過(guò)近些年的發(fā)展，我國(guó)智能傳感器技術(shù)與產(chǎn)業(yè)具備了加快突破的基礎(chǔ)，但由于起步較晚，目前仍面臨產(chǎn)品有效供給不足、技術(shù)創(chuàng)新能力不強(qiáng)、產(chǎn)業(yè)生態(tài)不健全、科研生產(chǎn)與應(yīng)用不協(xié)同等問(wèn)題，由此帶來(lái)的產(chǎn)業(yè)安全、信息安全挑戰(zhàn)不容忽視。二、總體要求（一）發(fā)展思路緊抓智能傳感器市場(chǎng)

3、需求爆發(fā)增長(zhǎng)、技術(shù)創(chuàng)新高度活躍的戰(zhàn)略機(jī)遇期，聚焦移動(dòng)終端、智能硬件、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造、汽車電子等重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域，突出“后摩爾”時(shí)代融合創(chuàng)新發(fā)展主線，緊緊圍繞產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同升級(jí)和產(chǎn)業(yè)生態(tài)完善，補(bǔ)齊以特色半導(dǎo)體工藝為代表的基礎(chǔ)技術(shù)、通用技術(shù)短板，布局基于新原理、新結(jié)構(gòu)、新材料等的前沿技術(shù)、顛覆性技術(shù)，做大做強(qiáng)一批深耕智能傳感器設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)和系統(tǒng)方案的龍頭骨干企業(yè)，打造一批具有國(guó)際影響力的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、檢測(cè)認(rèn)證和創(chuàng)新服務(wù)的機(jī)構(gòu)，建成核心共性技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新平臺(tái)，有效提升中高端產(chǎn)品供給能力，推動(dòng)我國(guó)智能傳感器產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展，支撐構(gòu)建現(xiàn)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)體系。（二）總體目標(biāo)到2019年，我國(guó)智能傳感器產(chǎn)業(yè)取得

4、明顯突破，產(chǎn)業(yè)生態(tài)較為完善，涌現(xiàn)出一批創(chuàng)新能力較強(qiáng)、競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)明顯的國(guó)際先進(jìn)企業(yè)，技術(shù)水平穩(wěn)步提升，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不斷優(yōu)化，供給能力有效提高。產(chǎn)業(yè)規(guī)?？焖賶汛蟆Ｖ悄軅鞲衅鳟a(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到260億元；主營(yíng)業(yè)務(wù)收入超十億元的企業(yè)5家，超億元的企業(yè)20家。微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）工藝生產(chǎn)線產(chǎn)能穩(wěn)步增長(zhǎng)。創(chuàng)新能力顯著增強(qiáng)。建成智能傳感器創(chuàng)新中心；模擬仿真、設(shè)計(jì)、MEMS工藝、晶圓級(jí)封裝和個(gè)性化測(cè)試技術(shù)達(dá)到國(guó)際水平；涵蓋智能傳感器模擬與數(shù)字/數(shù)字與模擬轉(zhuǎn)換（AD/DA）、專用集成電路（ASIC）、軟件算法等的軟硬件集成能力大幅攀升；智能傳感器專利申請(qǐng)量穩(wěn)步提升，在新型敏感材料、低功耗設(shè)計(jì)、反饋控制和安全機(jī)制等重點(diǎn)領(lǐng)域

5、形成初步布局；金屬、陶瓷、光纖等非半導(dǎo)體類傳感器智能化水平快速提升。生態(tài)體系基本完善。智能傳感器公共服務(wù)平臺(tái)的承載能力和技術(shù)水平穩(wěn)步攀升；氮化鋁（AlN）、鋯鈦酸鉛（PZT）等MEMS用薄膜敏感材料供給能力不斷增強(qiáng)；鍍膜機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、大規(guī)模高精度測(cè)試機(jī)等重大裝備性能快速提升。產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同持續(xù)加強(qiáng)，在重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域形成較強(qiáng)系統(tǒng)方案能力。三、主要任務(wù)（一）補(bǔ)齊設(shè)計(jì)、制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)短板，推進(jìn)智能傳感器向中高端升級(jí)重點(diǎn)攻關(guān)智能傳感器可靠性設(shè)計(jì)與試驗(yàn)、模擬仿真、信號(hào)處理、無(wú)線通信、電子自動(dòng)化設(shè)計(jì)（EDA）工具、軟件算法等關(guān)鍵技術(shù)，推進(jìn)器件設(shè)計(jì)與制造工藝的深度結(jié)合，提升產(chǎn)品性能，降低生產(chǎn)成

