GB 50781-2012 電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范.pdf

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)EJ UDC P GB 50781 - 2012 電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 Technical code for Chemical System of Electronic Factory 2012一06-28 發(fā)布 2012 - 12 -01實(shí)施 。只u qo- 斗一元 , f -n u 句f -AU l m - 。一 5 0。 一-A F、- . TA - AM川1 四 Aj nv一 H口 - 一一定 統(tǒng) 一 中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 聯(lián)合發(fā)布 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) 電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 Technical code for Chemical System of Electronic Factory GB 50781 - 2012 主編部門:中華人民共和國工業(yè)和信息化部 批準(zhǔn)部門:中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 施行日期:2 0 1 2 年1 2 月1 日 中國計(jì)劃出版社 2012北京 標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費(fèi)下載 中華人民共和國 國家標(biāo)準(zhǔn) 電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 GB 50781-2012 會 中國計(jì)劃出版社出版 網(wǎng)址:www.jhpress. com 地址北京市西城區(qū)水樨地北里甲11號國宏大廈C座4層 郵政編碼:100038 電話(010)63906433 (發(fā)行部 新華書店北京發(fā)行所發(fā)行 北京tlt知l印務(wù)有限公司印刷 850mmX 1168mm 1/32 2.375印張59千字 2012年11月第l版2012年II月第l次印刷 會 統(tǒng)一書號1580177 938 定價(jià):15.00元 版權(quán)所有侵權(quán)必究 侵權(quán)舉報(bào)電話(010)63906404 如有印裝質(zhì)量問題，請寄本社出版部調(diào)換 中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告 第1434號 關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)電子工廠化學(xué)品 系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范的公告 現(xiàn)批準(zhǔn)電子工廠化學(xué)品 系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范為國家標(biāo)準(zhǔn)，編 號為GB50781一2012，自2012年12月1日起實(shí)施。其中，第 3.2.8(1、2、3、4)、6.1. 2、6.1. 5、6.4.2(7)條(款)為強(qiáng)制性條文， 必須嚴(yán)格執(zhí)行。 本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計(jì)劃出版社出版發(fā) 行。 中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 2012年6月28日 剛昌 本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部關(guān)于印發(fā)(2007年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī) 范制定、修訂計(jì)劃的通知(第二批)建標(biāo)(2007J126號文的要求， 由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司會同有 關(guān)單位共同編制完成。 本規(guī)范在編制過程中，根據(jù)我國集成電路工廠、平板顯示器件 工廠和太陽能電池工廠的設(shè)計(jì)、建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，同時(shí)考慮 工廠目前的現(xiàn)狀，對國外工程公司也進(jìn)行了調(diào)查研究，廣泛征求了 全國有關(guān)單位與個(gè)人意見，并反復(fù)修改，最后經(jīng)審查定稿。 本規(guī)范共分7章，主要內(nèi)容有:總則，術(shù)語、縮略語，化學(xué)品供 應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)品回收系統(tǒng)，化學(xué)品監(jiān)控及安全系統(tǒng)，相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì)， 工程施工及驗(yàn)收。 本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。 本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強(qiáng)制性條文的解 釋，工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究 院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行過程 中有意見和建議請寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程 股份有限公司電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范管理組(地址: 四川成都市雙林路251號，郵編:610021，傳真 .以 便今后修訂時(shí)參考。 本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人: 主編單位:信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份 有限公司 信息產(chǎn)業(yè)部電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站 參編單位:巾國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司 1 標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費(fèi)下載 上海華虹NEC電子有限公司 成都愛德工程有限公司 上海正帆科技有限公司 冠禮控制科技(上海有限公司 液化空氣上海有限公司 上海兄弟微電子技術(shù)有限公司 上海至純潔凈系統(tǒng)科技有限公司 主要起草人:李驥崔永祥劉序中王開源李東升 王鵬亮張志輝楊春蓉朱海英張家紅 簡建至杜寶強(qiáng)宋燕周禮譽(yù)陳盛云 吳建華巨龍 主要審查人:陳霖新薛長立路世昌 周向榮劉俊超 馮衛(wèi)中顧愛軍陳奕強(qiáng)毛煌林張悅 2 目次 1總則(1 ) 2 術(shù)語、縮略語 (2 ) 2. 1 術(shù)語 (2 ) 2. 2 縮略語 (4 ) 3 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng) ( 5 ) 3. 1 一般規(guī)定 ( 5 ) 3. 2 化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備 (5 ) 3. 3 化學(xué)品供應(yīng)管道系統(tǒng)(8 ) 3.4 設(shè)備與管道材質(zhì) (9 ) 3. 5 管道標(biāo)識 4 化學(xué)品回收系統(tǒng) 4. 1 一般規(guī)定 (10) (11 ) (11 ) 4.2 化學(xué)品回收設(shè)備 (11) 4. 