冷等離子體改性設備

冷等離子體改性設備PART1.

真空冷凍干燥機工作原理用途操作步驟操作中注意事項操作中的異常情況及處理方法1.1冷等離子體改性設備的工作原理等離子體

(中文)=PLASMA(英文)=電漿(臺灣)等離子體的發(fā)現(xiàn):1879、英國物理學家、WilliamCrookes----物質(zhì)第四狀態(tài)1929、美國化學物理學家、Langmuir----等離子體等離子體定義：部分或是全部電離的氣體；主要包括：電子、離子、中性基團、分子、光子1.1冷等離子體改性設備的工作原理等離子體成分,對外呈現(xiàn)電中性物質(zhì)的第四種形態(tài)1.1冷等離子體改性設備的工作原理在減壓（1.33~1330Pa）和高頻電場下發(fā)生輝光放電，少量氣體分子被電離產(chǎn)生高溫電子，穿梭在常溫或接近常溫的氣體中發(fā)生碰撞，此時電子溫度高達104~105K，而氣體的離子和分子的溫度與環(huán)境相同，遠遠低于電子的溫度，這種非平衡體系稱為冷等離子體。非平衡性對等離子體化學與工藝過程非常重要。這意味著：一方面電子有足夠高的能量使反應物分子激發(fā)、離解和電離；另一方面反應體系又得以保持低溫乃至接近室溫。1.1冷等離子體改性設備的工作原理1.1冷等離子體改性設備的工作原理1.1冷等離子體改性設備的工作原理冷等離子體改性設備的組成示意圖：真空反應室。真空系統(tǒng)及測量設備。充氣系統(tǒng)及流量測量設備。放電系統(tǒng)和射頻電源。設備電路控制系統(tǒng)。1.1冷等離子體改性設備的工作原理冷等離子體改性設備的結(jié)構真空反應室電阻真空計射頻電源射頻調(diào)節(jié)裝置轉(zhuǎn)子流量計及真空調(diào)節(jié)定時器（蜂鳴）真空泵啟動/關停按鈕真空泵真空泵及卡箍的結(jié)構1.1冷等離子體改性設備的工作原理1.2冷等離子體改性設備的用途ApplicationApplicationforUs1.2冷等離子體改性設備的用途ApplicationforUs1.2冷等離子體改性設備的用途HydrophobicModification1.2冷等離子體改性設備的用途HydrophobicModification1.2冷等離子體改性設備的用途1.3操作步驟（FromInstruction）1.3操作步驟（FromInstruction）1.3操作步驟（OurExperience）開電源，打開總開關。將樣品放置在真空反應室，將裝有改性劑的具塞單口燒瓶與設備單體入口連接。1.3操作步驟（OurExperience）確認各外接氣閥為關閉狀態(tài)（包括活塞）；檢查密封圈完好且無雜物的前提下，罩上反應室金屬面罩；打開真空計、真空泵；等待真空度下降至實驗所需的要求，并確保真空泵運行過程中無異響。1.3操作步驟（OurExperience）按Uf燈預熱電極（完畢后Ua綠燈亮）；旋開單體瓶活塞；按下板壓開關綠色按鈕（Ua綠燈）；1.3操作步驟（OurExperience）緩緩調(diào)節(jié)Ua功率調(diào)節(jié)按扭，觀察功率計，把功率調(diào)至真空室氣體起輝，然后反復調(diào)節(jié)匹配電容C1和C2，直至反射功率最?。ㄇ屑煞瓷涔β侍螅駝t易壞元器件）。1.3操作步驟（OurExperience）按下計時器開關綠色按鈕，計時器開始計時。（實驗前，必須預先設定好工作時間）1.3操作步驟（OurExperience）工作時間到，計時器報警。逆時針調(diào)節(jié)板壓電位器旋鈕Ua到最低位置。按下板壓開關紅色按鈕切斷板壓電源，再按下橙色燈絲按鈕。（如果連續(xù)工作不必關閉橙色燈絲按鈕）關閉真空。打開放氣閥門，緩慢放氣，當反應室內(nèi)處于大氣壓后，再打開反應室蓋板，取出實驗樣品。1.4操作中注意事項實驗過程中注意做好防毒措施，盡量在有人知曉的情況下完成實驗，處理后的工件不可用手觸摸。氣氛置換時必須對腔體充氣5～10分鐘，清除置換前的殘留氣體。射頻源的操作和氣源供給的操作必須由二人同時完成，不可一人單獨操作。設備不工作時，真空室必須保持真空狀態(tài)（每隔一周抽真空到本底）。設備放置場所必須保持清潔，不可掃出浮塵。真空室內(nèi)不可放置金屬工件（除電極外）。為防止功率計表頭損壞，實驗開始時必須使功率計量程Pf位于2000檔，然后再根據(jù)實驗實際工作量程換檔。真空泵的使用請按規(guī)執(zhí)行。1.5操作中的異常情況及處理方法真空度達不到正常工作要求檢查真空泵與主機之間連接，卡箍是否正確卡緊。檢查有機玻璃罩下端平面是否清潔