GB/T 34879-2017產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)光學(xué)共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定導(dǎo)則

ICS1704030

J04..

中華人民共和國國家標準

GB/T34879—2017

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS

()

光學(xué)共焦顯微鏡計量特性及測量

不確定度評定導(dǎo)則

GeometricalroductsecificationsGPS—Metroloical

pp()g

characteristicsandguidetouncertaintyofmeasurement

foropticalconfocalmicroscopes

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34879—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC240)。

本標準起草單位哈爾濱工業(yè)大學(xué)中機生產(chǎn)力促進中心中國計量科學(xué)研究院北京銳馳恒業(yè)儀器

:、、、

科技有限公司

。

本標準主要起草人劉儉李夢周明翠新陳剛施玉書譚久彬王偉波劉辰光王宇航李亮

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34879—2017

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范GPS

()

光學(xué)共焦顯微鏡計量特性及測量

不確定度評定導(dǎo)則

1范圍

本標準描述了光學(xué)共焦顯微鏡在宏觀或微觀三維表面形狀測量中的計量特性并規(guī)定了測量不確

,

定度評定的橫向和軸向測量結(jié)果的示值讀取方法

。

本標準適用于工業(yè)測量光學(xué)共焦顯微鏡

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第部分表面層析測量方法

ISO25178-600(GPS):600:

的計量特性

(Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part600:Metrologi-

calcharacteristicsforareal-topographymeasuringmethods)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

共焦顯微術(shù)confocalmicroscopyCM

;

采用約束性照明和約束性探測借助軸向掃描獲得光學(xué)層析圖像并通過提取軸向最大信號位置確

,,

定區(qū)域樣品表面形狀的測量方法

。

注實現(xiàn)照明與探測約束的掩模圖案可能為單點多點網(wǎng)格或狹縫等任一能夠產(chǎn)生層析特性的掩模圖案

:、、。

32

.

照明模式illuminationpattern

使用特定圖形結(jié)構(gòu)限定樣品被照明范圍的照明方式

。

33

.

探測模式detectionpattern

使用特定圖形結(jié)構(gòu)限定探測器接收樣品成像信號區(qū)域范圍的探測方式

。

34

.

光學(xué)層析能力opticalsectioningstrength

共焦顯微鏡阻止離焦光信號被探測器接收的程度

。

35

.

平面掃描in-planescanning

在x-平面內(nèi)獲得共焦層析圖像的機械或光學(xué)位移

y。

36

.

軸向掃描axialscan