3 化學(xué)品回收管道(1幻 5 化學(xué)品監(jiān)控及安全系統(tǒng)(13 ) 5.1 一般規(guī)定 (13 ) 5. 2 監(jiān)控與安全設(shè)備(13) 5. 3 監(jiān)控與安全系統(tǒng)(14) 6 相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì) U們 6. 1 建筑結(jié)構(gòu)(16 ) 6. 2 電氣與儀表控制 (17) 6. 3 給水排水及消防(18) 6. 4 通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié) u 7 工程施工及驗(yàn)收( 2 1 ) 7.1 一般規(guī)定( 2 1 ) 7. 2 設(shè)備、材料進(jìn)場驗(yàn)收( 2 1 ) 7.3 設(shè)備安裝 (22) 7. 4 化學(xué)品供應(yīng)管道安裝(23) 7. 5 雙層管道的施工安裝(24) 7.6 酸堿類化學(xué)品管道內(nèi)管焊接安裝(2的 7.7 溶劑化學(xué)品管道安裝(26) 7.8 廢液管道施工(28) 7.9 管道設(shè)備標(biāo)識(28) 7.四管路與系統(tǒng)檢測( 29) 7.11 改建工程的施工門0) 7. 12 工程驗(yàn)收門的 本規(guī)范用詞說明(33) 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄(34) 附:條文說明( 3日 2 Contents 1 General provisions( 1 ) 2 T erms and abbreviation( 2 ) 2.1 Terms ( 2 ) 2. 2 Abbreviation ( 4 ) 3 Chemical distribution system ( 5 ) 3. 1 General requirement( 5 ) 3. 2 Distribution equipmenl( 5 ) 3. 3 Distribution piping( 8 ) 3. 4 Equipment and piping materials( 9 ) 3. 5 Piping identification(10) 4 Chemical reclaiming system( 1 1 ) 4. 1 General requirement(11 ) 4. 2 Reclaiming equipment(11 ) 4. 3 Reclaiming piping(12 ) 5 Chemical moniter and safety system(13 ) 5. 1 General requirement (13 ) 5. 2 Equipment requirement(13 ) 5. 3 System requirement. (14) 6 Design of relating disciplines (16 ) 6. 1 Architecture and structure( 16) 6. 2 Electrical and inSLrUmenl control (17) 6. 3 Plumbing and fire protection (18) 6. 4 HVAC(19 ) 7 Engineering construction and acceptance( 2 1 ) 3 標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng) w w w .b z f x w .c o m 免費(fèi)下載 7.1 General requirement( 2 1 ) 7. 2 Site inspection and acceptance of equipment and materials( 2 1 ) 7. 3 Equipment installation( 22) 7.4 Piping installation of chemical distribution system( 23) 7. 5 Construction and installation of containing piping(24) 7.6 Welding installation of inner piping of acid/ alkaline containing piping ( 26) 7. 7 Installation of solvent piping ( 2 6 ) 7. 8 Construction waste liquid piping(28) 7. 9 Piping equipment identification( 28) 7. 10 System inspection and testing(29) 7. 11 Construction of renovation engineering (30) 7. 12 Engineering inspection and acceptance( 30) Explanation of wording in this code ( 33) List of quo ted standards (34) Addition: Explanatio n of provisions ( 3 5 ) 4 1總則 1. 0.1 為使電子工廠化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、化學(xué)品回收系統(tǒng)及其配套 裝置的工程設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收，貫徹國家工程建設(shè)的政策方針，確 保工程安全可靠、節(jié)約能游、保護(hù)環(huán)境、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用，制定 本規(guī)范。 1. O. 2 本規(guī)范適用于電子產(chǎn)業(yè)中的集成電路、平板顯示器件和太 陽能電池等電子工廠生產(chǎn)工藝中的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、化學(xué)品回收 系統(tǒng)的新建、改建、擴(kuò)建工程的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收。 1. O. 3 本規(guī)范不適用于電子工廠中的化學(xué)品庫房、設(shè)備清洗、廢 水處理、純水制備、廢氣處理等生產(chǎn)輔助和公用設(shè)施系統(tǒng)的化學(xué)品 系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收。 1. O. 4 電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收，除應(yīng)符合 本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 1 2 術(shù)語、縮略語 2. 1術(shù)語 2.1.1 化學(xué)品系統(tǒng)chemical system 電子工廠中酸堿化學(xué)品、溶劑化學(xué)品、研磨液化學(xué)品系統(tǒng)的統(tǒng) 稱。 2.1. 2 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)chemical supply system 電子工廠中酸堿化學(xué)品、溶劑化學(xué)品、研磨液化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng) 管道與設(shè)備的統(tǒng)稱。 2.1. 3 化學(xué)品回收系統(tǒng)chemical reclaiming system 電子工廠中酸堿化學(xué)品、溶劑化學(xué)品、研磨液化學(xué)品回收系統(tǒng) 管道與設(shè)備的統(tǒng)稱。 2.1. 4 化學(xué)品槽車chemical lorry 電子工廠中用于運(yùn)送大用量化學(xué)品的專業(yè)車輛。 2.1. 5 化學(xué)品桶槽chemical container 電子工廠中用于儲存化學(xué)品的小容積容器，放置在化學(xué)品儲 存、分配間的化學(xué)品單元內(nèi)部。 2.1. 6 化學(xué)品儲罐chemical storage tank 電子工廠中用于儲存化學(xué)品的大容積容器，固定布置在化學(xué) 品儲存、分配間內(nèi)。 2.1.7 閱門箱valve manifold box (VMB) 指化學(xué)品通過供應(yīng)管道可同時(shí)供應(yīng)兩臺或以上的生產(chǎn)設(shè)備的 閥門操作箱。 2.1. 