6、本，提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。著力突破硅基MEMS加工技術(shù)、MEMS與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）集成、非硅模塊化集成等工藝技術(shù)，持續(xù)提升工藝的一致性、穩(wěn)定性水平，同時(shí)探索發(fā)展?jié)M足多領(lǐng)域、多品種、多廠商、多批次智能傳感器定制生產(chǎn)的柔性制造模式。推動(dòng)發(fā)展器件級(jí)、晶圓級(jí)MEMS封裝和系統(tǒng)級(jí)測(cè)試技術(shù)，鼓勵(lì)研發(fā)個(gè)性化或定制化測(cè)試設(shè)備。支持企業(yè)探索研發(fā)新型MEMS傳感器設(shè)計(jì)技術(shù)、制造工藝技術(shù)、集成創(chuàng)新與智能化技術(shù)等，持續(xù)提升原創(chuàng)性研發(fā)能力，逐步構(gòu)建高水準(zhǔn)技術(shù)創(chuàng)新體系。專欄1：核心技術(shù)攻關(guān)工程智能傳感器設(shè)計(jì)集成技術(shù)推動(dòng)基于MEMS工藝的新型生物、氣體、液體、光學(xué)、超聲波等智能傳感器設(shè)計(jì)技術(shù)的研發(fā)；提升MEMS傳

7、感器集成化水平，推動(dòng)集成距離、環(huán)境光、三維景深等光學(xué)組合智能傳感器產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)商用，探索研發(fā)集成壓力傳感、麥克風(fēng)、濕度傳感、氣體傳感等的開(kāi)放組合產(chǎn)品；著力攻關(guān)智能傳感器配套軟件算法，研發(fā)具備信息采集、存儲(chǔ)、計(jì)算、傳輸、自校正、自動(dòng)補(bǔ)償、自判斷、自決策等功能的智能傳感器，推動(dòng)傳感器由分立器件向數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化、系統(tǒng)集成與功能復(fù)合以及應(yīng)用創(chuàng)新方向發(fā)展。制造及封裝工藝技術(shù)推動(dòng)研發(fā)主流和特種MEMS工藝技術(shù)，提升加工水平和工藝一致性、可靠性、穩(wěn)定性；加速M(fèi)EMS傳感器芯片制造工藝量產(chǎn)進(jìn)程，推動(dòng)深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級(jí)，提升智能傳感器制造良率及穩(wěn)定性；持續(xù)攻關(guān)硅通孔、晶圓減薄、晶圓鍵

8、合等關(guān)鍵工藝技術(shù)，推動(dòng)晶圓級(jí)封裝、三維封裝技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。(二)面向消費(fèi)電子、汽車電子、工業(yè)控制、健康醫(yī)療等重點(diǎn)行業(yè)領(lǐng)域，開(kāi)展智能傳感器應(yīng)用示范提升消費(fèi)電子智能傳感器一體化解決方案供給能力，推進(jìn)光學(xué)傳感器、慣性傳感器、硅麥克風(fēng)向高精度、高集成、高性能方向演進(jìn)，加快智能傳感器產(chǎn)品在高端消費(fèi)電子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模應(yīng)用。完善新型高端汽車智能傳感器布局，加速汽車壓力傳感器、慣性傳感器集成化發(fā)展進(jìn)程，重點(diǎn)布局激光雷達(dá)等車用先進(jìn)智能傳感器研究，提升產(chǎn)品智能化水平，推動(dòng)汽車傳感器由感知型向分析型發(fā)展演進(jìn)。推進(jìn)工業(yè)智能傳感器智慧應(yīng)用，提升工業(yè)慣性傳感器、氣體傳感器穩(wěn)定性與可靠性，突破傳感器數(shù)據(jù)融合處理關(guān)鍵技術(shù)，增

9、強(qiáng)數(shù)控機(jī)床、工業(yè)機(jī)器人、制造裝備等深度感知和智慧決策能力，持續(xù)提升智能傳感器在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用水平。拓展醫(yī)用智能傳感器應(yīng)用領(lǐng)域，發(fā)展符合醫(yī)療電子高靈敏度、高信噪比、高安全特性要求的生物傳感器產(chǎn)品，推動(dòng)醫(yī)用智能傳感器從病人監(jiān)測(cè)、體外診斷、醫(yī)療成像和病人護(hù)理應(yīng)用場(chǎng)景向視網(wǎng)膜植入、外骨骼、心臟起搏器等新興領(lǐng)域延伸。產(chǎn)業(yè)部門、應(yīng)用部門、產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)將積極組織智能傳感器應(yīng)用示范項(xiàng)目，加強(qiáng)產(chǎn)用對(duì)接，加快智能傳感器在重點(diǎn)領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用。支持行業(yè)協(xié)會(huì)、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟等行業(yè)社團(tuán)對(duì)智能傳感器示范應(yīng)用的典型案例加強(qiáng)宣傳和推廣。（三）建設(shè)智能傳感器創(chuàng)新中心，進(jìn)一步完善技術(shù)研發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、檢測(cè)等公共服務(wù)能力，助力產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)

