GB/T 26251-2010氟和氟氮混合氣

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２６２５１—２０１０

氟和氟氮混合氣

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２０１１０１１４發(fā)布２０１１０５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜２６２５１—２０１０

前言

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中核紅華特種氣體股份有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、山東銳華氟

業(yè)有限公司、核工業(yè)理化工程研究院、西南化工研究設(shè)計院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：杜偉華、賀國武、李建浩、李春曉、倪志強、鄧建平、周鵬云。

Ⅰ

書

犌犅／犜２６２５１—２０１０

氟和氟氮混合氣

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氟和氟氮混合氣的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全的要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電解無水氟化氫并經(jīng)過純化工藝處理后獲得的氟。氟用于制備六氟化鈾、六氟化硫、

三氟化硼、二氟化銀、三氟化鈷和三氟化鎂等氟化物，也可用于激光氣或塑料氟化處理等領(lǐng)域。

氟氮混合氣制備采用壓力法?；旌蠚庵饕糜谄嚒⒅扑幑I(yè)中材料氟化處理。

氟的分子式：Ｆ２。

氟的相對分子質(zhì)量：３７．９９６８０６４（按２００７年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９７９純氮、高純氮和超純氮

ＧＢ／Ｔ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特種氣體儲存期規(guī)范

《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》（國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布，２０００年）

３技術(shù)要求

３．１氟的技術(shù)要求應(yīng)符合表１的規(guī)定。

表１氟的技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

－２

氟（Ｆ２）純度（體積分數(shù)）／１０≥９９．０

－２

氧（Ｏ２）＋氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０≤０．４５

－２

四氟化碳（ＣＦ４）含量（體積分數(shù)）／１０≤０．０５

氟化氫（ＨＦ）含量（體積分數(shù)）／１０－２≤０．５０

３．２氟氮混合氣的技術(shù)要求應(yīng)符合表２的規(guī)定。

表２氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

－２

氟（Ｆ２）含量（體積分數(shù)）／１０