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文檔簡介
表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數(shù)目（美國聯(lián)邦標準US Federal Standard 209E） 圖8.1空氣淨化系統(tǒng) 圖8.2HEPA過濾器的概略圖 圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率 圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 圖8.5粒子捕集的方法 圖8.6空氣過濾器之捕集效率 圖8.7三種常用的過濾器構(gòu)造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 (續(xù))圖8.7三種常用的過濾器構(gòu)造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 圖8.8真空泵的分類 圖8.9擴散泵 圖8.10路茲泵的概路圖 圖8.11路茲泵的抽氣原理 圖8.12渦輪分子泵 圖8.13冷凍式幫浦 圖8.14氣體的平衡蒸氣壓 圖8.15空氣壓縮機的概略圖 圖8.16空氣乾燥機的概略圖 圖8.17安全輸送系統(tǒng) 圖8.18(a)西貝克效應(yīng)，(b)皮爾第效應(yīng) 圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系統(tǒng)之作用原理
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