GB/T 45468-2025微束分析巖石微孔隙聚焦離子束-掃描電鏡三維成像分析方法

ICS7104099

CCSG.04.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T45468—2025

微束分析巖石微孔隙聚焦離子束-掃描

電鏡三維成像分析方法

Microbeamanalysis—FIB-SEMimagingandanalysismethodfor3Dmicro-pore

structureofrocksample

2025-03-28發(fā)布2025-10-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T45468—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

方法原理

4…………………2

儀器軟件及材料

5、…………………………3

試樣制備

6…………………4

分析步驟

7…………………4

數(shù)據(jù)處理

8…………………6

分析報(bào)告

9…………………10

附錄資料性頁巖試樣自動序列切片成像示例

A()……………………12

附錄資料性巖石微孔隙聚焦離子束掃描電鏡三維成像分析的報(bào)告示例

B()-……13

參考文獻(xiàn)

……………………16

Ⅰ

GB/T45468—2025

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位中國石油天然氣股份有限公司勘探開發(fā)研究院中國石油天然氣股份有限公司規(guī)

:、

劃總院上海大學(xué)中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所中國石油化工股份有限公司石油勘探開發(fā)研究

、、、

院無錫石油地質(zhì)研究所

。

本文件主要起草人王曉琦金旭孫亮陳文霞楊繼進(jìn)吳建國朱如凱吳松濤鮑芳張琳丁立華

:、、、、、、、、、、、

焦航

。

Ⅲ

GB/T45468—2025

微束分析巖石微孔隙聚焦離子束-掃描

電鏡三維成像分析方法

1范圍

本文件規(guī)定了用聚焦離子束掃描電鏡對致密巖石微孔隙進(jìn)行三維成像的方法

-。

本文件適用于泥巖頁巖致密碳酸鹽巖致密砂巖和煤巖等巖石的微納米級孔隙

、、、50nm~20μm

分析其他地質(zhì)樣品參照執(zhí)行

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語

GB/T23414

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

GB/T27788

微束分析致密巖石微納米級孔隙結(jié)構(gòu)計(jì)算機(jī)層析成像分析方法

GB/T38531—2020(CT)

聚焦離子束系統(tǒng)分析方法通則

JY/T0583—2020

巖石制片方法

SY/T5913

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義

GB/T23414、GB/T27788、GB/T38531—2020JY/T0583—2020

適用于本文件

。

31

.

聚焦離子束系統(tǒng)focusedionbeamsystemFIB

;

采用聚焦的離子束對試樣表面進(jìn)行轟擊并由計(jì)算機(jī)控制離子束的掃描或加工軌跡步距駐留時(shí)

,、、

間和循環(huán)次數(shù)以實(shí)現(xiàn)對材料的成像刻蝕誘導(dǎo)沉積和注入的分析加工系統(tǒng)

,、、。

來源有修改

[:JY/T0583—2020,2.1,]

32

.

聚焦離子束-掃描電鏡focusedionbeam-scanningelectronmicroscopeFIB-SEM

;

具有及掃描電子顯微成像系統(tǒng)的微納加工與成像儀器

FIB