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文檔簡介

1、 場效應(yīng)晶體管(場效應(yīng)晶體管(Field Effect Transistor,F(xiàn)ET)是另一類)是另一類重要的微電子器件。這是一種重要的微電子器件。這是一種,又稱,又稱為為。這種器件與雙極型晶體管相比,有以下優(yōu)點。這種器件與雙極型晶體管相比,有以下優(yōu)點 輸入阻抗高;輸入阻抗高; 溫度穩(wěn)定性好;溫度穩(wěn)定性好; 噪聲?。辉肼曅。?大電流特性好;大電流特性好; 無少子存儲效應(yīng),開關(guān)速度高;無少子存儲效應(yīng),開關(guān)速度高; 制造工藝簡單;制造工藝簡單; 各管之間存在天然隔離,適宜于制作各管之間存在天然隔離,適宜于制作 VLSI 。結(jié)型柵場效應(yīng)晶體管結(jié)型柵場效應(yīng)晶體管( J FET )肖特基勢壘柵場效應(yīng)晶體

2、管(肖特基勢壘柵場效應(yīng)晶體管( MESFET )絕緣柵場效應(yīng)晶體管絕緣柵場效應(yīng)晶體管( IGFET 或或 MOSFET ) JFET 和和 MESFET 的工作原理相同。以的工作原理相同。以 JFET 為例,用一為例,用一個低摻雜的半導(dǎo)體作為導(dǎo)電溝道,在半導(dǎo)體的一側(cè)或兩側(cè)制作個低摻雜的半導(dǎo)體作為導(dǎo)電溝道,在半導(dǎo)體的一側(cè)或兩側(cè)制作 PN 結(jié),并加上反向電壓。結(jié),并加上反向電壓。兩種兩種 FET 的不同之處僅在于,的不同之處僅在于,JFET 是利用是利用 PN 結(jié)結(jié)作為控制柵,而作為控制柵,而 MESFET 則是利用金則是利用金- 半結(jié)(肖特基勢壘結(jié))半結(jié)(肖特基勢壘結(jié))來作為控制柵。來作為控制柵

3、。 IGFET 的工作原理略有不同,利用電場能來控制半導(dǎo)體的的工作原理略有不同,利用電場能來控制半導(dǎo)體的表面狀態(tài),從而控制溝道的導(dǎo)電能力。表面狀態(tài),從而控制溝道的導(dǎo)電能力。 根據(jù)溝道導(dǎo)電類型的不同,每類根據(jù)溝道導(dǎo)電類型的不同,每類 FET 又可分為又可分為 和和。 J - FET 的基本結(jié)構(gòu)的基本結(jié)構(gòu)源、漏源、漏 MESFET 的基本結(jié)構(gòu)的基本結(jié)構(gòu) 絕緣柵場效應(yīng)晶體管絕緣柵場效應(yīng)晶體管 按其早期器件的縱向結(jié)構(gòu)按其早期器件的縱向結(jié)構(gòu)又被稱為又被稱為 ,簡稱為,簡稱為 , 但現(xiàn)在這種器件的柵電極實際不一定是金屬,但現(xiàn)在這種器件的柵電極實際不一定是金屬,絕緣絕緣柵柵也不一定也不一定是是氧化物,但氧化

4、物,但仍被習(xí)慣地稱為仍被習(xí)慣地稱為 MOSFET 。 MOSFET 的立體結(jié)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)P 型襯底型襯底 N 溝道溝道 MOSFET 的剖面圖的剖面圖P 型襯底型襯底 當(dāng)當(dāng) VGS VT 時,柵時,柵下的下的 P 型硅表面發(fā)生型硅表面發(fā)生 ,形成連通源、漏區(qū)的,形成連通源、漏區(qū)的 N 型型 ,在在 VDS 作用下產(chǎn)生漏極電流作用下產(chǎn)生漏極電流 ID 。對于恒定的。對于恒定的 VDS ,VGS 越大,越大,溝道中的電子就越多,溝道電阻就越小,溝道中的電子就越多,溝道電阻就越小,ID 就越大。就越大。 所以所以 MOSFET 是通過改變是通過改變 VGS 來控制溝道的導(dǎo)電性,從來控制溝道的導(dǎo)電性,

5、從而控制漏極電流而控制漏極電流 ID ,是一種電壓控制型器件。,是一種電壓控制型器件。 :VDS 恒定時的恒定時的 VGS ID 曲線。曲線。MOSFET 的的轉(zhuǎn)移特性反映了柵源電壓轉(zhuǎn)移特性反映了柵源電壓 VGS 對漏極電流對漏極電流 ID 的控制能力的控制能力。 N 溝道溝道 MOSFET 當(dāng)當(dāng)VT 0 時,稱為時,稱為 ,為,為 。VT 0 時,稱為時,稱為 ,為,為 。IDVGSVT0IDVGSVT0 P 溝道溝道 MOSFET 的特性與的特性與 N 溝道溝道 MOSFET 相對稱,即:相對稱,即: (1) 襯底為襯底為 N 型,源漏區(qū)為型,源漏區(qū)為 P+ 型。型。 (2) VGS 、V

6、DS 的極性以及的極性以及 ID 的方向均與的方向均與 N 溝相反。溝相反。 (3) 溝道中的可動載流子為空穴。溝道中的可動載流子為空穴。 (4) VT 0 時稱為耗盡型時稱為耗盡型(常開型)。(常開型)。 當(dāng)當(dāng) VDS 很小時,溝道就象一個阻值與很小時,溝道就象一個阻值與 VDS 無關(guān)的無關(guān)的 ,這時這時 ID 與與 VDS 成線性關(guān)系,如圖中的成線性關(guān)系,如圖中的 OA 段所示。段所示。 VGS VT 且恒定時的且恒定時的 VDS ID 曲線??煞譃榍€。可分為以下以下 4 段段 隨著隨著 VDS 增大,漏附近的溝道變薄,溝道電阻增大,曲線增大,漏附近的溝道變薄,溝道電阻增大,曲線逐漸下彎

7、。當(dāng)逐漸下彎。當(dāng) VDS 增大到增大到 時,漏端處的時,漏端處的可動電子消失,這稱為溝道被可動電子消失,這稱為溝道被 ,如圖中的,如圖中的 AB 段所示。段所示。 線性區(qū)與過渡區(qū)統(tǒng)稱為線性區(qū)與過渡區(qū)統(tǒng)稱為 ,有時也統(tǒng)稱為,有時也統(tǒng)稱為 。 當(dāng)當(dāng) VDS VDsat 后,溝道夾斷點左移,漏附近只剩下耗盡區(qū)。后,溝道夾斷點左移,漏附近只剩下耗盡區(qū)。這時這時 ID 幾乎與幾乎與 VDS 無關(guān)而保持常數(shù)無關(guān)而保持常數(shù) ,曲線為水平直線,如,曲線為水平直線,如圖中的圖中的 BC 段所示。段所示。 實際上實際上 ID 隨隨 VDS 的增大而略有增大,曲線略向上翹。的增大而略有增大,曲線略向上翹。 當(dāng)當(dāng) VDS 繼續(xù)增大到繼續(xù)增大到 時,漏結(jié)發(fā)生雪崩擊穿,或者漏源時,漏結(jié)發(fā)生雪崩擊穿,或者漏源間發(fā)生穿通,間發(fā)生穿通,ID 急劇增大,如圖中的急劇增大,如圖中的 CD 段所示。段所示。 將各曲線的夾斷點用虛線連接起來,將各曲線

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