TSV及2.5D封裝中試線提升改造項目環(huán)評資料環(huán)境影響

一、建設(shè)項目基本情況建設(shè)項目名稱TSV及2.5D封裝中試線提升改造項目項目代碼建設(shè)單位聯(lián)系人陳****建設(shè)地點江蘇省(自治區(qū))無錫市新吳縣(區(qū))新安街道景賢路2號國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類別[C3973]集成電路制術(shù)研究和試驗發(fā)展建設(shè)項目行業(yè)類別組裝的”;專業(yè)實驗室、研發(fā)(試驗)基地”危險危廢的除外)”建設(shè)性質(zhì)口新建(遷建)□改建口技術(shù)改造建設(shè)項目申報情形?首次申報項目□不予批準(zhǔn)后再次申報項目□超五年重新審核項目□重大變動重新報批項目項目審批(核準(zhǔn)/備案)部門 (選填)無錫高新區(qū)(新吳區(qū))數(shù)據(jù)局項目審批(核準(zhǔn)/備案)文號(選填)錫新數(shù)投備[2025]430號總投資(萬環(huán)保投資(萬元)施工工期3個月是否開工建設(shè)口是：用地(用海)面積(m2)0(依托現(xiàn)有，現(xiàn)有占地面積情況行)》表1專項評價設(shè)置原則表要求，本項目有毒有害和易燃易爆危險物質(zhì)存儲量超過臨界量，需設(shè)置環(huán)境風(fēng)險專項評價。詳見表1-1。類別大氣標(biāo)的建設(shè)項目無的除外);新增廢水直排的污水集中處理廠無建設(shè)項目需設(shè)置生態(tài)染類建設(shè)項目無直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項目無況規(guī)劃名稱：無錫(太湖)國際科技園控制性詳細(xì)審批機(jī)關(guān)：無錫市人民政府審批時間：2023年9月8日規(guī)劃環(huán)境影響況規(guī)劃名稱：《無錫(太湖)國際科技園環(huán)境影響報告書》;審查機(jī)關(guān)：無錫市環(huán)境保護(hù)局；審查文件：關(guān)于無錫(太湖)國際科技園環(huán)境影響報告書的批復(fù)；審查文號：錫環(huán)管[2009]67號；規(guī)劃名稱：《無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)境影響跟蹤評價報告書》;審查機(jī)關(guān)：無錫高新區(qū)(新吳區(qū))安全生產(chǎn)監(jiān)督管理和環(huán)境保護(hù)局；審查文件：關(guān)于無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)境影響跟蹤評價報告書的審核意見；審查文號：錫環(huán)管新[2017]3號本項目位于江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路2號，根技園控制性詳細(xì)規(guī)劃科創(chuàng)區(qū)-孵化區(qū)管理單元動態(tài)更新》中規(guī)劃圖(附圖3),本項目所在區(qū)域規(guī)劃為“生產(chǎn)研發(fā)用地+科研設(shè)計用地”,本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)研發(fā)及封裝測試項目，符合項目所在地土地利用規(guī)劃。本項目位于江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路2號，位園范圍內(nèi)。根據(jù)《無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)境影響跟蹤評價報告書》(錫環(huán)管新[2017]3號),“太科園產(chǎn)業(yè)定位為以IT設(shè)計、軟件開發(fā)設(shè)計、創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)等自主創(chuàng)新的高科技產(chǎn)業(yè)，以及服務(wù)于高科技產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)代服務(wù)業(yè)”,本項目主要為半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)研發(fā)及封裝測試項目，屬于自主創(chuàng)新的高科技產(chǎn)業(yè)，符合科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位，且不在太科園產(chǎn)業(yè)發(fā)展負(fù)面清單內(nèi)，與規(guī)劃環(huán)評相符。本項目與無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)評批復(fù)(錫環(huán)管[2009]67號)的相符性詳見表1-2。要點持續(xù)改善科技園總導(dǎo)向，提升項目檔次半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)研發(fā)及封引進(jìn)項目，不得引進(jìn)非產(chǎn)業(yè)定位方向和物的企業(yè)和項目，不屬于生產(chǎn)工藝及設(shè)備落后項目，本項目經(jīng)采取相應(yīng)風(fēng)險防范措施及應(yīng)急措施后環(huán)境風(fēng)險可接受。本項目將嚴(yán)格執(zhí)行建設(shè)項目合理規(guī)劃科技園布局，推進(jìn)區(qū)內(nèi)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整設(shè)置衛(wèi)生防護(hù)距離為科研廠米范圍形成的包絡(luò)線，根據(jù)周圍環(huán)境圖，衛(wèi)生防護(hù)距離范圍內(nèi)無環(huán)境敏感保護(hù)目標(biāo)。善科技園設(shè)施建設(shè)本項目排水實施“雨污分流、氮磷)經(jīng)處理后和生活污水一并接管太湖新城污水處理廠集中處理，尾水排入京杭運本項目加熱使用電加熱。項目處理措施處理后達(dá)標(biāo)排放，嚴(yán)固廢暫存場所。危險固廢擬委托相應(yīng)的資質(zhì)單位處置。設(shè)//風(fēng)險的防范和應(yīng)急立風(fēng)險防范體系。本項目新增的廢水量在太湖新城污水處本項目廢水接管處理的需求。經(jīng)對照可知，本項目的建設(shè)符合《關(guān)于無錫(太湖)國際科技園環(huán)境影響報告書的批復(fù)》(錫環(huán)管[2009]67號)的要求。②與《關(guān)于無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)境影響跟蹤評價報告書的審核意見》(錫環(huán)管新[2017]3號)相符性根據(jù)《關(guān)于無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)境影響跟蹤評價報告書的審核意見》(錫環(huán)管新[2017]3號),本項目與規(guī)劃環(huán)評結(jié)論和審查意見的相符性分析見表1-3?！板a環(huán)管新[2017]3號”要求一區(qū)原規(guī)劃至高浪路，總用地面積23.14km2。19.868km2,其他為水域、文物保護(hù)復(fù)相關(guān)要求設(shè)計用地”,本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品技園土地利用規(guī)劃。技產(chǎn)業(yè)，以及服務(wù)于高科技產(chǎn)業(yè)的本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)與科技產(chǎn)業(yè)，符合科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定由無錫益多環(huán)保熱電有限公司集中供熱，污水排入太湖新城污水處本項目生產(chǎn)過程加熱使用電加熱；均接管進(jìn)入太湖新城污水處理廠對園區(qū)建設(shè)環(huán)境管理要求和意見(一)園區(qū)位處太湖一級保護(hù)區(qū)位于新吳區(qū)的上風(fēng)向，環(huán)境較為敏感，園區(qū)后續(xù)引進(jìn)項目應(yīng)嚴(yán)格限制廢氣污染物、廢水污染物排放量大的項目，禁止引進(jìn)排放含氮磷廢水的項目，重視節(jié)水及中水回用。園區(qū)一步優(yōu)化園區(qū)用地布局及產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，提高單位土地利用率。污水處理廠核定的總量內(nèi)平衡；同時本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)與封裝測試項目，符合《無錫(太本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)與“生產(chǎn)研發(fā)用地+科研設(shè)計用地”,制性詳細(xì)規(guī)劃科創(chuàng)區(qū)-孵化區(qū)管理單元動態(tài)更新》中用地規(guī)劃要求及科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位。(三)對上爭取，盡快啟動益多環(huán)保熱電提標(biāo)改造工作，確保各項污染/年底前完成入?yún)^(qū)企業(yè)排污口規(guī)范化整治、廢水事故池設(shè)置、風(fēng)險防范應(yīng)急預(yù)案編制、規(guī)范危險廢物暫存場所等整改措施。設(shè)置、風(fēng)險防范應(yīng)急預(yù)案編制、規(guī)(五)如不能按照相關(guān)計劃按時完/影響跟蹤評價報告書的審核意見》(錫環(huán)管新[2017本項目位于江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路2號，根據(jù)《省政府關(guān)于印發(fā)江蘇省國家級生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃的通知》(蘇政發(fā)[2018]74號)中《江蘇省國家級生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》及《省政府關(guān)于印發(fā)江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃的通知》(蘇政發(fā)[2020]1號)中《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃》中“無錫市生態(tài)空間保護(hù)區(qū)域名錄”,距離最近的國家級生態(tài)保護(hù)紅線-貢湖錫東飲用水水源保護(hù)區(qū)4.3km,距離最近的生態(tài)空間管控區(qū)域-太湖(無錫市區(qū))重要保護(hù)省級濕地公園4.3km(見附圖6),具體情況如下表：間保護(hù)區(qū)域名范圍總面積(平方公里)國家級貢湖錫東飲用水水源保護(hù)區(qū)無錫市區(qū)水源水質(zhì)保護(hù)以取水口為中心，半徑500米以內(nèi)的2500米范圍的水域和東太湖高速公路以南的陸域/太湖 (無錫市區(qū))重要保護(hù)區(qū)無錫市區(qū)保護(hù)//無錫太港省級濕地公園區(qū)保護(hù)無錫太湖大規(guī)劃中確定的范圍(包括濕地保育區(qū)區(qū)等)。