10、展支持建設(shè)國(guó)家及省級(jí)智能傳感器創(chuàng)新中心，發(fā)揮好相關(guān)傳感網(wǎng)創(chuàng)新示范區(qū)作用，依托高校、科研院所、產(chǎn)業(yè)園區(qū)現(xiàn)有的設(shè)施平臺(tái)，保證資金持續(xù)投入，完善并更新設(shè)備設(shè)施，提升研發(fā)設(shè)計(jì)、中試等公共服務(wù)平臺(tái)的承載能力，積極開(kāi)展基礎(chǔ)共性技術(shù)的聯(lián)合研發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)制定、專利布局及運(yùn)營(yíng)等工作，幫扶中小企業(yè)發(fā)展壯大。建立智能傳感器產(chǎn)品測(cè)試中心，注重完善測(cè)試方法和測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，提高主流產(chǎn)品測(cè)試技術(shù)水平和效率，推動(dòng)提升智能傳感器產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，加快相關(guān)智能傳感器產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)應(yīng)用的步伐。支持行業(yè)協(xié)會(huì)、產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟等行業(yè)組織發(fā)展，鼓勵(lì)其參與相關(guān)規(guī)劃、公共政策和標(biāo)準(zhǔn)制定等工作，開(kāi)展行業(yè)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，建立信息資源共享機(jī)制，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供技術(shù)咨詢

11、、政策引導(dǎo)、市場(chǎng)開(kāi)拓等服務(wù)。專欄2：智能傳感器創(chuàng)新中心建設(shè)目標(biāo)通過(guò)建設(shè)智能傳感器創(chuàng)新中心，形成一批具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵技術(shù)成果，培養(yǎng)一批復(fù)合型創(chuàng)新人才骨干，核心器件設(shè)計(jì)與制造技術(shù)達(dá)到國(guó)際水平。 組織機(jī)制依托基礎(chǔ)條件較好的科研院所和骨干企業(yè)，以資金或知識(shí)產(chǎn)權(quán)入股形式合資設(shè)立獨(dú)立的法人主體。發(fā)展模式短期由政府扶持建立，中長(zhǎng)期逐步向“政府引導(dǎo)、企業(yè)主導(dǎo)”的市場(chǎng)化運(yùn)作模式過(guò)渡。 主要任務(wù)一是突破敏感材料、關(guān)鍵工藝、軟件算法等發(fā)展瓶頸，著力提升智能傳感器設(shè)計(jì)和制造水平；研發(fā)高深寬比干法體硅加工技術(shù)，晶圓級(jí)鍵合技術(shù)，集成電路與傳感器的系統(tǒng)級(jí)封裝（SIP）技術(shù)、系統(tǒng)級(jí)芯片（SoC）技術(shù)，通信傳輸技

12、術(shù)等共性技術(shù)。二是聯(lián)合應(yīng)用企業(yè)研發(fā)適用于消費(fèi)電子、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、交通、生物醫(yī)療等行業(yè)的量大面廣以及面向航空、航天、深海探測(cè)等特殊應(yīng)用的智能傳感器產(chǎn)品，提升供給能力。三是開(kāi)展創(chuàng)新人才培養(yǎng)，建立跨學(xué)科的復(fù)合型人才培養(yǎng)機(jī)制。（四）合理規(guī)劃布局，進(jìn)一步完善產(chǎn)業(yè)鏈，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展 圍繞智能傳感器產(chǎn)業(yè)、技術(shù)、智力資源比較豐富的地區(qū)，集中力量打造以上海、江蘇為重點(diǎn)的長(zhǎng)三角產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，以深圳、廣州為重點(diǎn)的珠三角產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)以及以北京為重點(diǎn)的環(huán)渤海產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，推動(dòng)西安、成都、重慶、武漢、哈爾濱等側(cè)翼地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。 引導(dǎo)智能傳感器產(chǎn)業(yè)組織方式向虛擬集成設(shè)計(jì)制造（IDM）模式或IDM模式發(fā)展，支持企業(yè)開(kāi)展傳感器敏感材

