GB/T 36066-2018潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境檢測(cè)技術(shù)分析與應(yīng)用

ICS1304035

C70..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36066—2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

檢測(cè)技術(shù)分析與應(yīng)用

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Analysisandapplicationoftesttechnology

2018-03-15發(fā)布2018-07-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T36066—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

檢測(cè)項(xiàng)目與相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域

4………………2

檢測(cè)技術(shù)要求

5……………3

檢測(cè)儀器配置

6……………4

檢測(cè)工況分析

7……………7

附錄資料性附錄壓差的調(diào)試和測(cè)試

A()………………9

附錄資料性附錄自?xún)魴z測(cè)

B()…………10

附錄資料性附錄已裝過(guò)濾系統(tǒng)檢漏

C()………………11

參考文獻(xiàn)

……………………15

GB/T36066—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中電投工程研究檢測(cè)評(píng)定中心蘇州市計(jì)量測(cè)試研究所深圳市億天凈化技術(shù)有

:、、

限公司中天道成蘇州潔凈技術(shù)有限公司常州祥明智能動(dòng)力股份有限公司蘇州凈化工程安裝有限

、()、、

公司蘇州市華宇凈化設(shè)備有限公司蘇州工業(yè)園區(qū)嘉合環(huán)境技術(shù)工程有限公司中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)北京

、、、、

世源希達(dá)工程技術(shù)有限公司北京希達(dá)建設(shè)監(jiān)理有限責(zé)任公司上海德威凈化設(shè)備工程有限公司深圳

、、、

新科特種裝飾工程公司中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)

、。

標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王堯張利群陳霖新張俊峰楊子強(qiáng)蔣乃軍夏群艷姜皓遐張敏高正徐火炬

:、、、、、、、、、、、

石小雷蘇鋼民王鴻明王大千殷曉冬譚軍王樣楊新宇

、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36066—2018

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

檢測(cè)技術(shù)分析與應(yīng)用

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測(cè)要求基本儀器配置和技術(shù)要求

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)分析與應(yīng)用

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.1—20101:

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

單向流unidirectionalairflow

通過(guò)潔凈區(qū)整個(gè)斷面風(fēng)速穩(wěn)定大致平行的受控氣流

、、。

注這種氣流可定向清除潔凈區(qū)的粒子

:。

32

.

非單向流non-unidirectionalairflow

送入潔凈區(qū)的空氣以誘導(dǎo)方式與區(qū)內(nèi)空氣混合的一種氣流分布

。

33

.

離散粒子計(jì)數(shù)器discrete-particlecounterDPC

;

可顯示并記錄確定體積空氣中離散粒子數(shù)量和直徑可辨別粒徑的儀器

()。

34

.

測(cè)試氣溶膠testaerosol

具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和或液體粒子的氣態(tài)懸浮物

()。

35

.

氣溶膠發(fā)生器aerosolgenerator

能以加熱