因此，項目選址符合《江蘇省國家級生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》、《江蘇省生態(tài)空根據(jù)《江蘇省2023年度生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控動態(tài)更新》,無錫市共劃定環(huán)境管控單元243個，包括優(yōu)先保護(hù)單元99個、重點管控單元91個和一般管控單元53實施分類管控。優(yōu)先保護(hù)單元，指以生態(tài)環(huán)境保護(hù)為主的區(qū)域，包括生態(tài)保護(hù)紅線和生態(tài)空間管控區(qū)域。重點管控單元，指涉及水、大氣、土壤、自然資源等資源環(huán)境要素重點管控的區(qū)域，主要包括人口密集的中心城區(qū)和各級各類產(chǎn)業(yè)集聚的工業(yè)園區(qū)(工業(yè)集中區(qū))。一般管控單元，指除優(yōu)先保護(hù)單元、重點管控單元以外的其他區(qū)域，銜接街道(鄉(xiāng)鎮(zhèn))邊界形成管控單元。以環(huán)境管控從空間布局約束、污染物排放管控、環(huán)境風(fēng)險防控和資源利用效率等方面明確準(zhǔn)入、限制和禁止的要求，建立無錫市市域生態(tài)環(huán)境管控要求和本項目位于江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路2號，根據(jù)《江蘇省生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控綜合查詢報告書》(報告編號：20241114151158),本區(qū)(新吳區(qū))(環(huán)境管控單元編碼：ZH32021420168),位于重點管控單元(見是否相空間布局約束(1)各類開發(fā)建設(shè)活動應(yīng)符合無放管控本項目新增的廢氣在新吳區(qū)范項目將加強(qiáng)各類污染物防治措防控資源效率業(yè)用水。(DB32/3747-2020)表2中單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量要求。由上表可見，本項目符合《江蘇省2023年度生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控動態(tài)更中生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入管控要求。根據(jù)《無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報(2023年度)》:準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行年度評價，所轄六項指標(biāo)中，細(xì)顆粒物、可吸入顆粒物、二氧化氮、二氧化硫和一氧化碳濃度均達(dá)標(biāo)，臭氧濃度均未達(dá)標(biāo)，因此判定為不達(dá)標(biāo)根據(jù)《無錫市大氣環(huán)境質(zhì)量限期達(dá)標(biāo)規(guī)劃(2018～20能源結(jié)構(gòu)調(diào)整，推進(jìn)熱點整合，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)和布局；提高各行業(yè)清潔化生產(chǎn)水平，全面執(zhí)行大氣污染物特別排放限值，完成重點企業(yè)顆粒物無組織排放深度治理，從化工、電子(半導(dǎo)體)、涂裝等工業(yè)行業(yè)挖掘VOCs減排潛力，完成重點行業(yè)低VOCs含量原輔料替代目標(biāo)；以港口碼頭和堆場為重點提高揚塵污染控制水平；促進(jìn)PM2.5和臭氧協(xié)同控制，推進(jìn)區(qū)域聯(lián)防聯(lián)控等措施，環(huán)境空氣質(zhì)量在2025年實現(xiàn)全面達(dá)標(biāo)。納污水體京杭運河水質(zhì)監(jiān)測斷面各污染物濃度均滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)IV類標(biāo)準(zhǔn)要求。根據(jù)《無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報(2023年度)》,全市聲環(huán)境總體較晝間和夜間環(huán)境質(zhì)量基本保持穩(wěn)定，區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量狀況良本項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)有效的處理設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)排放，對周圍空氣質(zhì)量影響較小，大氣污染物排放總量在新吳區(qū)范圍內(nèi)平衡；本項目經(jīng)處理后的生產(chǎn)廢水(不含氮磷)與經(jīng)化糞池預(yù)處理后的生活污水一同接管太湖新城污理廠集中處理；各類噪聲設(shè)備經(jīng)廠房隔聲、距離衰后達(dá)標(biāo)排放；項目產(chǎn)生的固廢分類收集、妥善處置。因此，本項目符合項目所在地環(huán)境本項目位于無錫市新吳區(qū)景賢路2號，在原有廠房內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)，位于無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃范圍內(nèi)，主要的能源消耗為水和電。本項目用水水源來自市政管網(wǎng)，用電由市政供電系統(tǒng)供電，能滿足本項目的用水和用電需求，不會達(dá)到資源利用上線。本項目位于無錫市新吳區(qū)景賢路2號，根據(jù)《無錫(太湖)國際科技園規(guī)劃環(huán)境影響跟蹤評價報告書》(錫環(huán)管[2009]67號)中提出的相關(guān)限制條件，本項目區(qū)域環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單相符性分析具體情況見下表：本項目1(2013年本)》等國家和地方相關(guān)產(chǎn)業(yè)年本)》(國家發(fā)展和改革委員會令第7號)中的限制類和淘汰類項目；不屬于《無錫市制造業(yè)轉(zhuǎn)型發(fā)展指導(dǎo)目錄(2012)年本》中的鼓勵類；亦不屬于其它相關(guān)法律法規(guī)要求淘汰和限制的產(chǎn)2選址應(yīng)符合城鄉(xiāng)總體規(guī)劃、土地利用總體規(guī)劃、環(huán)境保護(hù)規(guī)劃和其他相關(guān)規(guī)劃合生態(tài)紅線區(qū)域管控規(guī)定。本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)與封裝測園控制性詳細(xì)規(guī)劃科創(chuàng)區(qū)-孵化區(qū)管理單元動態(tài)更新》中規(guī)劃圖，本項目所在亦符合《江蘇省國家級生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)3減量替代，其他主要污染物排放總量指標(biāo)與可用于建設(shè)項目指標(biāo)總量實行等量總量控制要求。本項目新增廢氣在新吳區(qū)區(qū)域內(nèi)按照要求進(jìn)行削減替代，污水4含汞、砷、鎘、鉻、鉛等重金屬污染物以及持久性有機(jī)污染物的項目，以及其他與規(guī)劃產(chǎn)業(yè)定位或用地性質(zhì)不相符的項目；現(xiàn)有工業(yè)企業(yè)應(yīng)按要求逐步關(guān)停本項目為擴(kuò)建項目，不屬于工業(yè)生產(chǎn)項目，不屬于使用溶劑型涂料(油漆),汞、砷、鎘、鉻、鉛等重金屬污染物以半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)與封裝測試項目，的土地利用規(guī)劃，亦符合太科園規(guī)劃產(chǎn)5發(fā)項目，如P3、P4生物安全實驗室、轉(zhuǎn)本項目不設(shè)置P3、P4生物安全實驗室、重的研發(fā)項目。6禁止新建、擴(kuò)建燃燒原(散)煤、重油、本項目不屬于燃燒原(散)煤、重油、用各種可燃廢物的設(shè)施和裝置的項目。7新、擴(kuò)建環(huán)境敏感建筑(住宅、學(xué)校、醫(yī)院等)應(yīng)退讓交通設(shè)施(鐵路、城市軌道交通、高架快速道路、高速公路、本項目不屬于環(huán)境敏感建筑(住宅、學(xué)8道路交通項目在規(guī)劃選址階段應(yīng)充分比片居住區(qū)等環(huán)境保護(hù)敏感目標(biāo)。確實無小影響。