13、料、器件設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成、制造工藝和封裝工藝的聯(lián)合攻關(guān)，提升關(guān)鍵環(huán)節(jié)配套水平，完善智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈布局，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展能力。加強(qiáng)骨干企業(yè)培育，鼓勵(lì)骨干企業(yè)整合現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)資源，打通產(chǎn)業(yè)鏈條，面向重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域方向，形成系統(tǒng)級(jí)智能傳感器解決方案，引領(lǐng)帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)集群向規(guī)?；?、高端化發(fā)展。專欄3：產(chǎn)業(yè)鏈升級(jí)工程敏感材料加快AlN、PZT等敏感材料應(yīng)用于MEMS智能傳感器制造的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，推動(dòng)鐵/鈷/鎳等磁性材料、氧化釩等紅外輻射材料、鉻/金/鈦/銅/鋁等金屬的氧化物材料技術(shù)革新，提升相關(guān)智能傳感器產(chǎn)品性能。設(shè)計(jì)工具推動(dòng)MEMS器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與驗(yàn)證、MEMS+ASIC協(xié)同設(shè)計(jì)、不同類型智能傳感器產(chǎn)品級(jí)分析等軟

14、件工具研發(fā)，拓展其在智能傳感器產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中的應(yīng)用。系統(tǒng)集成推動(dòng)智能傳感器數(shù)據(jù)融合、數(shù)據(jù)預(yù)處理等專用集成電路，平面集成、三維集成智能傳感器產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。制造設(shè)備推動(dòng)深硅刻蝕設(shè)備、晶圓鍵合機(jī)、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、擴(kuò)散爐等用于MEMS制造設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。測(cè)試設(shè)備推動(dòng)滿足大規(guī)模、高精度測(cè)試要求的轉(zhuǎn)臺(tái)、振動(dòng)臺(tái)等慣性傳感器測(cè)試設(shè)備，磁場(chǎng)發(fā)生器等磁傳感器測(cè)試設(shè)備，壓力腔、壓力校驗(yàn)儀等壓力傳感器測(cè)試設(shè)備，消聲腔等麥克風(fēng)測(cè)試設(shè)備等的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。四、保障措施 （一）組織保障充分利用國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展領(lǐng)導(dǎo)小組工作機(jī)制，協(xié)調(diào)中央、地方和其他社會(huì)資源，共同推進(jìn)技術(shù)升級(jí)和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化。發(fā)揮產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、行業(yè)協(xié)

15、會(huì)等專業(yè)機(jī)構(gòu)的中介橋梁作用，強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與合作，構(gòu)建良性發(fā)展環(huán)境。推動(dòng)建立智能傳感器產(chǎn)業(yè)監(jiān)測(cè)與預(yù)警機(jī)制，制定智能傳感器技術(shù)產(chǎn)業(yè)路線圖。加強(qiáng)基礎(chǔ)通用和產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研制，推進(jìn)新興和融合領(lǐng)域技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究，完善優(yōu)化國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)等各層級(jí)標(biāo)準(zhǔn)體系。加大知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)力度，引導(dǎo)支持市場(chǎng)主體創(chuàng)造和運(yùn)用知識(shí)產(chǎn)權(quán)。（二）財(cái)稅金融支持研究利用現(xiàn)有財(cái)政資金渠道，優(yōu)化資源配置，加大對(duì)智能傳感器產(chǎn)業(yè)扶持力度。落實(shí)國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知（國(guó)發(fā)200018號(hào)）、國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知（國(guó)發(fā)20114號(hào)）等文件明確的財(cái)稅優(yōu)惠政策。加強(qiáng)產(chǎn)融合作，發(fā)揮國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金及地方性產(chǎn)業(yè)基金的撬動(dòng)作用，鼓勵(lì)社會(huì)資本通過(guò)多種方式進(jìn)入智能傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，引導(dǎo)智能傳感器產(chǎn)業(yè)與金融資本深度合作，在銀行信貸、發(fā)行債券、股權(quán)融資等方面為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供資本支持，形成財(cái)政資金、金融資本、社會(huì)資金多方投入的新格局。（三）人才培養(yǎng)與引進(jìn)鼓勵(lì)高等院校、科研機(jī)構(gòu)根據(jù)需求和自身特色，聯(lián)合公共服務(wù)平臺(tái)和企業(yè)，建設(shè)跨學(xué)科的智能傳感器綜合人才培養(yǎng)基地，為企業(yè)輸送高層次工藝人才和技術(shù)創(chuàng)