GB/T 35305-2017太陽能電池用砷化鎵單晶拋光片

ICS29045

H83.

中華人民共和國國家標準

GB/T35305—2017

太陽能電池用砷化鎵單晶拋光片

Monocrystallinegalliumarsenidepolishedwafersforsolarcell

2017-12-29發(fā)布2018-07-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

太陽能電池用砷化鎵單晶拋光片

GB/T35305—2017

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

201712

*

書號

:155066·1-58503

版權專有侵權必究

GB/T35305—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司云南中科鑫圓晶體材料有限公司中國科學院

:、、

半導體所

。

本標準主要起草人惠峰普世坤呂春富董汝昆

:、、、。

Ⅰ

GB/T35305—2017

太陽能電池用砷化鎵單晶拋光片

1范圍

本標準規(guī)定了太陽能電池用砷化鎵單晶拋光片的要求試驗方法檢驗規(guī)則以及標志包裝運輸

、、、、、

貯存和質量證明書

。

本標準適用于太陽能電池用砷化鎵單晶拋光片以下簡稱砷化鎵拋光片

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

硅片厚度和總厚度變化測試方法

GB/T6618

硅片彎曲度測試方法

GB/T6619

硅片翹曲度非接觸式測試方法

GB/T6620

硅片表面平整度測試方法

GB/T6621

硅拋光片表面質量目測檢驗方法

GB/T6624

硅及其他電子材料晶片參考面長度測量方法

GB/T13387

半導體材料術語

GB/T14264

硅拋光片表面顆粒測試方法

GB/T19921

太陽能電池用砷化鎵單晶

GB/T25075

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

硅片平坦表面的表面粗糙度測量方法

GB/T29505

硅片邊緣輪廓檢驗方法

YS/T26

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4要求

41分類

.

411砷化鎵拋光片按導電類型分為型和型兩種

..NP。

412砷化鎵拋光片按直徑大小分為???三種

..50.8mm、76.2mm、100.0mm。

42理化及電學性能

.

砷化鎵拋光片的電阻率載流子濃度晶向及晶向偏離度位錯密度應符合的規(guī)定

、、、GB/T25075