涉及生態(tài)紅線的，需按規(guī)定征9閉，并對廢氣進(jìn)行收集處理，按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求設(shè)置足夠的衛(wèi)生防護(hù)距離；新建地面污水提升泵站，應(yīng)以集水池、泵房外邊緣為界設(shè)置不低于50米的衛(wèi)生防護(hù)場、賽馬場項目，以及黨政機(jī)關(guān)(含國(基地)和各類具有住宿、會議、餐飲本項目不屬于別墅類房地產(chǎn)開發(fā)、高爾國有企事業(yè)單位)新建、改擴(kuò)建培訓(xùn)中心(基地)和各類具有住宿、會議、餐居民住宅樓等非商用建筑、未設(shè)立配套發(fā)小區(qū)，新、擴(kuò)建可能產(chǎn)生噪聲、油煙及異味等污染的商業(yè)用房應(yīng)獨立于住宅照規(guī)劃設(shè)計要求配套的可能產(chǎn)生環(huán)境噪和設(shè)施，與相鄰最近的居民住宅邊界的不得引進(jìn)排放重金屬等污染物的研發(fā)型企業(yè)和項目不得引進(jìn)排氣量大、排放有毒廢氣、排放惡臭氣體的研發(fā)型企業(yè)和項目處理，根據(jù)現(xiàn)有項目檢測報告氨氣的產(chǎn)境風(fēng)險較大的項目入?yún)^(qū)②與《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單》(2022年版)、《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行，2022年版)》(長江辦〔2022〕7號)、《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單本項目行業(yè)類別為M7320工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展、C3973集經(jīng)對照《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單》(2022年版),本項目的建設(shè)不屬于禁止準(zhǔn)入因此，本項目的建設(shè)未列入《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單》(20此外，對照《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行，辦〔2022〕7號)、《長江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行，2022年版)》江蘇省實施細(xì)則(蘇長江辦發(fā)〔2022〕55號),本項目無碼頭，不涉及生態(tài)紅線區(qū)域，不涉及飲用水源地保護(hù)區(qū)，不屬于文件中禁止建設(shè)的項目，不違綜上所述，建設(shè)項目符合國家、地方產(chǎn)業(yè)政策，項目選址符合區(qū)并能夠滿足生態(tài)保護(hù)紅線，環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上限以及環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單本項目距離京杭運河約100m,位于大運河經(jīng)江蘇段核心監(jiān)控區(qū)，屬于核心項目內(nèi)容國土空間規(guī)劃第七條產(chǎn)保護(hù)規(guī)劃(2011-2030)》劃定的文化遺產(chǎn)保護(hù)區(qū)域，細(xì)化管控要求。吳區(qū)景賢路2號，屬于生產(chǎn)遺產(chǎn)保護(hù)區(qū)域。符合第八條吳區(qū)景賢路2號，屬于生產(chǎn)占用生態(tài)紅線；本項目屬于[C3973]集成電路制造、[M7320]工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展，屬于自主創(chuàng)新的高科技產(chǎn)業(yè)，符合太湖科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位，符合產(chǎn)業(yè)政布局要求。符合國第符合土空間準(zhǔn)入空間準(zhǔn)入正(負(fù))面清單管理制度，控制開發(fā)規(guī)模和強(qiáng)度，嚴(yán)禁不符合主體功能定位的各類開發(fā)活動。吳區(qū)景賢路2號，屬于核心監(jiān)控區(qū)內(nèi)的建成區(qū)，經(jīng)對照符合太湖科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定策相關(guān)要求，符合運河沿線第十四條建成區(qū)(城市、建制鎮(zhèn))內(nèi)，嚴(yán)禁實施不符合產(chǎn)業(yè)政策、規(guī)劃和管制要求的建設(shè)項用地。吳區(qū)景賢路2號，屬于核心監(jiān)控區(qū)內(nèi)的建成區(qū)，行業(yè)類別為[C3973]集成電路制造、[M7320]工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展；本項目利用現(xiàn)有方產(chǎn)業(yè)政策要求，符合用地規(guī)劃；此外，項目符合太湖科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位。第十五條實施差別化管理。吳區(qū)景賢路2號，屬于核心監(jiān)控區(qū)內(nèi)的建成區(qū)，所在地規(guī)劃為生產(chǎn)研發(fā)用地+科研第十六條生態(tài)用途區(qū)域內(nèi)，嚴(yán)格生態(tài)保護(hù)紅線管理，在符合現(xiàn)行法律法規(guī)前提下，除國家成破壞的有限人為活動。自然保護(hù)地核心格禁止開發(fā)性、生產(chǎn)性建設(shè)活動。吳區(qū)景賢路2號，屬于核心景名勝區(qū)以及法律法規(guī)禁止占用的區(qū)域。表1-8與錫政規(guī)〔2023〕7號的相符性分析項目條款內(nèi)容國土空間規(guī)劃第十四條優(yōu)化空間布局。在國土空間規(guī)劃中統(tǒng)籌劃定永久基本農(nóng)田、生態(tài)保護(hù)紅線、城鎮(zhèn)開體目標(biāo)，協(xié)調(diào)好文化遺產(chǎn)保護(hù)、生態(tài)保護(hù)和開發(fā)利用與大運河文化保護(hù)傳承利用的關(guān)系，打造大運河綜合發(fā)展軸，穩(wěn)定水網(wǎng)空間，拓展綠色廊道，挖掘文化資源，強(qiáng)化河口、河尖節(jié)點塑造，優(yōu)化“生態(tài)、濟(jì)發(fā)展、文化展示、生態(tài)產(chǎn)品價值實現(xiàn)與流量儲備的復(fù)合型區(qū)域。吳區(qū)景賢路2號，屬于生產(chǎn)占用生態(tài)紅線，永久基本農(nóng)田；本項目屬于[C3973]集成電路制造、[M7320]工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展，符合太湖科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位，符合產(chǎn)業(yè)政策要求，滿足運河沿線產(chǎn)業(yè)布局要求。國土空間第十六條嚴(yán)格準(zhǔn)入管理。實行國土空間準(zhǔn)入正(負(fù))面清單管理制度，嚴(yán)禁不符合主體功能定位的各類開發(fā)活動。吳區(qū)景賢路2號，經(jīng)對照符合太湖科技園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位，符合產(chǎn)業(yè)政策要求，滿足運準(zhǔn)入第十八條產(chǎn)業(yè)政策、規(guī)劃和管制要求的建設(shè)項目：(一)老城傳統(tǒng)風(fēng)貌區(qū)指世界文化遺產(chǎn)中國大運河遺產(chǎn)區(qū)范圍和歷史文化街區(qū)、歷史風(fēng)貌區(qū)的保護(hù)范圍，具體包括京杭大運區(qū)，清名橋沿河歷史文化街區(qū)、惠山古鎮(zhèn)歷史文化街區(qū)及小婁巷歷史文化街區(qū)的核心保護(hù)范圍，蓉湖浜、西水關(guān)等歷史風(fēng)貌區(qū)的保護(hù)范圍等。老城傳統(tǒng)風(fēng)貌區(qū)改造應(yīng)加強(qiáng)建筑高度管照高層禁建區(qū)管理，落實限高、限密度的具體要求。老城傳統(tǒng)風(fēng)貌區(qū)內(nèi)限制各類用地調(diào)整為大型的商業(yè)、商務(wù)辦公、住宅商品房、倉儲物流設(shè)施等項目用地。確需調(diào)整的，應(yīng)征求文物保護(hù)、生態(tài)環(huán)境、住房城鄉(xiāng)建設(shè)等相關(guān)主管部門意見。(二)大運河遺產(chǎn)保護(hù)區(qū)，包含世界文化遺產(chǎn)中國大運河遺產(chǎn)區(qū)、緩沖區(qū)以及全國及相關(guān)規(guī)劃進(jìn)行管理。別為[C3973]集成電路制造、[M7320]工程和技術(shù)研究和規(guī)劃；此外，項目符合太湖涉及老城傳統(tǒng)風(fēng)貌區(qū)及大運第二十三條嚴(yán)格落實生態(tài)保護(hù)紅線管理。江蘇無錫惠山國家森林公園、江蘇無錫太湖大溪港省級濕地公園、太湖(無錫市區(qū))重要濕地律法規(guī)前提下，除國家重大戰(zhàn)略項目外，僅允許對生態(tài)功能不造成破壞的有限人為活動，具體準(zhǔn)入情形依據(jù)《中共中央辦公廳國務(wù)院辦公廳印發(fā)<關(guān)于在國土空間規(guī)劃中統(tǒng)籌劃定落實三條控制線的指導(dǎo)意見〉的通知》(廳字〔2019〕48號)規(guī)后，按其執(zhí)行。自然保護(hù)地核心保護(hù)區(qū)原則上禁止人為活動，其他區(qū)域嚴(yán)格禁止開發(fā)性、生產(chǎn)性建設(shè)活動。吳區(qū)景賢路2號，不在江蘇無錫惠山國家森林公園、江蘇無錫太湖大溪港省級濕地公園、太湖(無錫市區(qū))重第二十四條(無錫市區(qū))清水通道維護(hù)區(qū)、太湖(無錫市區(qū))重要保護(hù)區(qū)、無錫太湖大溪港省級濕地公園等生態(tài)空間管控區(qū)域，應(yīng)嚴(yán)格吳區(qū)景賢路2號，不在望虞省級濕地公園等生態(tài)空間管綜上，本項目符合《大運河江蘇段核心監(jiān)控區(qū)國政發(fā)[2021]20號)、《市政府關(guān)于印發(fā)大運河無錫段核心監(jiān)控區(qū)國土空間管控細(xì)則(試行)的通知》(錫政規(guī)〔2023〕7號)中相關(guān)要求。本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)與封裝測試項目，行業(yè)類別為M7320工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展、C3973集成電路制造；經(jīng)查閱，本項目不屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2024年本)》(國家發(fā)展和改革委員會令第7號)中的限制類條：工程(技術(shù))研究中心、企業(yè)技術(shù)中心、重點實驗室、科研中試基地、實驗基地等科技企業(yè)及載體”;屬于《無錫市制造業(yè)轉(zhuǎn)型發(fā)展本)中鼓勵類中“一、電子信息產(chǎn)業(yè)”中“8.集成電路設(shè)成電路(CPU/數(shù)字信號處理器(DSP)/存儲器等高端通用芯片，網(wǎng)絡(luò)通信芯片、數(shù)模混合芯片、信息安全芯片、數(shù)字電視芯片、RFID芯片、傳感器芯片、汽車電子芯片)制造及球柵陣列封裝(BGA)、插針網(wǎng)格陣列封裝(PGA)、芯片規(guī)模封裝(CSP)、多芯片封裝(MCM)等先進(jìn)封裝與測試型發(fā)展投資指導(dǎo)目錄》(2013年本)中鼓勵類項中“二十五、信息產(chǎn)業(yè)”中“19.集成電路設(shè)計，線寬0.8微米以下集成電路制造，及球柵針網(wǎng)格陣列封裝(PGA)、芯片規(guī)模封裝(CSP)、多芯片封裝(MCM)等先進(jìn)封裝與測試”;不屬于《自然資源要素支撐產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展指本)》(自然資發(fā)[2024]273號)中限制和禁止類項目；不屬于《江蘇省限制用地項目目錄(2013年本)》和《江蘇省禁止用地項目目錄(2013年本)》中項目。