8 分支閱箱tee box (TB) 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中供應(yīng)兩個(gè)或以上的間門箱的管道分配箱。 2.1. 9 擴(kuò)充閥箱future tee box (FTB) 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中用于系統(tǒng)擴(kuò)充的設(shè)置于系統(tǒng)末端的閱箱。 2.1.10 取樣閥箱sampling box (SB) 指化學(xué)品管道上用于化學(xué)品取樣的閥門箱體。 2.1.11 泄漏探測器leakage detector 用于探測化學(xué)品單元、化學(xué)品儲罐及化學(xué)品閥門箱等設(shè)備發(fā) 生化學(xué)品泄漏井給出信號的裝置。 2.1. 12 化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng) chemical monitor and control system 用來對化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)品回收系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)監(jiān)控、顯示、報(bào) 警、數(shù)據(jù)收集等功能的遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。 2.1.13 化學(xué)品稀釋單元chemical dilution unit 電子工廠的化學(xué)品系統(tǒng)中用純水稀釋高濃度化學(xué)品設(shè)備的統(tǒng) 稱。 2.1.14 化學(xué)品?昆合單元chemical mixing unit 電子工廠的化學(xué)品系統(tǒng)中作為混合兩種或以上化學(xué)品設(shè)備的 統(tǒng)稱。 2.1.15 化學(xué)品補(bǔ)充單元chemical charge uni t 槽車的化學(xué)品系統(tǒng)備用供應(yīng)設(shè)備。 2.1.16 化學(xué)品供應(yīng)單元chemical transfer unit 向電子工廠工藝系統(tǒng)供應(yīng)化學(xué)品的設(shè)備。 2.1.17 化學(xué)品單元chemical unit 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中化學(xué)品補(bǔ)充單元、化學(xué)品稀釋單元、化學(xué)品 ?昆合單元、化學(xué)品供應(yīng)單元等柜體的統(tǒng)稱。 2.1. 18 化學(xué)品儲存、分配間 chemical storage distri bu tion roo口1 電子工業(yè)生產(chǎn)廠房或獨(dú)立建(構(gòu))筑物內(nèi)用于布置化學(xué)品儲 存、分配設(shè)備與系統(tǒng)的房間的統(tǒng)稱。 2.1.19 液位探測器level sensor 用于探測化學(xué)品儲罐、化學(xué)品單元內(nèi)桶槽的液位的測量元件。 2.1.20 火焰探測器ultraviolet rays 2 應(yīng)設(shè)計(jì)日用桶糟，日用桶槽的容量應(yīng)為該化學(xué)品24.0h的 消耗量; 3 當(dāng)單一或多種化學(xué)品的儲存數(shù)量達(dá)到現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)危險(xiǎn) 化學(xué)品重大危險(xiǎn)源辨識)GB18218規(guī)定的數(shù)鹽時(shí)，應(yīng)設(shè)置單獨(dú)用 于化學(xué)品的儲存與分配的建(構(gòu))筑物。 3.2 化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備 3.2.1 化學(xué)品供應(yīng)單元的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 供應(yīng)單元的設(shè)備、管路應(yīng)設(shè)置于箱柜內(nèi)，箱柜頂部直裝設(shè) 高效空氣過濾器，并應(yīng)與單元門有自動聯(lián)動功能，還應(yīng)設(shè)排氣連接 口并與相應(yīng)的排氣處理系統(tǒng)連接; 2 供應(yīng)單元應(yīng)設(shè)有確認(rèn)化學(xué)品種類等信息的條形碼讀碼機(jī)， 單元柜體應(yīng)設(shè)有危險(xiǎn)性標(biāo)識; 3 供應(yīng)單元應(yīng)設(shè)有清洗和吹掃槽車快速接頭的純水槍和氯 氣槍，有機(jī)溶劑化學(xué)品補(bǔ)充單元不應(yīng)設(shè)純水槍; 4 不同化學(xué)品應(yīng)設(shè)置不同型號、不同規(guī)格的快速接頭; 5 可燃溶劑化學(xué)品供應(yīng)單元應(yīng)設(shè)防靜電接地，補(bǔ)充化學(xué)品 時(shí)，靜電接地線應(yīng)與化學(xué)品桶或槽車連接; 6 供應(yīng)單元箱柜門應(yīng)設(shè)安全連鎖裝置，當(dāng)非正常打開時(shí)，應(yīng) 即時(shí)報(bào)警; 7 當(dāng)采用泵輸送時(shí)，直采用二組并聯(lián)設(shè)計(jì)，當(dāng)采用氯氣輸送 時(shí)，兩個(gè)壓力桶應(yīng)交替使用; 8 供應(yīng)單元的桶槽應(yīng)設(shè)計(jì)氯氣密封; 9 供應(yīng)單元的出口應(yīng)設(shè)有自動和手動闊，自動闊的信號應(yīng)連 接監(jiān)控系統(tǒng)，并應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備的需求而開關(guān)，同時(shí)應(yīng)設(shè)有聯(lián)動的 緊急按鈕裝置; 10 供應(yīng)單元應(yīng)設(shè)置緊急停止按鈕和顯示系統(tǒng)狀態(tài)的三色指 示燈，緊急按鈕啟動時(shí)，應(yīng)發(fā)出聲y(:;報(bào)警信號;供應(yīng)單元的桶槽應(yīng) 設(shè)置液位探測計(jì)和高低液位報(bào)警裝置，同時(shí)宜設(shè)置可目視的液位 計(jì)。 3.2.2 化學(xué)品供應(yīng)單元應(yīng)設(shè)緊急停止按鈕，當(dāng)系統(tǒng)流量過大或不 符合工藝要求時(shí)，系統(tǒng)應(yīng)自動停機(jī)，并應(yīng)在啟動時(shí)發(fā)出警報(bào)聲及紅 光閃爍。 3.2.3 槽車的化學(xué)品系統(tǒng)可設(shè)計(jì)化學(xué)桶槽的補(bǔ)充單元作為備用 系統(tǒng)，井應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 化學(xué)品桶槽應(yīng)置于化學(xué)品箱柜內(nèi)，200.0L化學(xué)品桶槽應(yīng) 有被筒輸送臺; 2 補(bǔ)充單元的其他設(shè)計(jì)應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的有關(guān)規(guī)定。 3.2.4 化學(xué)品單元應(yīng)為柜體內(nèi)的氣動組件設(shè)計(jì)壓縮空氣管道系統(tǒng)。 3.2.5 化學(xué)品稀釋單元的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 稀釋單元采用泵循環(huán)時(shí)，循環(huán)泵的設(shè)計(jì)宜二組并聯(lián)，其中 一組應(yīng)為備用; 2 稀釋單元應(yīng)按化學(xué)品的特性、濃度計(jì)精度要求選用測量原 理不同的濃度計(jì); 3 稀釋單元可根據(jù)用量及精度要求選擇連續(xù)式和批次式系統(tǒng); 4 補(bǔ)充單元的其他設(shè)計(jì)應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的有關(guān)規(guī)定。 3.2.6 可燃溶劑化學(xué)品單元應(yīng)設(shè)有熱感應(yīng)及火焰探測器，探測器 信號應(yīng)與消防系統(tǒng)連接。 