GB/T 32650-2016電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素

ICS31030

L90.

中華人民共和國國家標準

GB/T32650—2016

電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中

痕量元素

Determiningthecontentoftraceelementsinarenaceousquartzbyinductively

couledlasmamasssectrometrICP-MS

pppy()

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32650—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位國家硅材料深加工產品質量監(jiān)督檢驗中心中國電子技術標準化研究院東?？h

:、、

產品質量監(jiān)督檢驗所江蘇太平洋石英股份有限公司

、。

本標準主要起草人李運強薄雷明馮亞彬管琪許振午武為民周文梅

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32650—2016

電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中

痕量元素

警告———使用本標準的人員應有正規(guī)實驗室工作的實踐經驗本標準并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責任采取適當?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家有關法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本標準規(guī)定了石英砂中鋁鈣鐵鈉鉀鋰鎂鉻鎳硼錳銅鈦痕量元素的測定方法

、、、、、、、、、、、、。

本標準適用于石英砂中鋁鈣鐵鈉鉀鋰鎂鉻鎳硼錳銅鈦痕量元素含量的測定其他元

、、、、、、、、、、、、。

素含量的測定可參照本標準執(zhí)行

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法

GB/T6682

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

3方法原理

試樣用氫氟酸消解在硝酸介質中進行電感耦合等離子質譜儀測定電感耦合等離子質譜儀由離

,。

子源和質譜儀兩個部分構成試樣溶液經過霧化由載氣送入離子源炬焰中經過蒸發(fā)解離原子化電

。,、、、

離等過程轉化為帶正電荷的離子經過采集系統(tǒng)進入質譜儀質譜儀根據(jù)質荷比進行分離對于一定

,,,。

的質荷比質譜積分面積與進入質譜儀中的離子數(shù)成正比試樣的濃度與質譜積分面積成正比通過與

,。,

標準系列比較定量

。

4干擾因素

41在試驗過程中通常存在雙原子離子多原離子基體效應背景噪音元素間的干擾交叉污染和儀

.、、、、、

器漂移等因素的影響

。

42取樣制樣及分析過程中試劑的純度設備的潔凈度和操作過程中引入的污染也會影響測試結果

.、、。

5試劑和材料

51超純水符合中實驗室用水一級規(guī)格同時電阻率大于

.:GB/T6682,18MΩ·cm。

52氫氟酸質量分數(shù)為級高純試劑

.:40%,MOS。

53硝酸質量分數(shù)為級高純試劑

.:65%,MOS。

54硝酸溶液取硝酸慢慢加入超純水中

.(2+98):20mL,980mL。

55鋁鈣鐵鈉