綜上，本項目屬于鼓勵類項目，與產(chǎn)業(yè)政策相符。內(nèi)容嚴(yán)格高”環(huán)評審批根據(jù)《江蘇省“兩高”項目管理目錄(2024年版)》、建設(shè)項目生態(tài)環(huán)境源頭防護(hù)綜合名錄》(2021年版),本項目行業(yè)代碼為M7320工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)發(fā)與封裝測試，故本項目不綜上，本項目行業(yè)代碼為M7320工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展、C3973集成電路制造，主要為半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)研發(fā)與封裝測試，本項目產(chǎn)品不屬于《環(huán)境保護(hù)綜合名錄》(2021年版)中的“高污染、高環(huán)境風(fēng)險產(chǎn)品名錄”,亦不屬于《江蘇省“兩高”項目管理目錄(2024年版)》中高耗能行本項目位于江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路2號，根據(jù)園控制性詳細(xì)規(guī)劃科創(chuàng)區(qū)-孵化區(qū)管理單元動態(tài)更新》中規(guī)劃圖(附圖3),本項目所在區(qū)域規(guī)劃為“生產(chǎn)研發(fā)用地+科研設(shè)計用地”,本項目為半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)研發(fā)及封裝測試項目，故本項目選址符合規(guī)劃要根據(jù)《江蘇省太湖水污染防治條例》規(guī)定，太湖流湖湖體、沿湖岸5公里區(qū)域、入湖河道上溯10公里以及沿岸兩側(cè)各1公里范圍為一級保護(hù)區(qū)；主要入湖河道上溯50公里以及沿岸兩側(cè)各1公里范圍為二級保護(hù)區(qū)；其他地區(qū)為三級保護(hù)區(qū)。根據(jù)《江蘇省太湖水污染防治條例》(2021年修正)第四十三條，在太湖一、二、三級保護(hù)區(qū)內(nèi)禁止下列行為：(一)新建、改建、擴(kuò)建化學(xué)制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項目，城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施項目和第四十六條規(guī)定的情形除外；(二)銷售、使用含磷洗滌用品；(三)向水體排放或者傾倒油類、酸液、堿液、劇毒廢渣廢液、含放射性廢渣廢液、含病原體污水、工業(yè)廢渣以及其他廢棄物；(四)在水體清洗裝貯過油類或者有毒有害污染物的車輛、船舶和容器等；(五)使用農(nóng)藥等有毒物毒殺水生生物；(六)向水體直接排放人畜糞便、傾倒垃圾；(七)圍湖造地；(八)違法開山采石，或者進(jìn)行破壞林木、植被、水生生物的活動；第四十四條，除二級保護(hù)區(qū)規(guī)定的禁止行為以外，止下列行為：(一)新建、擴(kuò)建向水體排放污染物的建設(shè)項目；(二)在國家和省規(guī)定的養(yǎng)殖范圍外從事網(wǎng)圍、網(wǎng)箱養(yǎng)殖，利用蝦窩、地籠網(wǎng)、機(jī)械吸螺、底拖網(wǎng)進(jìn)行捕撈作業(yè)；(三)新建、擴(kuò)建畜禽養(yǎng)殖場；(四)新建、擴(kuò)建高爾夫球場、水上游樂園等開發(fā)項目；(五)設(shè)置水上餐飲經(jīng)營設(shè)施；(法律、法規(guī)禁止禁止的其他可能污染水質(zhì)的活動。除城鎮(zhèn)污水集中處理設(shè)施依法設(shè)置的排污口外，一級保護(hù)區(qū)內(nèi)已第四十五條，太湖流域二級保護(hù)區(qū)禁止下列行為：(一)新建、擴(kuò)建化工、醫(yī)藥生產(chǎn)項目；(二)建、擴(kuò)建污水集中處理設(shè)施排污口以外的排污口；(三)擴(kuò)大水產(chǎn)養(yǎng)殖規(guī)模；根據(jù)《太湖流域管理條例》:第二十八條禁止在太湖流域設(shè)置不符合國家產(chǎn)業(yè)政策和水環(huán)境綜合治理要求的造紙、制革、酒精、淀粉、冶金、釀造、印染、電鍍等排放水污染物的生產(chǎn)第二十九條新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河口1萬米上溯至5萬米河道岸線內(nèi)及其岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，禁止下列行(一)新建、擴(kuò)建化工、醫(yī)藥生產(chǎn)項目；(二)新建、擴(kuò)建污水集中處理設(shè)施排污口以外的排污口；(三)擴(kuò)大水產(chǎn)養(yǎng)殖規(guī)模。第三十條太湖岸線內(nèi)和岸線周邊5000米范圍內(nèi)，2000米范圍內(nèi)，太浦河、新孟河、望虞河岸線內(nèi)和岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，其他主要入太湖河道自河口上溯至1萬米河道岸線內(nèi)及其岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，禁止下列行為：(二)設(shè)置水上餐飲經(jīng)營設(shè)施；(三)新建、擴(kuò)建高爾夫球場；(四)新建、擴(kuò)建畜禽養(yǎng)殖場；(五)新建、擴(kuò)建向水體排放污染物的建設(shè)項目；(六)本條例第二十九條規(guī)定的行為。已經(jīng)設(shè)置前款第一項、第二項規(guī)定設(shè)施的，當(dāng)?shù)乜h級人民政府應(yīng)當(dāng)責(zé)令拆除本項目距離太湖沿湖岸約4.3km,距離最近入湖河道望虞河約7.8km,根據(jù)《省政府辦公廳關(guān)于公布江蘇省太湖流域三級保護(hù)區(qū)范圍的通知》(蘇政[2012]221號),項目所在地屬于太湖一級保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)，項目行業(yè)類別為[C3973]本項目產(chǎn)生的生產(chǎn)廢水(不含氮磷)經(jīng)研磨廢水處理設(shè)施處理后產(chǎn)生的上清液與制純水濃水經(jīng)酸堿廢水處理設(shè)施處理后與生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后一并接管有項目設(shè)有一個甲類化學(xué)品倉庫，用于儲存日常研發(fā)生產(chǎn)所需的化學(xué)品，不屬于危險化學(xué)品的專門貯存場所，本項目新增化學(xué)品依托現(xiàn)有甲類化學(xué)品倉庫，但是化學(xué)品存儲量不突破現(xiàn)有的儲存量。公司將在滿足研發(fā)生產(chǎn)的前提下，盡可能減少化學(xué)品的儲存量，且化學(xué)品倉庫已按照要求配備相應(yīng)的應(yīng)急物本項目行業(yè)類別為[C3973]集成電路制造和[M7320]工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展，屬于半導(dǎo)體產(chǎn)品的先進(jìn)封裝與系統(tǒng)集成生產(chǎn)研發(fā)項目。對照《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)中范圍“本標(biāo)準(zhǔn)不適用于航空航天、核工業(yè)、軍工、半導(dǎo)體(含集成電路)制造用清洗劑”,本項目用清洗劑不適用根據(jù)江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會及專家出具的咨詢意見(具體見附件17),由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)會嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此對潔凈度要求極高，且殘留的膠狀雜質(zhì)均為有機(jī)物，必須使用有劑清洗，使用低VOC清洗劑暫時無法滿足工藝要求，公司生產(chǎn)過程中需使用的溶劑型清洗劑(ST250清洗液、丙酮、去膠液、異丙醇、清洗液、電子氟化液、拆建合清洗液和環(huán)保清洗液)暫時無法替代，行業(yè)也在不斷地對溶劑型清洗劑等工藝進(jìn)行研發(fā)和提升，盡早在滿足研發(fā)工藝要求的前提下使用低VOC的清洗劑本項目使用的膠類物質(zhì)有光刻膠、鍵合膠、抗粘膠、芯片底填膠、包封膠、本項目膠黏劑與《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)的相符性分析如下：表1-10本項目涉VOCs膠黏劑的清潔原料相符性分析一覽表是否潔原檢測使用1HT-10.11臨時膠粘劑1-十二碳烯45-65%、溶劑型膠黏劑檢測報告(報告編號：ETR24901283)(GB33372-2020)表1中“溶劑型膠黏劑用領(lǐng)域為其他中丙烯否原樣(未配比)原樣 (未配比)不符合2密封膠混合物，主要成分為甲基三甲氧基硅烷改型膠黏劑檢測報告(報告編(GB33372-2020)表3中“本體型膠黏劑用領(lǐng)域為裝配業(yè)中有g(shù)是原樣(未配比)原樣 (未配比)*注：本項目使用的鍵合膠共有5種，分別為WaferBOND?HT-10.11臨時膠粘劑、臨時鍵合材料WLPTB4170、激光釋放材料WLPRL420、SPIS-TA501S和SPIS-TA401S-0.6,根據(jù)供應(yīng)商提供的說明材料(具體見附件17),臨時鍵合材料WLPTB4170、激光釋放材料WLPRL420、SPIS-TA501S和SPIS-TA401S-0.(GB33372-2020)標(biāo)準(zhǔn)。由上表可知，本項目使用的密封膠符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)表3中本體型膠黏劑VOC含量限量要求，屬于低VOC含量膠黏劑；使用的鍵合膠符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)表1中溶劑型膠黏劑VOC含量限量要求。根據(jù)江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會及專家出具的咨詢意見(具體見附件17),由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品為高精度器件，使用溶劑型膠黏劑能夠充分潤濕鍵合表面的微觀結(jié)構(gòu)，避免因氣泡導(dǎo)致的產(chǎn)品可靠性問題，因此使用低VOC膠黏劑暫時無法滿足工藝要求，公司生產(chǎn)過程中需使用的溶劑型膠黏劑(5種鍵合膠)暫時無法替代，行業(yè)也在不斷地對溶劑型膠黏劑等工藝進(jìn)行研發(fā)和提升，盡早在滿足研發(fā)工藝要求的前提下使用低VOC的膠黏劑進(jìn)行替代，以支持國家環(huán)境保護(hù)相關(guān)政策。