3.2.7 化學(xué)品儲罐的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 化學(xué)品儲罐應(yīng)采用氯氣密封; 2 化學(xué)品儲罐應(yīng)根據(jù)體積大小設(shè)置檢修口，并宜設(shè)檢修用不 銹鋼爬梯等; 3 當(dāng)采用氮?dú)廨斔蜁r(shí)，化學(xué)品儲罐應(yīng)設(shè)爆破膜、安全閱等泄 壓裝置; 4 化學(xué)品儲罐應(yīng)設(shè)置液位探測計(jì)，并應(yīng)設(shè)有高高、高、低、低 低液位報(bào)警，同時(shí)應(yīng)設(shè)計(jì)可日視的液位計(jì); 5 化學(xué)品儲罐外部明顯處應(yīng)表明儲罐的編號、化學(xué)品名稱， 字體高度不應(yīng)小于40cm; 6 化學(xué)品儲罐應(yīng)預(yù)留必要的管路出人口，并應(yīng)設(shè)排放口及排 放閥。 3.2.8 化學(xué)品的儲存、分配間的液體儲罐，應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施， 并應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 可燃溶劑儲罐區(qū)應(yīng)設(shè)置防火堤，防火堤容積應(yīng)大于堤內(nèi)最 大儲罐的單罐容積; 2 酸耐類化學(xué)晶、腐蝕性化學(xué)晶液體儲罐區(qū)應(yīng)設(shè)置防護(hù)堤， 防護(hù)堤容積應(yīng)大于堤內(nèi)最大儲罐的單罐容積; 3 氧化性、腐蝕性化學(xué)品液體與可燃溶劑儲罐之間、相互接 觸會引起化學(xué)反應(yīng)的可燃溶劑儲罐之間應(yīng)設(shè)置隔堤，隔堤容積應(yīng) 大于隔堤內(nèi)最大儲罐單罐容積的10%; 4 防火堤及隔堤應(yīng)能存受所容納灌體的靜壓，且不應(yīng)滲漏; 臥式儲罐防火堤的高度不應(yīng)低于500mm，并應(yīng)在防火堤適當(dāng)位置 設(shè)置人員進(jìn)出的踏步; 5 防火堤、防護(hù)堤、隔堤四周應(yīng)設(shè)置泄漏收集溝，溝內(nèi)應(yīng)設(shè)置 泄漏收集坑，不同性質(zhì)的化學(xué)品泄漏收集溝不應(yīng)連通。 3.2.9 化學(xué)品儲存、分配間四周應(yīng)設(shè)置泄漏廢液收集溝，溝內(nèi)應(yīng) 設(shè)置廢液收集坑，不同性質(zhì)的化學(xué)品泄漏廢液收集溝不應(yīng)連通。 3.2.10 閥門箱的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 閥門箱內(nèi)支管數(shù)量應(yīng)按工藝要求確定，宜預(yù)留擴(kuò)充接頭， 每一支管應(yīng)設(shè)有切斷閱、排液閥; 2 閥門箱底部應(yīng)設(shè)泄漏或維修用的排液閥; 3 閥門箱應(yīng)設(shè)置排氣口，并連接至相應(yīng)的排氣處理系統(tǒng); 4 閥門箱蓋宜采用彈簧扣環(huán)設(shè)計(jì)，其承受壓力應(yīng)大于O.OlMPao 3.3 化學(xué)品供應(yīng)管道系統(tǒng) 3.3.1 化學(xué)品供應(yīng)管道系統(tǒng)布置應(yīng)滿足生產(chǎn)操作、安裝及維修的 要求，管道應(yīng)采用架空散設(shè)。 3.3.2 化學(xué)品供應(yīng)管道設(shè)計(jì)流向應(yīng)從下往上，化學(xué)品配送系統(tǒng)與使 用設(shè)備為同一高度，且管路最高點(diǎn)存在死角時(shí)，應(yīng)配備除氣泡裝置。 3.3 . 3 酸堿類、研磨液、腐蝕性溶劑化學(xué)品應(yīng)設(shè)計(jì)雙套管，雙套管 的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 內(nèi)管不應(yīng)有焊接頭; 2 三通、異徑管、轉(zhuǎn)接頭等焊接部位應(yīng)設(shè)置在箱體內(nèi); 3 非焊接接頭應(yīng)設(shè)置在箱體內(nèi)。 3.3.4 研磨液化學(xué)品管道應(yīng)縮短化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備到使用點(diǎn)的距 離，并宜減少彎頭數(shù)量。 3.3.5 非腐蝕性溶劑類化學(xué)品宜采用不銹鋼管道材質(zhì)，管道連接 應(yīng)采用氫弧焊自動焊接，非焊接連接點(diǎn)的部位應(yīng)置于箱體內(nèi)。 3. 3.6 管道穿過墻壁或樓板時(shí)，應(yīng)敷設(shè)在套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段 不應(yīng)有焊縫。管道與套管間應(yīng)采用不燃材料填塞。 3.37 管道與閥門、設(shè)備連接時(shí)，應(yīng)采用與閱門、設(shè)備所配置相同 的連接方式。 3.4 設(shè)備與管道材質(zhì) 3.4.1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)與介質(zhì)接觸的儲罐、桶槽、管道、管道附件 應(yīng)采用不與化學(xué)品產(chǎn)生反應(yīng)、并不向化學(xué)品介質(zhì)滲透微量物質(zhì)的 材質(zhì)，系統(tǒng)材質(zhì)的選用應(yīng)符合表3.4. 1的規(guī)定。 袤3.4.1化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的材質(zhì)選用 化學(xué)品類別酸堿化學(xué)品腐蝕性榕ifiJ化學(xué)品 非腐蝕溶劑 化學(xué)品 化學(xué)品裝置 化學(xué)品單元外殼PP或PVCPP或PVC不銹鋼 閥門箱和三通箱外殼PP或PVCPP或PVC不銹鋼 內(nèi)襯PFA或PTFE 的SUS304儲罐/內(nèi)內(nèi)襯PFA或PT- 化學(xué)品儲罐 襯PFA或PTFE的FE的碳鋼儲罐/ SUS316L-EP 碳鋼儲罐/內(nèi)襯PFA內(nèi)襯PFA或PT- 或PTFE的FRP儲FE的SUS304 鍬 內(nèi)襯PFA或PTFE 內(nèi)襯PFA或PT- 的PE桶槽/內(nèi)襯 FE的SUS304桶 化學(xué)品桶糟槽/內(nèi)襯PFA或316L-EP PFA或PTFE的 PTFE的碳鋼橢 SUS304桶糟 槽 管胳 PFA+透明PVC雙PFA+SUS304雙 SUS316LEP管 套管套管 PFA (外殼)/PTFE SUS316EP (夕+ SUS316EP(外殼 閥門 (膜片 殼)/PTFE (膜 / PTFE(膜片) 片 接頭PFA/PTFE/ PVDF SUS316 SUS316 3.4.2 酸堿類、腐蝕性溶劑類化學(xué)品管路中的閥門密封，應(yīng)采用 PFA或PTFE材質(zhì)，溶劑化學(xué)品管路中的閥門密封材料應(yīng)采用不 與輸送介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)的材質(zhì)。 9 3.4.3 酸堿類化學(xué)品的主供應(yīng)管道應(yīng)采用內(nèi)管PFA、外管c pvc的雙套管，隔膜閱應(yīng)采用PFA材質(zhì)。非 腐蝕性溶劑化學(xué)品 的主供應(yīng)管道應(yīng)采用SUS316LEP管，腐蝕性榕劑化學(xué)品的主供 應(yīng)管路應(yīng)采用內(nèi)管PFA、外管SUS304的雙套管，隔膜閥應(yīng)采用 SUS316Lo 3.5管道標(biāo)識 3.5.1 化學(xué)品管道標(biāo)識形狀應(yīng)為長方形，底色應(yīng)為白色，上面應(yīng) 用不同顏色箭頭表示化學(xué)品種類與流向，箭頭中央應(yīng)采用黑色宋 體字寫明其中文名稱以及分子式。 3.5.2 酸堿類化學(xué)品宜采用白底黃色箭頭，研磨液類化學(xué)品宜采 用白底黃色箭頭，榕劑類化學(xué)品宜采用白底紅色箭頭。 3.5.3 化學(xué)品供應(yīng)管道的管道標(biāo)識應(yīng)符合下列規(guī)定: 識; 1 管徑等于或小于DN25的管道應(yīng)每2m4m設(shè)計(jì)一個(gè)標(biāo) 2 管徑大于DN25的管道應(yīng)每4m6m設(shè)計(jì)一個(gè)標(biāo)識; 3 兩個(gè)設(shè)備間的管道宜設(shè)計(jì)一個(gè)標(biāo)識; 4 組裝箱、轉(zhuǎn)彎及離墻30cm處應(yīng)設(shè)計(jì)標(biāo)識i 5 管道的標(biāo)識應(yīng)設(shè)于管道外側(cè)的位置。 