GB/T 14144-2009硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法

犐犆犛２９．０４５

犎８０

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１４１４４—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４１４４—１９９３

硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法

犜犲狊狋犻狀犵犿犲狋犺狅犱犳狅狉犱犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狉犪犱犻犪犾犻狀狋犲狉狊狋犻狋犻犪犾狅狓狔犵犲狀

狏犪狉犻犪狋犻狅狀犻狀狊犻犾犻犮狅狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００６０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜１４１４４—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用ＳＥＭＩＭＦ１１８８１１０５《用紅外吸收法測(cè)量硅中間隙氧原子含量的標(biāo)準(zhǔn)方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＳＥＭＩＭＦ１１８８１１０５相比，主要有如下不同：

———增加了測(cè)量點(diǎn)選取方案；

———標(biāo)準(zhǔn)編寫(xiě)按ＧＢ／Ｔ１．１格式，部分ＳＥＭＩ標(biāo)準(zhǔn)中的章節(jié)進(jìn)行了合并和整理。

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１４１４４—１９９３《硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比，主要有如下變化：

———氧含量測(cè)量范圍進(jìn)行了修訂；

———增加了“測(cè)量?jī)x器”、“術(shù)語(yǔ)”和“干擾因素”章節(jié)；

———增加了采用經(jīng)認(rèn)證的硅中氧含量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對(duì)光譜儀進(jìn)行校準(zhǔn)的內(nèi)容；

———將原標(biāo)準(zhǔn)中“本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于０．１Ω·ｃｍ的硅晶體”改為“本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電

阻率大于０．１Ω·ｃｍ的ｎ型硅單晶和室溫電阻率大于０．５Ω·ｃｍ的ｐ型硅單晶”；

———樣品厚度范圍修改為“０．０４ｃｍ～０．４ｃｍ”。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：峨嵋半導(dǎo)體材料廠。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：楊旭、江莉。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４１４４—１９９３。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜１４１４４—２００９

硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)采用紅外光譜法測(cè)定硅晶體中間隙氧含量徑向的變化。本標(biāo)準(zhǔn)需要用到無(wú)氧參比樣品和一

套經(jīng)過(guò)認(rèn)證的用于校準(zhǔn)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于０．１Ω·ｃｍ的ｎ型硅單晶和室溫電阻率大于０．５Ω·ｃｍ的ｐ型硅

單晶中間隙氧含量的測(cè)量。

本標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量氧含量的有效范圍從１×１０１６ａｔ·ｃｍ－３至硅晶體中間隙氧的最大固溶度。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ１５５７硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法

ＧＢ／Ｔ１４２６４半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

３術(shù)語(yǔ)

ＧＢ／Ｔ１４２６４規(guī)定的及以下術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)：

３．１

色散型紅外光譜儀犱犲狆狉犲狊狊犻狏犲犻狀犳狉犪狉犲犱狊狆犲犮狋狉狅狆犺狅狋狅犿犲狋犲狉

一種使用棱鏡或光柵作為色散元件的紅外光譜儀。它通過(guò)振幅波數(shù)（或波長(zhǎng)）光譜圖獲取數(shù)據(jù)。

３．２

傅立葉變換紅外光譜儀犉狅狌狉犻犲狉狋狉犪狀狊犳狅狉犿犻狀犳狉犪狉犲犱狊狆犲犮狋狉狅狆犺狅狋狅犿犲狋犲狉

一種通過(guò)傅立葉變換將由干涉儀得到的干涉譜圖轉(zhuǎn)換為振幅波數(shù)（或波長(zhǎng)）光譜圖來(lái)獲取數(shù)據(jù)的

紅外光譜儀。

３．３

參比光譜狉犲犳犲狉犲狀犮犲狊狆犲犮狋狉狌犿

參比樣品的光譜。當(dāng)用雙光束光譜儀測(cè)量時(shí)，它可以通過(guò)直接將參比樣品放入樣品光路，讓參比光

路空著獲得；在用單光束光譜儀測(cè)量時(shí)，它可以通過(guò)由紅外光路中獲得的參比樣品的光譜計(jì)算扣除背景

光譜后獲得。

３．４

樣品光譜狊犪犿狆犾犲狊狆犲犮狋狉狌犿

測(cè)試樣品的光譜。當(dāng)用雙光