(1)與《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染控制指南》(蘇環(huán)辦〔2014〕128內(nèi)容閉，從源頭控制VOCs的產(chǎn)生，減少廢、生產(chǎn)工藝和裝備，本項目涉及有(二)鼓勵對排放的VOCs進(jìn)行回收利壓力等因素，綜合分析后合理選擇；高溫燃燒、微生物處理、填料塔吸收本項目產(chǎn)生的非甲烷總烴經(jīng)收集后對有機(jī)廢氣的收集率和處理效率均南(十)《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》值》(GB38508-2020)范圍，本項目附件17),由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)會嚴(yán)重影響使用有機(jī)且腐蝕性較弱的清洗劑清提下使用低VOC材料進(jìn)行替代，以能減少排氣量，提高濃度。本項目產(chǎn)生的有機(jī)廢氣采用吸附棉+三級活性炭裝置處理。由上表可知，本項目符合《關(guān)于印發(fā)<江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染控制指南>的通知》(蘇環(huán)辦[2014]128號文)中相關(guān)要求。(2)與《江蘇省大氣污染防治條例》(2018修正版)、《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染整治方案》的通知(蘇環(huán)辦[2015]19號)的相符性分析表1-12《江蘇省大氣污染防治條例》(2018修正版)、蘇環(huán)辦〔2015〕19號內(nèi)容正版)本項目不涉及油墨的使用；使用的化合物含量限值》(GB38508-2020)范圍，本項目行業(yè)不適用。根據(jù)江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會及專家出具的咨詢意見(具體見附件17),由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)會嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此對潔凈度要求極高，且殘留的膠且腐蝕性較弱的清洗劑清洗，使用由上表可知，本項目符合《江蘇省大氣污染防治條例》(2018修正版)、《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染整治方案》的通知(蘇環(huán)辦[2015]19號)中相關(guān)要求。內(nèi)容明確替代代具體要求(附件2),推進(jìn)167家附件2,其他行業(yè)企業(yè)涉VOCs相關(guān)電路制造和[M7320]工程和技術(shù)(GB38508-2020)范圍，本項目 蘇大氣工業(yè)大氣辦[2021]2號)及《無錫市重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物清潔原料替代工作方案》(錫大氣辦[2021]11號)中相關(guān)要求。號)的相符性分析表1-14與《關(guān)于加快解決當(dāng)前揮發(fā)性有機(jī)物治理突出問題的通知》(環(huán)大氣[2021]65號)的相符性分析廢氣收集率產(chǎn)生VOCs的生產(chǎn)環(huán)節(jié)優(yōu)先采用密閉設(shè)備、在密閉空間中操作或采用全密閉集氣罩收集方式，并保持負(fù)壓運行。無塵等級要求車間需設(shè)置成正壓的，推廣采用內(nèi)層正壓、外層微負(fù)壓的雙層整體密閉收集空間。對采用局部收集方式的企業(yè)，距廢氣收集系統(tǒng)排風(fēng)罩開口面最遠(yuǎn)處的VOCs無組織排放位置控制風(fēng)速不低于0.3m/s;收集系統(tǒng)或中繼風(fēng)機(jī)。廢氣收集系統(tǒng)的輸送管道應(yīng)密閉、無破損。制藥、農(nóng)藥、涂料、油墨、膠粘劑等間固液分離、干燥、灌裝、取樣等過程采取密閉化措施，提升工藝裝備水平；含VOCs物料輸送原則上采用重力料方式；固體物料投加逐步推進(jìn)采用密閉式投料裝置。本項目產(chǎn)生VOCs的生產(chǎn)環(huán)節(jié)根據(jù)生產(chǎn)工藝條件采用局部集系統(tǒng)排風(fēng)罩開口組織排放位置控制風(fēng)速不低于0.3m/s。水平。工業(yè)涂裝行業(yè)建設(shè)密閉噴漆房，對于大型構(gòu)件(船舶、鋼結(jié)構(gòu))實施分段涂裝，廢氣進(jìn)行收集治理；對于確需露天涂裝的，鼓勵使用移動式廢氣收集治理設(shè)施。有機(jī)廢氣治理設(shè)施治理技術(shù)；對治理難度大、單一治理工藝難以穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的，要采用多種技術(shù)的組合工藝；除惡臭異味治理外，一般不使用低溫等離子、光催化、光氧化等技術(shù)。加強(qiáng)運行維護(hù)管理，做到治理設(shè)施較生產(chǎn)設(shè)備“先啟后停”,在治理設(shè)施達(dá)到正常運行條件后方可啟動生產(chǎn)設(shè)備，在生產(chǎn)設(shè)備停止、殘留VOCs廢氣收集處理完畢后，方可停運治理設(shè)施；及時清理、更換吸附劑、吸收劑、催化劑、蓄熱體、燈管、電器元件等治理設(shè)施耗材，確保設(shè)施能夠穩(wěn)定高效運行；做好生產(chǎn)設(shè)備和治理設(shè)施啟停機(jī)時間、檢維修情況、治理設(shè)施耗材維護(hù)更換情況、VOCs治理設(shè)施二次污染物處置情況等臺賬VOCs治理設(shè)施產(chǎn)生的廢過濾棉、廢催化劑、廢吸附劑、位處理處置。采用活性炭吸附工藝的企業(yè)應(yīng)對活性炭質(zhì)量嚴(yán)格把關(guān)，并根據(jù)排放廢氣的風(fēng)量、濃度，合理確800mg/g的活性炭；采用再生式活性炭吸附工藝的，顆粒碳的丁烷工作容量應(yīng)不小于8.5g/dL、裝填厚度不低于400mm,蜂窩炭的比表面積應(yīng)不低于750m2/g(BET積應(yīng)不低于1100m2/g(BET法)、纖維層厚度不低于劑并足額添加，貴金屬(鉑、鈀等)催化劑活性組分的含量應(yīng)達(dá)到0.1%以上，金屬氧化物(銅、鉻、錳等)(CO)燃燒溫度應(yīng)不低于300℃,相關(guān)溫度參數(shù)應(yīng)自集中涂裝中心，分散吸附、集中脫附模式的活性炭集中征、VOCs組分及濃度、生產(chǎn)工況等因企業(yè)將按照要求加強(qiáng)運行維護(hù)管理，做到治理設(shè)施較生產(chǎn)設(shè)備“先啟后?！?在治理設(shè)施達(dá)到正常運行條件后方可啟動生產(chǎn)設(shè)備，在生產(chǎn)設(shè)備停止、殘留完畢后，方可停運治設(shè)施能夠穩(wěn)定高效況做好生產(chǎn)設(shè)備和治理設(shè)施啟停機(jī)時間、檢維修情況、治理設(shè)施耗材維護(hù)更設(shè)施二次污染物處的廢活性炭將委托度，合理確定活性炭確保足額充填、定期更換，并選用符合要綜上所述，本項目符合《關(guān)于加快解決當(dāng)前揮發(fā)知》(環(huán)大氣[2021]65號)中的相關(guān)要求。(5)與《關(guān)于印發(fā)<重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案>的通知》(環(huán)大氣[2019]53號)相符性分析表1-15與環(huán)大氣〔2019〕53號文的相符性分析1洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)范圍，本項目行業(yè)不出具的咨詢意見(具體見附件17),由2本項目使用的膠黏劑、清洗劑均采用桶3的廢活性炭作為危廢委托有資質(zhì)單位處由上表可知，本項目符合《關(guān)于印發(fā)<重點行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案>的通知》(環(huán)大氣[2019]53號)中相關(guān)要求。治理攻堅戰(zhàn)行動方案〉的通知》(環(huán)大氣〔2022〕68號)的相符性分析表1-16本項目與環(huán)大氣〔2022〕68號文的相符性分析內(nèi)容業(yè)政策、“三線一單”、規(guī)劃環(huán)評，以及產(chǎn)能置換、煤炭消費減量替代、平項目，并嚴(yán)格落實國家產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、染防治各地對溶劑型涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑使用企業(yè)制定低VOCs含量原功能要求外的室內(nèi)地坪施工、室外構(gòu)筑物防護(hù)和城市道路交通標(biāo)志基本使用低VOCs含量涂料。完善VOCs產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)體系，建立低VOCs含量產(chǎn)品標(biāo)識黏劑符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)中標(biāo)準(zhǔn)要求，限值》(GB38508-2020)范圍，目行業(yè)不適用。根據(jù)江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會及專家出具的咨詢意見(具體見附件17),由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)會嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此對潔凈度要求極高，洗，使用低VOC清洗劑暫時無法滿足工藝要求，公司使用的溶劑型清洗劑暫不能替代；由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品為高精度器件，使用溶劑型膠黏劑能夠因氣泡導(dǎo)致的產(chǎn)品可靠性問題，因此藝要求，公司使用的溶劑型膠黏劑暫無法替代。行業(yè)也在不斷地對溶劑型清洗劑、膠黏劑等工藝進(jìn)行研發(fā)和提升，盡早在滿足研發(fā)工藝要求的前提下使用低VOC材料進(jìn)行替代，以支持由上表可知，建設(shè)項目符合《關(guān)于印發(fā)〈深入打好重污染天氣消除、臭氧污染防治和柴油貨車污染治理攻堅戰(zhàn)行動方案>的通知》(環(huán)大氣〔2022〕68號)—30—中相關(guān)要求。(7)與《關(guān)于在環(huán)評審批階段開展“源頭管控行動”的工作意見》(錫大環(huán)辦〔2021〕142號)的相符性分析內(nèi)容藝、裝備、原料、環(huán)用國際國內(nèi)先進(jìn)工藝、裝備、求，從源頭控制無組織排放、初期雨水收集、環(huán)境風(fēng)險防范等問題。