3.5. 4 管道標(biāo)識還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)管道的基本識別 色、識別符合和安全標(biāo)識)GB7231的有關(guān)規(guī)定。 10 4 化學(xué)品回收系統(tǒng) 4.1一般規(guī)定 4.1.1 化學(xué)品回收系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)排放物的性質(zhì)確定，不得將發(fā)生化 學(xué)反應(yīng)的兩種或多種物質(zhì)合并為一個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行回收。 4.1. 2 化學(xué)品回收宜采用集中處理系統(tǒng)，通過收集桶或槽車送至 專業(yè)工廠回收處理。 4.1. 3 化學(xué)品回收系統(tǒng)的設(shè)備與管道材質(zhì)宜符合本規(guī)范第3.4 節(jié)的規(guī)定。 4.1. 4 化學(xué)品回收系統(tǒng)的管道標(biāo)識應(yīng)符合本規(guī)范第3.5節(jié)的規(guī) 定。 4.2 化學(xué)品回收設(shè)備 4.2.1 生產(chǎn)廠房內(nèi)化學(xué)品回收桶槽的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 回收桶槽應(yīng)設(shè)置備用桶槽并設(shè)置自動切換系統(tǒng)，并應(yīng)根據(jù) 液位指示能自動切換; 2 回收桶槽應(yīng)設(shè)液位計(jì)，并應(yīng)有高液位指示、報(bào)警功能; 3 回收桶槽周圍應(yīng)設(shè)有備用的空桶、推車、地磅等。 4.2.2 化學(xué)品廢液集中回收儲罐的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 溶劑化學(xué)品回收系統(tǒng)應(yīng)與酸堿化學(xué)品回收系統(tǒng)分區(qū)域放 置; 2 回收化學(xué)品桶罐宜儲存7d的廢液量; 3 廢液通過泵外運(yùn)時(shí)，回收系統(tǒng)在室外應(yīng)有與外運(yùn)槽車相連 的快速接頭，可燃溶劑回收系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)防靜電裝置。 4.2.3 化學(xué)品回收系統(tǒng)的設(shè)備應(yīng)置于防護(hù)堤內(nèi)，防護(hù)堤的容積應(yīng) 大于堤內(nèi)最大儲罐的單罐容積，防護(hù)堤內(nèi)應(yīng)設(shè)置泄漏廢液收集溝， 11 溝內(nèi)應(yīng)設(shè)置廢液收集池，不同性質(zhì)的化學(xué)品回收設(shè)備應(yīng)布置在不 同的防護(hù)堤內(nèi)。 4.2.4 化學(xué)品回收設(shè)備的其他設(shè)計(jì)應(yīng)符合本規(guī)范第3.2節(jié)的有 關(guān)規(guī)定。 4.3 化學(xué)晶回收管道 4.3.1 化學(xué)品回收系統(tǒng)管道布置應(yīng)滿足生產(chǎn)操作、安裝及維修 的要求，管道宜采用架空敷設(shè)。 4.3.2 化學(xué)品回收系統(tǒng)管道流向應(yīng)從上到下，并應(yīng)為重力流。排 放設(shè)備與化學(xué)品回收系統(tǒng)之間無法實(shí)現(xiàn)重力流排放時(shí)，應(yīng)增加中 間儲槽，并應(yīng)采用泵送方式將中間儲槽的化學(xué)品輸送至最終收集 槽。 4.3.3 化學(xué)品回收管道的其他設(shè)計(jì)應(yīng)符合本規(guī)范第3.3節(jié)的有 關(guān)規(guī)定。 12 5 化學(xué)品監(jiān)控及安全系統(tǒng) 5.1一陋規(guī)定 5.1.1 電子工廠的化學(xué)品系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置化學(xué)品監(jiān)控及安全系 統(tǒng)。 5.1.2 電子工廠的化學(xué)品系統(tǒng)有關(guān)設(shè)備、設(shè)施和場所環(huán)境應(yīng)設(shè)置 化學(xué)品泄漏探測器。 5.1. 3 電子工廠的化學(xué)品泄漏探測器的報(bào)警信號應(yīng)與安全系統(tǒng) 進(jìn)行聯(lián)鎖。 5.2 監(jiān)控與安全設(shè)備 5.2.1 化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)可編邏輯控制器及兩臺或以上計(jì)算 機(jī)作為數(shù)據(jù)監(jiān)控與采集系統(tǒng)的操作接口，并應(yīng)配備打印機(jī)。 5.2.2 數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)計(jì)算機(jī)應(yīng)設(shè)于化學(xué)品控制室內(nèi)，并應(yīng)配置數(shù) 據(jù)儲存設(shè)備。 5.2.3 數(shù)據(jù)監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)具有下列功能: 1 化學(xué)品系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)圖，應(yīng)包含壓力、液位高度、閱門開關(guān) 及泵的狀態(tài); 2 泄漏檢測及設(shè)備位置圖; 3 化學(xué)品使用量的記錄; 4 化學(xué)品的pH值、比重、濃度等; 5 酸、堿及榕劑化學(xué)品排風(fēng)監(jiān)視; 6 供應(yīng)系統(tǒng)出口閥與VMB各支管出口閥每日開關(guān)次數(shù)與 時(shí)間; 7 記錄狀態(tài)改變的系統(tǒng)警報(bào)，事件的時(shí)間、日期、位置; 8 信息輸出打印。 13 5.3 監(jiān)控與安全系統(tǒng) 5.3.1 化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列要求: 1 應(yīng)配置化學(xué)品的連續(xù)檢測、指示、報(bào)警、分析的功能; 2 宜為獨(dú)立的系統(tǒng)，并應(yīng)與工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)和消防報(bào) 警控制系統(tǒng)相連; 3 應(yīng)設(shè)在主廠房獨(dú)立房間或全廠動力控制中心，在消防控制 室和應(yīng)急處理中心宜設(shè)化學(xué)品報(bào)警顯示。 5.3.2 化學(xué)品系統(tǒng)的探測裝置應(yīng)符合下列要求: 1 儲存、輸送、使用化學(xué)品的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置化學(xué)品 液體或氣體泄漏探測器，并應(yīng)在發(fā)生泄漏時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警: 1)使用化學(xué)品的工藝設(shè)備; 2)化學(xué)品供應(yīng)單元、化學(xué)品補(bǔ)充單元、化學(xué)品稀釋單元設(shè)備 箱柜; 3)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的閥門箱; 4)化學(xué)品儲罐的防火堤、隔堤。 2 儲存、輸送、使用化學(xué)品的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置溶劑化 學(xué)品氣體探測器，并應(yīng)在發(fā)生泄漏時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警: 1)供應(yīng)榕劑化學(xué)品的設(shè)備箱柜、排風(fēng)口及其房間; 2)使用溶劑化學(xué)品的工藝設(shè)備、排風(fēng)口及其房間; 3)供應(yīng)溶劑化學(xué)品的閥門箱、排風(fēng)口及其房間。 