筑用涂料、工業(yè)設(shè)備防護(hù)涂料等，揮發(fā)性有機(jī)化合物含量涂料產(chǎn)品技洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》 由于半導(dǎo)體封裝產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)會嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此對潔凈度要求極高，且殘留的膠狀雜質(zhì)均為有機(jī)物，必須使用有機(jī)且腐蝕性較弱的清洗劑清洗，使用低VOC清洗劑暫時無法滿足工藝要求，公司使用的溶劑型品為高精度器件，使用溶劑型膠黏劑能夠充分潤濕鍵合表面的微觀結(jié)構(gòu)，避免因氣泡導(dǎo)致的產(chǎn)品可靠性問題，因此使代。行業(yè)也在不斷地對溶劑型清洗劑、滿足研發(fā)工藝要求的前提下使用低VOC材料進(jìn)行替代，以支持國家環(huán)境保護(hù)相用地，項目設(shè)置的衛(wèi)生防護(hù)距離內(nèi)無環(huán)(二)強(qiáng)化項目的節(jié)水設(shè)計，提高項目中水回用率，新建、改建項目的中水回用水平必須高于行業(yè)平均水平，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平以上。根據(jù)定，非戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，不得新增的印染、電子等行業(yè)必須大幅提高中水回用率。冷卻水強(qiáng)排水、反滲照生產(chǎn)廢水接管，不得接入雨水口強(qiáng)化生產(chǎn)過程中的物料回收利料回用，強(qiáng)化固體廢物源頭減量和綜合利用，配套的回收利用設(shè)施必須達(dá)到主生產(chǎn)裝置同樣的設(shè)計水平和環(huán)保要求，提升回收效率，需外的，在本市應(yīng)具有穩(wěn)定可靠的承接的各類危險廢物委托有資質(zhì)單位處置；一般固體廢物綜合利用或處置，全廠固(三)求的最先進(jìn)水平，未達(dá)最嚴(yán)標(biāo)準(zhǔn)、本本項目已參照《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ2031-2019)鼓勵采用吸附、吸收、生物凈化、項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的非甲烷總烴經(jīng)有準(zhǔn)要求。安裝用電工況和自動在線監(jiān)控設(shè)備設(shè)施并聯(lián)網(wǎng)。新建天然氣鍋爐必須采用低氮燃燒技術(shù)，工業(yè)爐窯達(dá)到成后，列為涉水、涉氣重點項目，應(yīng)按照要求安裝用電工況和自動在線監(jiān)控設(shè)由上表可知，本項目符合《關(guān)于在環(huán)評審批階段開展源頭管控行動的工作意見》(錫環(huán)辦[2021]142號)中相關(guān)要求。7、與《集成電路制造建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件審批原則》(2024年版)相符內(nèi)容項目應(yīng)符合生態(tài)環(huán)境保護(hù)相關(guān)結(jié)構(gòu)調(diào)整、重點污染物總量控制等本項目符合用地規(guī)劃，符合所在園區(qū)產(chǎn)國家、地方等相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策，本項目新第三條|項目選址應(yīng)符合生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求，不得位于法律法規(guī)明令禁止建設(shè)的區(qū)域，應(yīng)避開生態(tài)保護(hù)紅線。鼓勵新建、擴(kuò)建項目選址布強(qiáng)化節(jié)水措施，鼓勵再生水使回用，提高水的回用率和重復(fù)利用膠等工序產(chǎn)生的有機(jī)廢氣；應(yīng)采用噴淋吸收等有效措施處理襯底清鍍等工序產(chǎn)生的氯化氫、氟化物、化氫、硅烷、磷化氫等特種廢氣，本項目單片式清洗、光刻、槽式去膠、污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554)要求；涉及使用VOCs物料的，廠區(qū)內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB37822)要求；鍋本項目排放的廢氣，硫酸霧、氯化氫、異丙醇、非甲烷總烴、氟化物、錫及其化合物、顆粒物、氮氧化物，符合《半(DB32/3747-2020)中相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)、準(zhǔn)中未明確的二氧化硫符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/4041-2021)中關(guān)標(biāo)準(zhǔn)；本項目通過控制氨水使用濃度、控制工藝條件且設(shè)備自帶處理設(shè)施處理，根據(jù)現(xiàn)有項目檢測報告氨氣的產(chǎn)生及排放均為ND,基本不排放；廠區(qū)內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制符合《大(DB32/4041-2021)中關(guān)標(biāo)準(zhǔn)；本項目(GB39731)要求。有地方污染物合《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)表2標(biāo)準(zhǔn)。(GB18597)、《一般工業(yè)固體廢氣站、動力站房、冷卻塔、風(fēng)機(jī)、輸工具、貨物裝卸等噪聲源管理，噪聲敏感建筑物集中區(qū)域的改建、業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》完善的環(huán)境風(fēng)險防控體系，提升環(huán)境風(fēng)險防控能力，確保環(huán)境風(fēng)險防范和應(yīng)急措施合理、有效。針對項目可能產(chǎn)生的突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)制定有效的風(fēng)險防范和應(yīng)急措施，提出運行期突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案編制或應(yīng)急儲存設(shè)施，以及采取其他防氫、磷化氫等有毒有害氣體的泄漏本項目建成后將按照要求修編環(huán)境應(yīng)急預(yù)案，嚴(yán)格防控項目環(huán)境風(fēng)險，建立完防控能力，確保環(huán)境風(fēng)險防范和應(yīng)急措品庫的事故廢水收集設(shè)施或應(yīng)急儲存設(shè)及土壤污染重點監(jiān)管單位的新建、相關(guān)要求。由上表可知，本項目符合《集成電路制造建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件審批原則》(2024年版)中相關(guān)要求。二、建設(shè)項目工程分析建設(shè)內(nèi)容華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司成立于2012年9月，位于無錫市新吳區(qū)景賢路2號，主要致力于集成電路封裝與系統(tǒng)集成的技術(shù)研發(fā)；半導(dǎo)體集成電路和系統(tǒng)集成產(chǎn)品的技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)及產(chǎn)品銷售等。公司現(xiàn)有項目核定生產(chǎn)規(guī)模為年生產(chǎn)、研發(fā)封裝測試2500萬顆半導(dǎo)體產(chǎn)平方米，引進(jìn)晶圓貼片機(jī)、晶圓助焊劑清洗機(jī)、等離子清洗機(jī)、錫膏印刷機(jī)、倒裝貼片機(jī)、助焊劑清洗機(jī)等設(shè)備，建設(shè)TSV及2.5D封裝中試線提項目建成后，預(yù)計可新增年生產(chǎn)、研發(fā)封裝測試600萬顆半導(dǎo)體產(chǎn)品，全廠生產(chǎn)規(guī)模為年生產(chǎn)、研發(fā)封裝測試3100萬顆半導(dǎo)體產(chǎn)本項目于2025年4月10日完成項目備案(備案證號：錫新數(shù)投備[2025]430號，項目代碼2305-320214-89-02-875425),同意開展項目前期及報批準(zhǔn)備工作。根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》和國務(wù)院令保護(hù)管理條例》的規(guī)定，本項目屬于“三十六、計算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)39,80電子器件制造397”中“顯示器件制造；集成劑的；有酸洗的；以上均不含僅分割、焊接、組裝的驗發(fā)展，98專業(yè)實驗室、研發(fā)(試驗)基地”中“其他(不產(chǎn)生實驗廢氣、廢水、危險廢物的除外)”類別，應(yīng)編制環(huán)境影響報告表，因此公司委托無錫新視野環(huán)保有限公司對本項目進(jìn)行環(huán)境影響評價。項目所涉及的消防、安全、電磁輻射及衛(wèi)生等問題不屬于本評價范圍，請公項目名稱：TSV及2.5D封裝中試線提升改造項目；行業(yè)類別：[C3973]集成電路制造、[M7320]工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展；建設(shè)地點：江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路2號；投資總額：23000萬元，其中環(huán)保投資100萬元，占總投資的0.設(shè)計產(chǎn)能(萬顆/年)1科研廠房半導(dǎo)體產(chǎn)品(芯片)的先進(jìn)封裝與系統(tǒng)分為2.5D和FCBGA封裝模塊，其中2.5D的生產(chǎn)工藝流程內(nèi)包含T每月為859片，滿產(chǎn)Bump每月為4937片。表2-2建設(shè)項目公用工程及輔助工程表設(shè)計能力科研廠房0本項目利用現(xiàn)有廠房原料倉庫0成品倉庫0甲類暫存庫0液氮罐區(qū)0/公用市政給水管網(wǎng)供電1500萬kWh/a市政電網(wǎng)純水制備系統(tǒng)/0/特氣間0///不變廢氣處理金屬互連、槽體清洗廢氣(現(xiàn)有)1+25m排氣筒1+25m排氣筒風(fēng)量增加1000m3/h清洗廢氣依托現(xiàn)有二級現(xiàn)有25m高FQ01排放金屬互連、槽體清洗廢氣(本項目)/干法去膠、干法蝕刻、氧化硅薄膜沉積、晶圓干法去膠、干法蝕刻、氧化硅薄膜沉積、晶圓①現(xiàn)有項目干法去置3+25000m3/h;反應(yīng)廢氣(現(xiàn)有)溫反應(yīng)+二級水噴淋(設(shè)備自帶)”后同高頭腐蝕工段氟化物一并經(jīng)二級堿噴淋裝置2處+25m排氣筒合工段氟化物及本項目干法去膠、干法蝕(設(shè)備自帶)處理后塵(SiO?)、NOx、SO?)理+29000m3/h;片式清洗2、濕法刻蝕3處理+25000m3h;以上廢氣處理后經(jīng)現(xiàn)有放淋裝置2處理改成進(jìn)入二級堿噴淋裝置3③二級堿噴淋裝置2對應(yīng)的風(fēng)量增加高溫反應(yīng)+二級水噴淋(設(shè)備自帶)處理后與高溫反應(yīng)廢氣一并依托現(xiàn)有二級堿噴淋裝置2處理；單片式清洗2、增二級堿噴淋裝置3處理，以上廢氣依托現(xiàn)有25m排氣筒FQ01干法去膠、干法蝕刻、薄膜沉積、單片式清洗反應(yīng)廢氣(本項目)/槽式清洗、槽式去膠、光刻、烘烤、氧化硅薄膜沉積、晶圓塑封、塑封、塑封固化、晶圓鍵合、拆鍵合、SMT回流、晶圓回流、倒裝貼片、倒裝回流、封裝植球回流焊、助焊劑清洗、SMT回流清洗、倒裝回流清洗、植球回流清洗、底填固化、貼片烘烤、散附裝置+25m排氣筒FQ02+25000m3/h吸附裝置+25m排氣筒FQ02+25000m3/h不變現(xiàn)有，25m高排氣筒—40—熱蓋貼蓋、貼蓋固化廢氣危廢倉庫廢氣水噴淋+活性炭吸附裝置+25m排氣筒不變現(xiàn)有，25m高排氣筒光刻、單片式清洗2、薄膜沉積、鍵合、回流、拆建合、晶圓貼片、晶圓回流、晶圓回流清洗、晶圓烘烤、晶圓底填固封后固化、激光劃片、晶圓劃片、倒裝貼片、洗、烘烤、底填固化、包封圍堰、散熱蓋貼片、散熱片固化、激光打標(biāo)、洗/過濾棉+三級活性炭吸附裝置+25m排氣筒FQ04+25000m3/h增加過濾棉+三級活性炭吸附裝置+25m排氣筒FQ04+25000m3/h新增，25m排氣筒FQ04廢水處理太湖新城污水處理廠太湖新城污水處理廠不變制純水濃水、冷卻塔定期排水接入污水管網(wǎng)接入污水管網(wǎng)不變不含氮磷的生產(chǎn)廢水(研磨廢水)進(jìn)研磨廢凝+絮凝沉淀，35m3/h),研磨廢水上清液、冷卻定期排水、35m3/h),研磨廢水上設(shè)施(調(diào)節(jié)，100m3/h)/(pH調(diào)整+超濾+換熱+反滲透+蒸發(fā)濃縮，30m3/d)/噪聲合理布局、廠房隔聲合理布局、廠房隔聲/固廢一般固廢堆場不變位于污水站北側(cè)0危廢堆場固體危廢廢暫存區(qū)固體危廢暫存區(qū)不變位于甲類庫東北角不變位于污水站北側(cè)地下金屬互連鎳廢液池7m3不變不變有機(jī)廢液池12m3有機(jī)廢液池12m3不變含氟廢液池12m3含氟廢液池12m3不變清洗廢液池12m3清洗廢液池12m3不變廢顯影液池18m3廢顯影液池18m3不變池18m3不變0廢液中轉(zhuǎn)池12m3+廢液中轉(zhuǎn)池12m3科研廠房南側(cè)擴(kuò)建后主要設(shè)備變化情況見表2-3。數(shù)量(臺/套)1晶圓鍵合涂膠機(jī)晶圓鍵合110現(xiàn)有2晶圓鍵合機(jī)/晶圓鍵合2203晶圓對準(zhǔn)機(jī)晶圓鍵合1104晶圓拆鍵合清洗機(jī)1105熱板晶圓鍵合2206/光刻110712寸曝光機(jī)/光刻1108/光刻12增加1臺9顯影機(jī)/光刻12增加1臺烤箱光刻440現(xiàn)有光刻110光刻110光刻110蘇州凱東定制光刻110熱板芯源光刻110光刻膠配液柜無錫瑞達(dá)定制光刻110/薄膜濺射1108寸PECVD/氧化硅薄膜沉積11012寸FOPVD/薄膜濺射110氧化硅薄膜沉積110/11011012寸氧化爐氧化硅薄膜沉積110退火爐110晶圓等離子去膠機(jī)24增加2臺紅外顯微鏡110現(xiàn)有機(jī)單片式清洗24增加2臺機(jī)盛美220現(xiàn)有TSV背面露頭腐濕法露頭110單片式全自動去14增加3臺12增加1臺機(jī)220現(xiàn)有12寸晶圓金屬互220110晶圓級凸點金屬互連化學(xué)分析儀110半自動CVS110滴定儀110光學(xué)輪廓儀110110110印刷植球一體機(jī)晶圓植球110晶圓植球機(jī)晶圓植球110晶圓阻焊機(jī)噴涂機(jī)晶圓植球110晶圓助焊劑清洗機(jī)洗110晶圓回流爐晶圓回流220晶圓減薄貼膜一晶圓減薄220晶圓邊緣切削機(jī)110晶圓切割機(jī)晶圓切割440晶圓厚度測量儀晶圓減薄110技美晶圓減薄110半自動揭膜機(jī)技美晶圓減薄110機(jī)晶圓減薄110(全自動)UV解技美晶圓切割12增加1臺晶圓切割01增加1臺打標(biāo)110現(xiàn)有晶圓貼片機(jī)/晶圓貼片330拆鍵合矯正晶圓塑封110晶圓激光劃片110晶圓劃片220回流焊110SMT貼片110光學(xué)檢測設(shè)備110正裝貼片機(jī)正裝貼片220打線機(jī)打線440打線23增加1臺倒裝貼片23增加1臺打線220現(xiàn)有點膠機(jī)底部填充220底部填充110塑封110/塑封110正印(鐳射)220110封裝模塊自動測220封裝模塊自動測220220/220外觀檢驗220印刷機(jī)錫膏印刷110SMT貼片110倒裝貼片220底部填充220蓋110110110ICOS封裝外觀檢測外觀檢驗110倒裝貼片110/倒裝貼片110/110SMTAOI檢測/SMT貼片110110/110塑封激光開槽塑封激光開槽塑封激光110點膠點膠機(jī)點膠110電磁屏蔽層濺射電磁屏蔽110塑封體劃片機(jī)110客制化封裝工藝設(shè)備倒裝貼片110倒裝貼片330/倒裝貼片0/110烘箱990/光刻01增加1臺/光刻04增加4臺光刻01增加1臺12寸TSV刻蝕機(jī)/01增加1臺12寸高溫PECVD/薄膜沉積02增加2臺/薄膜濺射01增加1臺四點探針/薄膜濺射01增加1臺/02增加2臺/01增加1臺/01增加1臺/屬互連藥劑配制05增加5臺回流爐回流02增加2臺回流爐增加EFM回流爐傳片02增加2臺/02增加2臺02增加2臺晶圓貼片機(jī)景焱JDB8800晶圓貼片01增加1臺晶圓貼片機(jī)配套晶圓貼片機(jī)傳片01增加1臺晶圓助焊劑清洗機(jī)晶圓回流01增加1臺晶圓等離子清洗、底填等離01增加1臺水滴角檢測等離子清洗01增加1臺晶圓底填機(jī)晶圓底部填充02增加2臺壓力烘箱晶圓底填固化、晶圓塑封后固化、底03增加3臺機(jī)晶圓塑封01增加1臺塑封減薄機(jī)晶圓減薄01增加1臺基板烘烤烤箱/晶圓烘烤06增加6臺錫膏印刷02增加2臺錫膏印刷02增加2臺元件貼裝02增加2臺自動光學(xué)檢測元件貼裝05增加5臺元件貼裝06增加6臺元件貼裝06增加6臺元件貼裝01增加1臺元件貼裝01增加1臺倒裝貼片機(jī)1倒裝貼片01增加1臺倒裝貼片機(jī)2倒裝貼片03增加3臺倒裝貼片02增加2臺倒裝貼片02增加2臺機(jī)倒裝貼片02增加2臺/貼片01增加1臺下板機(jī)/貼片01增加1臺下蓋板機(jī)/倒裝貼片01增加1臺01增加1臺01增加1臺底部填充04增加4臺底部填充01增加1臺打線04增加4臺片02增加2臺片01增加1臺貼片烘烤烤箱/散熱片固化03增加3臺02增加2臺01增加1臺植球Reflow歸正機(jī)01增加1臺01增加1臺熱風(fēng)回流焊爐晶圓回回流、植02增加2臺02增加2臺01增加1臺光學(xué)顯微鏡0增加10臺顯微鏡自動手臂/01增加1臺暫無01增加1臺01增加1臺01增加1臺01增加1臺01增加1臺01增加1臺0增加14臺出貨烘烤烤箱暫無出貨烘烤04增加4臺01增加1臺01增加1臺01增加1臺芯片分選機(jī)/01增加1臺塑封模具01增加1臺MGZ&BOAT清洗機(jī)治具清洗01增加1臺山木SM-8250-D01增加1臺備注：本項目涉及的輻射設(shè)備不在本報告評價范圍內(nèi)，需另行評1硅片68000片70000片+2000片50片/箱10500片225000千顆31000千顆5100千顆3250000千顆310000千顆顆10千顆/箱5150千顆4晶圓20000片20600片+600片50片/箱10500片528%氨水20L/桶單片式清洗16水420L/桶7ST250清020L/桶單片式清洗28020L/桶920L/桶光刻膠光刻去邊劑顯影液5L/瓶、丙酮3kg/瓶四氟化碳?xì)鍤飧煞ㄈツz、薄膜濺射合氣0高純氧氣50L/瓶干法去膠、薄膜濺射硫4八氟環(huán)丁烷去膠液20L/桶20L/桶(正硅酸乙酯)19L/瓶薄膜沉積氮3薄膜沉積050L/瓶130塊薄膜濺射130塊不銹鋼550110塊0110塊水20L/桶水20L/桶連SnAg藥水20L/桶1gal/瓶硫酸銅01gal/瓶01gal/瓶1gal/瓶10%硫酸8920L/桶10%氫氧化鉀20L/桶020L/桶Cu研磨液20L/桶420L/桶120L/桶[2液氮50m3/罐見備注液20L/桶液20L/桶120L/桶20L/桶5%四甲20L/桶11gal/瓶1gal/瓶電子氟01gal/瓶020L/桶回流020L/桶1gal/瓶導(dǎo)電銀膠010g/瓶正裝貼片非導(dǎo)電膠010g/瓶助焊劑150g/瓶回流、晶圓貼片、倒裝貼片、植球助焊劑820L/桶晶圓回流回流清洗、芯片底填膠30g/瓶晶圓底部填充、底部填充塑封料1015kg/袋晶圓塑封塑封料288015kg/袋塑封料3015kg/袋熱剝離膜05卷05kg/包塑封摸具05kg/包0/1000卷/年1100卷/年+100卷/年100m/卷100卷晶圓減薄、晶圓劃片015套+15套/15套晶圓減薄設(shè)備的配件20L/桶晶圓減薄020L/桶激光劃片01加侖/桶晶圓劃片刀片4500個/年5000個/年+500個/年350盒錫膏錫膏印刷潔紙03000卷100米/卷310卷金線aaa打線030g/支圍堰膠030g/支30g/支片3000千個+6000千個1千個/盒密封膠080g/支1kkea/罐0120000片+120000片/25000片泡棉01/0150卷310卷0150卷310卷05L/瓶塑封模具025kg/桶系統(tǒng)、污水站消泡劑025kg/桶系統(tǒng)阻垢劑025kg/桶垢劑025kg/桶殺菌劑025kg/桶025kg/桶化鈉025kg/桶系統(tǒng)、污水站0(or噸桶(廢水注[1]:本項目涉及生產(chǎn)和研發(fā)，研發(fā)時需要針對其中的某些工序進(jìn)行反復(fù)研發(fā)測試，因此，本項目使用的原輔料用量與產(chǎn)能不能簡單的成注[2]:液氮用于退火、晶圓回流、晶圓回流清洗、晶圓底填固化板烘烤、倒裝回流、倒裝回流清洗、烘烤、底填固化、散熱片固化、植球回流、植球回流清28%氨水味，相對密度0.91,飽和蒸汽壓1.59kpa,溶于水和醇鼠，經(jīng)口)明液體，有微弱的特殊氣味，熔點-2℃(無水)、沸點158℃(無水)、相對密度1.46(無水),溶于水、醇、醚，不溶于苯、石/ST250清/1~15%、有機(jī)酸0~5%。棕褐色至淺棕色液體，熔點-47℃、沸點107℃、相對密度0.62。(經(jīng)口)/混合物，有機(jī)胺化合物20~35%、范圍98-105℃,密度：0.97-1.07,經(jīng)口)明有刺激性臭味的液體，沸點120℃,凝固點-83.1℃,相對蒸汽密度1.27,相對密度1.26,與炸性混合物L(fēng)Cs(大鼠吸入):1276ppm1小時[I光刻膠I成分為1-甲氧-2-丙醇>99.0%、3-氨丙基硅三醇<0.5%、2-甲氧基-1-丙醇<0.3%。