3 化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)報(bào)警設(shè)定值應(yīng)符合下列規(guī)定: 1)易燃易爆溶劑氣體-級報(bào)警設(shè)定值應(yīng)小于或等于可燃性 化學(xué)品爆炸濃度下限值的25%，二級報(bào)警設(shè)定值應(yīng)小于 或等于可燃性化學(xué)品爆炸濃度下限值的50%; 2)酸堿化學(xué)品一級報(bào)警設(shè)定值應(yīng)小于或等于空氣中有害物 質(zhì)最高允許濃度值的50%，二級報(bào)警設(shè)定值應(yīng)小于或等 于空氣中有害物質(zhì)最高允許濃度值的100%。 4 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置化學(xué)品連續(xù)不間斷供應(yīng)的監(jiān)控系統(tǒng)，并應(yīng) 符合下列要求: 1)各化學(xué)品連續(xù)不間斷供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)具有現(xiàn)場控制盤，能將 控制模塊連至設(shè)備流程上，至少包含系統(tǒng)狀態(tài)、設(shè)備的緊 急停止運(yùn)轉(zhuǎn)、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)報(bào)警(包含桶槽已空)等信 息; 2)監(jiān)控系統(tǒng)圖面應(yīng)能監(jiān)視桶槽與儲罐的液位高度i 5.3.3 使用化學(xué)品系統(tǒng)的生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置安全監(jiān)控系統(tǒng)，并應(yīng)符 合下列要求: 1 應(yīng)設(shè)置閉路電視監(jiān)控?cái)z像機(jī)與門禁系統(tǒng); 2 應(yīng)設(shè)置安全管理顯示屏; 3 使用場所內(nèi)及相關(guān)建筑主人口、內(nèi)通道等處應(yīng)設(shè)置燈光閃 爍報(bào)警裝置，燈光顏色應(yīng)與其他燈光報(bào)警裝置的燈光顏色相區(qū)別。 5.3.4 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)化學(xué)品泄漏報(bào)警的控制系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列 要求: 1 化學(xué)品泄漏探測器確認(rèn)化學(xué)品泄漏時(shí)，應(yīng)啟動相應(yīng)的事故 排風(fēng)裝置，并應(yīng)關(guān)閉相關(guān)部位的切斷閥，同時(shí)應(yīng)能接受反饋信號; 2 化學(xué)品?世漏探測器確認(rèn)化學(xué)品泄漏時(shí)，應(yīng)自動啟動泄漏現(xiàn) 場的聲光報(bào)警裝置; 3 化學(xué)品泄漏探測器確認(rèn)化學(xué)品泄漏時(shí)，應(yīng)將信號傳至安全 顯示屏; 4 當(dāng)?shù)卣鹛綔y裝置報(bào)警時(shí)，化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)能啟動現(xiàn)場的 聲光報(bào)警裝置。 15 6 相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì) 6.1建筑結(jié)構(gòu) 6.1.1 布置于生產(chǎn)廠房內(nèi)的甲、乙類化學(xué)品間的耐火等級不應(yīng)低 于二級，結(jié)構(gòu)構(gòu)件的耐火極限應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火 規(guī)范)GB50016的有關(guān)規(guī)定。 6.1. 2 易燃易爆溶劑化學(xué)晶間應(yīng)設(shè)置泄壓設(shè)施，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn) 行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范)GB50016的有關(guān)規(guī)定。 6.1. 3 易燃易爆榕劑化學(xué)品間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 安全出口不應(yīng)少于兩個(gè)，且應(yīng)布置在不同方向，門應(yīng)向疏 散方向開啟; 2 相鄰兩個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于 5.0m，其中一個(gè)應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門應(yīng)滿足防火及 防爆要求; 3 房間面積小于或等于100m 2 、且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超 ，過5人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口; 4 溶劑房間的門窗應(yīng)采用撞擊時(shí)不產(chǎn)生火花的材料制作; 5 榕劑房間應(yīng)采用不發(fā)生火花的地面。 6.1. 4 易燃易爆溶劑化學(xué)品和l氧化性化學(xué)品儲存、分配間與其他 房間之間，應(yīng)采用3.0h實(shí)體防火墻和耐火極限不低于1.5h的不 燃燒體樓板與其他部分隔開，實(shí)體防火墻上不得開設(shè)門窗洞口;當(dāng) 設(shè)置雙門斗相通時(shí)，門應(yīng)錯(cuò)位布置，應(yīng)采用甲級防火門。 6.1. 5 化學(xué)晶監(jiān)控及安全系統(tǒng)集中控制室應(yīng)設(shè)置在獨(dú)立的房間 內(nèi);當(dāng)與易燃易爆溶劑化學(xué)晶儲存、分配間、回收間等相鄰時(shí)，控制 室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè) 計(jì)規(guī)范)GB50058的有關(guān)規(guī)定。 6.1.6 化學(xué)品儲存、分配間的高度應(yīng)滿足設(shè)備與管道布置的要 求，且不宜低于4.5m。 6.1. 7 化學(xué)品儲存、分配間的地面、門窗、墻面宣采取防腐蝕的設(shè) 計(jì)措施。 6.1. 8 化學(xué)品間內(nèi)的裝修材料應(yīng)符.合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑內(nèi)部裝 修設(shè)計(jì)防火規(guī)范)GB50222的有關(guān)規(guī)定。 6.1. 9 生產(chǎn)廠房及獨(dú)立的化學(xué)品儲存、分配間外的化學(xué)品供應(yīng)槽 車灌充區(qū)域四周應(yīng)設(shè)置地溝，槽車停放地面及四周的地溝內(nèi)應(yīng)進(jìn) 行防腐蝕設(shè)計(jì)。 6.2 電氣與儀表控制 6.2.1 配電與照明應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 化學(xué)品間的電力負(fù)荷等級應(yīng)符合下列規(guī)定: 1)化學(xué)品間電力設(shè)備的負(fù)荷等級應(yīng)與主廠房的最高負(fù)荷等 級相同; 2)化學(xué)品檢測與控制系統(tǒng)為一級負(fù)荷，并應(yīng)配置UPS不間 斷電源。 2 易燃易爆溶劑化學(xué)品間的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)的電氣設(shè)施 應(yīng)按2區(qū)設(shè)防，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力 裝置設(shè)計(jì)規(guī)范)GB50058的有關(guān)規(guī)定。 3 化學(xué)品間的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安 裝在設(shè)備正上方，并應(yīng)設(shè)置備用照明。 4 化學(xué)品間的電氣設(shè)備應(yīng)進(jìn)行防腐蝕設(shè)計(jì)。 