相對密度0.919,沸點120℃,閃點32℃,自燃溫度287℃。鼠，經(jīng)口)[2去邊劑/去邊劑是一種無色透明液體，主易燃LD?o(經(jīng)口，老鼠):要成分為丙二醇單甲醚乙酸酯30%、丙二醇單甲醚70%,閃點LD?o(經(jīng)皮，兔子)[I顯影液/無色透明液體，主要成分為丙二醇甲醚醋酸酯≥99.8%,熔點-87℃,密度0.97,沸點145-146℃,閃點42℃,易溶于易燃易爆LDs0(大鼠經(jīng)口):丙酮無色透明易流動液體，有芳香氣味，極易揮發(fā)，熔點-94.6℃,沸點56.5℃,相對密度0.8,飽和蒸汽壓53.32kpa、臨界溫度235.5℃、燃燒熱1788.7kJ/mol,氯仿、油類、羥類等多數(shù)有機(jī)溶劑。易燃易爆鼠，經(jīng)口);吸入)四氟化碳無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，熔點-184℃,沸點-128.1℃,不溶于水/氬氣202.64kPa(-179℃);熔點/氧氣無色無味氣體，氧元素最常見的單質(zhì)形態(tài)。熔點-218.4℃,沸點是很活潑，與許多物質(zhì)都不易產(chǎn)生作用。但在高溫下則很活躍，/無色、無臭、非易燃液化氣體。特點是相對密度極大，約為空氣的5倍左右。相對密度1.88(-50.8℃,液體),熔點-50.8℃,-63.8℃升華，>800℃時分解，臨界溫度45.6℃,臨界壓力3.81x105Pa,蒸汽密度6.6。學(xué)品都非常穩(wěn)定。美國ACGIH生產(chǎn)環(huán)八氟環(huán)丁烷無色無臭的氣體，沸點-6.04℃,急性毒性：大鼠吸入未見異常(20%為O?)[2去膠液/混合物，二甲基亞砜70~90%、乙醇胺1~15%、四甲基氫氧化銨<5%、去離子水<5%。無色至淺黃色液體，閃點>80℃,相對/無色透明液態(tài)，熔點-89.5℃,沸點82℃,閃點15℃,相對密度易燃口服);LCs0:53mg/L(小鼠，吸入，2h)(正硅酸乙酯)/無色液體，熔點-77℃,沸點168.5℃,密度0.9346g/cm3。它對空氣較穩(wěn)定，微溶于水。易燃急性毒性：LDs0:口);5878mg/kg(兔經(jīng)2130mg/m3,眼鼻刺851mg/m3,引起肺、3404mg/m3×7小時/日×30日，死亡，肺、腎、肝均有病理變無色、帶霉味的氣體，熔點度(水=1):1.89,相對蒸氣密急性毒性LCs0:19000mg/m3(大鼠吸入，1h);5600mg/m3(小鼠吸入，4h)一氧化二氮無色氣體，熔點-90.8℃,沸點/[3金屬互水/酸10-20%,PH值<1,沸點100℃,密度1.167。硫酸銅：LD50:下注冊)硫酸：LDs0:口服)/無氣味的綠色液體，主要成分為氨基磺酸鎳30-40%,氯化鎳<5%,有機(jī)化合物<1%,水55-65%,沸點100℃,相對密度 /水/淡黃色透明液體，主要成分為水74%、烷基磺酸10%、烷基磺酸點/凝固點-25~-15℃,沸點101℃,相對密度1.14(20℃),易溶于水。(經(jīng)口)LDs0,(經(jīng)皮膚)LDs0,點10.35℃、沸點338℃、相對蝕性。/硫酸銅純品，硫酸銅(Ⅱ),五水，藍(lán)色透明不對稱三斜晶系結(jié)晶、LD?0:482mg/kg(大鼠經(jīng)口);2000mg/kg顆粒或粉末，熔點：110℃,相溶于甲醇，不溶于乙醇。(大鼠經(jīng)皮)的酸味。熔點-27.32℃(38%),密度1.18(38%)、沸點110℃,與水混溶。/氫氧化鉀固態(tài)為白色晶體，易解潮，液態(tài)為無色透明液體，相對密度2.04,熔點360.4℃、沸點1320℃,溶于水、乙醇，微溶于醚，溶于水放出大量熱，易溶于LDso(大鼠經(jīng)口):Cu研磨液/水80~96%、二氧化硅1~5%、6~8,熔點-8℃,沸點100℃,密度1.0-1.2?？谇?大鼠):LDs0/水68~81%、二氧化硅18~27%、其他化合物1~5%,PH值為9.8~10.8,熔點0℃,沸點100℃,密度1.05-1.35?？谇?大鼠):LD?0/水70~88%、二氧化硅10~20%、10.7~12.7,凝固點-3℃,沸點100℃,密度1.0-1.4。口腔(大鼠):LDs0氮氣通常狀況下是一種無色無味的氣體，無色無臭氣體，密度0.81g/cm3,蒸汽壓1026.42kP(-173℃),熔點-209.8℃,沸點-195.6℃,微溶于水、乙醇。/[21銅腐蝕液/無色至微黃色透明液體，有微弱5%、添加劑5%、水90%,相對密度1.12g/cm3,與水混溶。LDso(小鼠經(jīng)口):皮):4060mg/kg;LDso(靜脈注射兔[4鈦腐蝕液/無色至微黃色透明液體，有微弱值<7,相對密度1.05g/cm3,與/味，熔點-42℃,沸點86℃,相對密度1.52,與水混溶。/四甲基氫/清澈液體，PH>13at20℃(68°F);LDso皮膚刺激小白鼠-449mg/kgLD?o皮膚刺激小白鼠-112mg/kg[2鍵合膠/無色透明粘稠液體，主要成分：烯烴聚合物25%、十氫蔡75%、丙烯酸酯類助劑5%,閃點57℃,不溶于水，可混溶于醇易燃鼠經(jīng)口)I成分：D-苧烯D-對萜-1,8-二烯100%,蒸氣密度4.7,沸點176-177℃、閃點43.33-55.6℃、D-苧烯：LDs?(大鼠(兔子皮膚接觸量)>5000mg/kg;48小甲酸/點4℃,沸點100.23℃,相對密LD??(大鼠經(jīng)口):/100%。熔點-111℃,沸點131℃,相對密度0.79,不溶于水。易燃易爆LD?o(大鼠經(jīng)口):液/分為正十二烯90-95%、十二烯5-10%、助劑1-5%,沸點(大鼠經(jīng)口)[1助焊劑/淡黃色透明酒精氣味液體，主要成分為異丙醇60%、酸改性氫化松香40%,沸點83℃,閃點10.5℃,相對密度0.816g/cm3(20℃),溶于水、醇、醚。易燃易爆異丙醇：LD50:3437mg/kg(經(jīng)口)[1]助焊劑清洗劑/10%,葡萄糖酸鈉17%,檸檬酸無色至微黃色液體，沸點114℃,比重9.07-1.07。鼠口服)[2芯片底填膠/(氧亞甲基)]二環(huán)氧乙烷10~20%、雙酚F環(huán)氧氯丙烷的聚合物5~15%、雙酚A型(2,2'-雙對羥苯基丙烷)環(huán)氧樹脂<5%、胺系硬化劑5~15%、炭黑<1%、二氧化硅55~65%、添加/塑封料3/黑色膏狀物，主要成分為2,2'-[1,6-亞蔡基二(氧亞甲基)]二<10%、二氧化硅80~90%。比重約2.01,不溶于水。//硅2~8%、去離子水73~93%、9.0~11.0,凝固點0℃,沸點100℃,相對密度1.0~1.2g/cm3?？谇?大鼠):LD?0[]激光保/醇甲醚10~20%、純水≥70%。透明微黃液體，有特殊氣味，沸點99℃,密度1.03-1.06。(魚類，96h)/混合物，水92.9%、聚乙二醇1.3%、甲基環(huán)氧乙烷與單辛苯基5.8%。透明至淡黃色的拉絲液體，閃電>105℃,沸點≤100℃,密度1.0-1.02。/錫膏/灰色膏狀，主要成分：錫80-90%、銀2.7%、銅0.1-3%、溶劑1-10%、有機(jī)胺1-5%、界面活性劑1-5%、聚合物0.1-3%。熔點為217-220℃,錫沸點2507℃、銀沸點2000℃、銅//混合物，無定形硅50~70%、甲亞甲基)]二環(huán)氧乙烷2.5~10%、4,4'-異亞丙基二苯酚、表氯醇的聚合物2.5~5%、酚醛環(huán)氧樹脂0.25~1%。黑色液體，閃電>93℃,密度1.8。/圍堰膠/主體成分為環(huán)氧樹脂，灰色粘稠液體，閃電>100℃,密度1.42。I[2散熱膠ILDs?:大鼠皮毒性：密封膠/基硅烷改性的氧化鋁84~87%?；疑承砸后w，閃電>100℃,沸點>100℃,密度2.7。(大鼠經(jīng)口)液RBS35/混合物，碳酸鈉<5%、焦磷酸鉀<5%、次氯酸鈉溶液<5%、十二烷基苯磺酸(大鼠經(jīng)口)注[1]:本項目光刻膠、顯影液、助焊劑、助焊劑清洗劑、激光保護(hù)液使本次挑選有機(jī)物含量最高的種類給出理化性質(zhì)情況，后續(xù)廢氣計算以有機(jī)物含量最高的計腐蝕液主要為水，含少量氫氧化鉀、過氧化氫，本項目使用的含氮的原輔材料為28%氨水0.2t/a、ST250清洗液4000L/a、氨水中含氨28%,氨中含氮量約82.35%,則氨水中氮含量約0.046t/a;光刻膠中3-氨丙基硅三醇0.5%,3-氨丙基硅三醇中含氮量約6.3量約0.0001t/a;去膠液中含乙醇胺8%、四甲基氫氧化銨5%,乙醇胺中含氮量約23%,四甲基氫氧化銨中含氮量約15.4%,則去膠液中氮含量約0.0104t/a;N?O含氮量約31.82%,則N?O中氮含量約0.1591t/a;金屬互連鎳藥水中含氨基磺酸鎳35%,氨基磺酸鎳中含氮約8.7%,則金屬互連鎳藥水中氮含量約0.003t/a;硝酸中含氮量約22.2%,則68%硝酸中氮含量為0.076t/a約15.4%,則5%四甲基氫氧化銨中氮含量約0.004t/a;助焊劑清洗液中葡萄糖酸鈉17%、檸檬酸鈉17%、乙醇胺9%,葡萄糖酸鈉中含氮約6氮約6.6%,乙醇胺中含氮約23%,則助焊劑清洗液中氮含量為0.2354t/a。本項目使用的原輔材料中氮含量總計0.534t/a。N?O、68%硝酸中的氮一部分進(jìn)入廢氣，一部分進(jìn)入固廢；氨水、光刻膠、去膠液、金屬互聯(lián)鎳藥水、5%四甲基氫氧化銨和助焊劑清洗液中的氮均以廢液的表2-6本項目氮元素平衡表(t/a)原輔材料名進(jìn)入產(chǎn)品000光刻膠000去膠液00000藥水00068%硝酸005%四甲基氫000液000小計000進(jìn)入廢氣000進(jìn)入產(chǎn)品00進(jìn)入廢氣000槽式去膠槽式去膠0進(jìn)入產(chǎn)品0進(jìn)入廢氣00薄膜沉積薄膜沉積0進(jìn)入產(chǎn)品00進(jìn)入廢氣000金屬互連鎳藥水中含氮-0.003金屬互連0進(jìn)入產(chǎn)品0進(jìn)入廢氣00濕法刻蝕濕法刻蝕0進(jìn)入產(chǎn)品0本項目使用的含氟的原輔材料為六氟化硫0.5t/a、八氟環(huán)丁化氮0.5t/a、四氟化碳0.1t/a、氫氟酸0.4t/a(49%氫氟酸0.2t/a、氫氟酸(1:100)0.2t/a),其中六氟化硫中含氟約78.08%,八氟環(huán)丁烷中含氟76%,三氟化氮中含氟約80.28%,四氟化碳中含氟約86.36%,氫氟酸中含氟中氟含量約0.3904t/a、八氟環(huán)丁烷中氟含量約0.038t/a、三氟化氮中氟含量約0.4014t/a;四氟化碳中氟含量約0.0864t/a、氫氟酸中氟含量約0.38t/a,則本項目使用的原輔材料中氟含量總計1.2962t/a,六氟化硫部分反應(yīng)進(jìn)入產(chǎn)品，其余的未參與反應(yīng)的六氟化硫與八氟環(huán)丁烷、三氟化氮、四氟化碳、氫氟酸中的氟均進(jìn)入廢氣經(jīng)處理后一部分進(jìn)入固廢，一部分排入外環(huán)境。本項目氟表2-7本項目氟元素平衡表(t/a)原輔材料名進(jìn)入產(chǎn)品六氟化硫0八氟環(huán)丁烷0000四氟化碳0000小計0000000000圖2-2本項目氟元素平衡圖(t/a)平衡原則：(1)本項目金