6.2.2 防雷與接地設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 排放易燃易爆溶劑化學(xué)品氣體的排風(fēng)管的管口應(yīng)處于接 閃器的保護(hù)范圍內(nèi)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī) 范)GB50057的有關(guān)規(guī)定; 2 架空敷設(shè)的易燃易爆榕劑化學(xué)品管道，在進(jìn)出建筑物處應(yīng) 與防雷電感應(yīng)的接地裝置相連;距建筑物100m內(nèi)的化學(xué)品管道， 宜每隔25m接地一次，其接地電阻不應(yīng)大于200; 3 易燃易爆溶劑化學(xué)品、氧化性化學(xué)品設(shè)備與管道應(yīng)采取防 靜電接地措施，應(yīng)在進(jìn)出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分 岔處及直管段每隔50m80m處防靜電接地一次; 4 設(shè)備或管道的接地端子與地線系統(tǒng)之間，可采用螺栓緊固 連接;對有震動、位移的設(shè)備和管道，連接處應(yīng)加撓性連接線過技; 5 化學(xué)品系統(tǒng)的電氣設(shè)備工作接地、保護(hù)接地、雷電保護(hù)接 地，以及防靜電接地等不同用途接地采用聯(lián)合接地方式時(shí)，接地裝 置的接地電阻值應(yīng)按其中的最小值確定; 6 防靜電接地為單獨(dú)接地時(shí)每組接地電阻不應(yīng)大于1000。 6.3 給7.120 20 20 20 2 支架安裝應(yīng)牢固，直管段的每20m及轉(zhuǎn)彎處應(yīng)設(shè)置固定 支架。 3 管道切割應(yīng)使用專用切割器，切割之前應(yīng)將已開啟的吸塵 器吸塵口靠近切割處后再進(jìn)行切割，切割完畢后應(yīng)迅速將切割時(shí) 產(chǎn)生的碎屑清除干凈。 4 管材切割后應(yīng)立即對切割斷面的管壁內(nèi)外壁進(jìn)行修邊處 理，修邊時(shí)修邊部位應(yīng)朝下，修邊完成后，應(yīng)用塑料膠帶將管道兩 端封住。 5 彎頭宜采用成品彎頭，當(dāng)采用烘箱現(xiàn)場械制時(shí)，械管作業(yè) 應(yīng)在通風(fēng)的環(huán)境下進(jìn)行。 6 外套管的最小彎曲半徑應(yīng)符合表7.5.1-2的規(guī)定。 表7.5.1-2外套管的最小 彎曲半徑 管徑(mm) 彎曲最小半徑(mm) 7 管道掘彎時(shí)不得產(chǎn)生不規(guī)則變形，變形量不得大于管外徑 的10 %“試樣應(yīng)提交監(jiān)理工程師，并應(yīng)在合格后再進(jìn)行作業(yè)。 8 彎頭及直管應(yīng)采用直二通帖接，有特殊要求時(shí)，粘接部分 還應(yīng)填絲焊接，焊條應(yīng)采用PVC焊條。 9 外套管在支架上固定時(shí)，應(yīng)先用厚度大于2.0mm橡膠皮 或襯墊纏繞固定處。 10 管道連接應(yīng)采用承捕粘接法，膠水應(yīng)采用速干型透明膠 水，粘接面還應(yīng)少出現(xiàn)氣泡;在粘接前應(yīng)做粘接試樣，并應(yīng)在合格 后再進(jìn)行粘接作業(yè)，帖接壓緊時(shí)間不應(yīng)低于30s。 11 管道上應(yīng)每兩個(gè)彎頭為一組，每組第二個(gè)彎頭應(yīng)暫不做 粘接連接，并應(yīng)待穿管作業(yè)完成后再進(jìn)行粘接。 7.5.2 外套管施工完成后應(yīng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)，試驗(yàn)介質(zhì)可用瓶裝氯氣， 試驗(yàn)壓力應(yīng)為0.10MPa，保壓時(shí)間為2.0h，以壓力不下降為合格。 7.5.3 內(nèi)管安裝應(yīng)在外套管試壓合格后進(jìn)行。內(nèi)管徑宜為(l/4 1)英寸，并應(yīng)采用100m長的卷材。管道接口應(yīng)設(shè)置在三通箱、J白閥司酌陽、 箱或設(shè)備連接箱內(nèi)。 7.5.4 PFA內(nèi)管穿設(shè)安裝應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 PFA管道應(yīng)采用一根整管貫穿，巾間不得設(shè)接頭; 2 施工場所環(huán)境溫度應(yīng)為10.C35.C，冬季或氣溫較低時(shí) 穿管，穿管前應(yīng)先將管道放在溫度大于20.C的場所內(nèi)2d后再進(jìn) 行施工; 3 施工人員應(yīng)多人配合進(jìn)行施工，施工時(shí)應(yīng)佩戴情凈手套; 4 內(nèi)管穿管前應(yīng)采用干凈的切管器將管口前端切出150mm 200mm的斜面，并應(yīng)在管內(nèi)塞入可有效防止灰塵進(jìn)入管內(nèi)的物體及 拉管繩，同時(shí)應(yīng)在管材外部纏上塑料膠帶后進(jìn)行拉管施工; 5 拉管繩應(yīng)結(jié)實(shí)、不產(chǎn)塵、受力變形小，拉管施工時(shí)工作人員 應(yīng)互相聯(lián)系，宜在外套管的另一端用吸塵器的負(fù)壓將拉管繩引出; 6 送管員應(yīng)在確認(rèn)PFA管道無折損后再進(jìn)行送管，拉管員 應(yīng)配合實(shí)施拉管作業(yè)，并應(yīng)以送管為主動力，送管員在送管時(shí)，應(yīng) 采用純水濕潤的潔凈布擦拭管道; 7 外套管連接處影響送管前進(jìn)時(shí)，送管員可輕拍外套管或從 前部尚未粘接的接頭處將外套管拉:1后繼續(xù)進(jìn)行，當(dāng)內(nèi)管穿出外 套管600mm后應(yīng)停止送管; 25 8 當(dāng)內(nèi)管穿出后，應(yīng)從外套管管口處保留200mm，并應(yīng)將多 余部分割去，進(jìn)行管道與相關(guān)設(shè)備接口的連接; 9 內(nèi)管連接可采用加熱擴(kuò)管方式及PTFE管接頭植人的入 珠式施工方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定: I)PFA管應(yīng)在專用加熱器上加熱后，再用擴(kuò)管器進(jìn)行擴(kuò) 管，作業(yè)時(shí)所有施工人員都應(yīng)戴潔凈手套; 2)需擴(kuò)管的管長應(yīng)等于量取長度加3.0mm. 7.6 酸堿類化學(xué)品管道內(nèi)管焊接安裝 7.6.1 PFA管的管徑大于DN25應(yīng)采用焊接連接，并應(yīng)符合下 列規(guī)定: 1 支吊架制作安裝應(yīng)符合本規(guī)范第7.5.1條第1款的要求; 2 焊接應(yīng)采用專用的PFA焊接機(jī)，焊接溫度應(yīng)為500.C; 3 PFA管的焊接應(yīng)在潔凈加工間內(nèi)進(jìn)行，室內(nèi)應(yīng)有高效過 濾器的進(jìn)風(fēng)設(shè)施，且頂部應(yīng)有排氣扇，室內(nèi)溫度應(yīng)為10.C15.C; 4 焊接完畢后，管口均應(yīng)用管帽或者塑料膠帶進(jìn)行密封。 7.6.2 操作人員應(yīng)遵守下列規(guī)定: 1 進(jìn)入潔凈加工間的人員應(yīng)穿情凈服，并應(yīng)佩戴潔凈手套， 同時(shí)應(yīng)穿潔凈鞋; 2 PFA焊機(jī)操作者應(yīng)經(jīng)過培訓(xùn)11，并應(yīng)經(jīng)考試合格后再進(jìn)行 操作。 7.7 溶劑化學(xué)品管道安裝 7.7.1 不銹鋼管道應(yīng)采用自動軌道氫弧焊，氧氣純度應(yīng)為 99.999%。 7.7.2 操作人員在作業(yè)過程中應(yīng)戴潔凈手套，裸手不得接觸管道 內(nèi)壁。 7.7.3 材料保管、清洗、預(yù)制應(yīng)在潔凈室進(jìn)行。 7.7.4 管外徑小于或等于12.7mm的管道切割應(yīng)使用不銹鋼管 切管器，切割后應(yīng)用平口機(jī)處理管口，然后用專用倒角器將管口內(nèi) 外毛刺處理圓滑，管切口端面應(yīng)垂直、無毛刺、無變形。 7.7.5 平口機(jī)加工余量應(yīng)為壁厚的10%20%，且加工時(shí)應(yīng)采 用純度為99.999%的高純氮?dú)獯祾?。加工后端管口?yīng)向下，另一 端應(yīng)用高純氮?dú)饪焖俅祾?，?yán)禁將剛切割完畢的管道口向上。 7.7. 6 管外徑大于12.7mm的管道宜使用不銹鋼管切管機(jī)，切 割時(shí)嚴(yán)禁使用潤滑油。切口端面應(yīng)垂直、無毛刺、不變形，并應(yīng)滿 足不加絲自動焊要求。 7.7.7 管道吹掃完畢，應(yīng)用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上丙酣或酒精將 切口處清洗干凈后迅速用潔凈管帽或潔凈紙膠帶將管道口密封， 發(fā)現(xiàn)有破損應(yīng)及時(shí)處理。 7.7.8 管道焊接應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 施工人員在工程開工前應(yīng)將該工程所用各種規(guī)格的管道 焊接式樣、焊接合格確認(rèn)單提交建設(shè)單位項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人簽字認(rèn) 可，并應(yīng)保留已通過測試的樣品; 2 焊接合格確認(rèn)單中應(yīng)記錄焊接設(shè)備規(guī)格型號、焊接參數(shù)、 焊接時(shí)間、焊接人員、檢驗(yàn)員; 3 焊接試驗(yàn)應(yīng)在每天正式焊接前、每次更換焊頭和鴿棒后、 焊機(jī)連續(xù)焊接超過4h后進(jìn)行，并應(yīng)經(jīng)檢驗(yàn)員檢查合格并填寫焊接 合格確認(rèn)單后再正式施焊; 4 焊縫合格標(biāo)準(zhǔn)為管內(nèi)焊縫突起高度不應(yīng)大于管道壁厚的 10% ，管外焊縫寬度應(yīng)為3.0mm，管內(nèi)焊縫寬度應(yīng)為2.0mm，焊 縫應(yīng)無下陷、未焊透、不同軸、咬邊缺陷等情況，內(nèi)外表面應(yīng)無氧化 膜、無燒傷; 5 應(yīng)用不銹鋼絲刷趁熱除去管外焊縫兩邊的暗色膜至光亮; 6 焊接時(shí)管內(nèi)應(yīng)充純度為99.999%的氧氣，且在施工過程 中不應(yīng)中斷供氣，管外徑為6.Omm1l4. Omm的流盤應(yīng)分別為 5 L/mi.n15L/min，未焊接時(shí)的流量應(yīng)為焊接時(shí)流量的1/4; 7 管道焊接應(yīng)正確選擇焊接參數(shù)，焊接參數(shù)應(yīng)包括鴿棒電極 規(guī)格及加工尺寸，以及焊接電流、焊接速度、回轉(zhuǎn)延緩時(shí)間等數(shù)據(jù); 8 焊機(jī)應(yīng)使用專用配電箱，電源電壓不穩(wěn)定時(shí)應(yīng)使用自動穩(wěn) 壓裝置供電，焊機(jī)本體應(yīng)可靠接地; 9 焊接過程中應(yīng)做焊接記錄，焊口應(yīng)統(tǒng)一編號，并應(yīng)標(biāo)明作 業(yè)時(shí)間、焊接作業(yè)人、焊接主要參數(shù)等，同時(shí)應(yīng)與單線圖的焊口編 號一致。 7.7.9不銹鋼管道安裝應(yīng)符合下列要求: 1 預(yù)制管段封口應(yīng)完好，管內(nèi)應(yīng)無污染; 2 法蘭連接墊片材質(zhì)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，且墊片應(yīng)潔凈元油、 無污物; 3 管道安裝應(yīng)按管道圖順氣流方向依次進(jìn)行，且應(yīng)充氧氣保護(hù); 4 不銹鋼管不得與碳鋼支架、管卡接觸，應(yīng)采用塑料墊隔離 或采用同材質(zhì)支架、管卡。 7.7.10 充氧氣保護(hù)應(yīng)持續(xù)不間斷至管道系統(tǒng)安裝結(jié)束。 7.8 廢液管道施工 7.8.1 廢液管道CPVC、UPVC的施工應(yīng)與一般PVC管道相同。 7.8.2 管道連接應(yīng)符合國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)給水排水管道工程施工及 驗(yàn)收規(guī)范)GB50268、建筑排水硬聚氯乙烯管道工程技術(shù)規(guī)程 CJJ/ T 29、建筑給水排水及采暖工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范)GB 50242的有關(guān)規(guī)定。 7.9 管道設(shè)備標(biāo)識 7.9.1 標(biāo)識粘貼應(yīng)在設(shè)備及管道油漆、清潔與絕緣完成后進(jìn)行， 并應(yīng)逐點(diǎn)檢查每個(gè)系統(tǒng)連接的正確性，閥門應(yīng)有與圖紙相同的編 號，并應(yīng)有顯示開關(guān)的狀態(tài)顯示牌。不同的化學(xué)品應(yīng)用不同的顏 色標(biāo)記，且應(yīng)標(biāo)明化學(xué)品的名稱及流向。 7.9.2 標(biāo)識牌材質(zhì)應(yīng)耐久、安全、易辨識。 7.10 管路與系統(tǒng)檢測 7.10.1 管路與系統(tǒng)檢測的內(nèi)容應(yīng)根據(jù)電子生產(chǎn)工藝要求確定， 并應(yīng)按合同規(guī)定在工程完工后進(jìn)行。 7.10.2 化學(xué)品系統(tǒng)工程的檢測項(xiàng)目應(yīng)包括強(qiáng)度試驗(yàn)、嚴(yán)密性試 驗(yàn)、泄漏性試驗(yàn)、潔凈度測試、電氣性能測試，以及合同要求的測 試。 7.10.3 管路強(qiáng)度試驗(yàn)、嚴(yán)密性試驗(yàn)及泄漏性試驗(yàn)應(yīng)符合表 7.10.3的規(guī)定。 表7.10.3管路強(qiáng)度試驗(yàn)、嚴(yán)密性試驗(yàn)及泄漏性試驗(yàn) 強(qiáng)度試驗(yàn)嚴(yán)密性測試泄漏性試驗(yàn) 測試內(nèi)容 介質(zhì)設(shè)計(jì)壓力介質(zhì)設(shè)計(jì)壓力介質(zhì)設(shè)計(jì)壓力 酸/堿N2 1. 5P N2 1. 15P 易燃易爆帶￥fflJN2 1. 5P N2 1. 15P N2 1. OP 研磨液N2 1.5P N2 1. 15P 外管N2 O.lOMPa 注1表中P為設(shè)計(jì)壓力. 2 用氯氣做強(qiáng)度試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)制定安全措施。 3 強(qiáng)度試驗(yàn)保壓時(shí)間為O.拙，以無壓降、無泄漏為合格. 4 嚴(yán)密性試驗(yàn)保壓24.0 h，以壓力變化在2%以內(nèi)、無泄漏為合格. 5 易燃易爆溶劑的泄漏性試驗(yàn)保lli時(shí)間為24.0h，泄漏率以平均每小M小于 0.5%為舍格. 6 用肥皂7Jcj(.f管道、法蘭、焊縫、閥門的連接處進(jìn)行泄漏試驗(yàn)，以不發(fā)生氣泡 為合格. 7.10.4 管道試驗(yàn)合格后應(yīng)采用純水進(jìn)行系統(tǒng)沖洗，沖洗應(yīng)沿化 學(xué)品流動的方向進(jìn)行沖洗，應(yīng)從閱門箱出口排放到臨時(shí)儲藥桶，純 水沖洗后，還應(yīng)采用氯氣對系統(tǒng)進(jìn)行吹掃。沖洗、吹掃標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)符合 工藝設(shè)備的要求。 7.10.5 管道潔凈度測試應(yīng)符合下列要求: 1 管道潔凈度測試應(yīng)在對管道系統(tǒng)進(jìn)行沖洗、吹掃后進(jìn)行; 2 顆校測試應(yīng)通過取樣閱取樣測試，單位容積內(nèi)的顆粒數(shù)應(yīng) 符合工藝系統(tǒng)的要求，無特殊要求時(shí).0.1m顆粒應(yīng)小于5粒ImL。 7.10.6 電氣設(shè)備的絕緣應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑電氣工程施 工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范)GB50303的有關(guān)規(guī)定。 7.10.7 易燃易爆溶劑化學(xué)品管道防靜電接地電阻值檢測不得大 于100.0.。 7. 11 改建工程的施工 7. 11.1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)改建施工時(shí)應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 生產(chǎn)區(qū)與安裝區(qū)之間應(yīng)采取臨時(shí)隔離措施; 2 作業(yè)時(shí)應(yīng)采取安全隔離措施，并應(yīng)設(shè)置危險(xiǎn)警示標(biāo)識; 3 潔凈度為5級和更高的潔凈室(區(qū))人員密度不應(yīng)大于 O . 1人1m 2