22.靜電防護(hù)管理程序

1、文檔來(lái)源為：從網(wǎng)絡(luò)收集整理.word版本可編輯歡迎下載支持程序文件DoCume nt Gf PrGCedUre文件編號(hào)：QP-755-22版次：A/1第1頁(yè)共9頁(yè)靜電防護(hù)管理程序文件編號(hào)：QP-755-22文件版次：A/1牛效日期：2012-07-01文件受控印章：文件分發(fā)部門(mén)：總經(jīng)理管理者代表業(yè)務(wù)部資材部研發(fā)部工程部品質(zhì)部生產(chǎn)部人力資源部其他（）編制審核批準(zhǔn)靜電防護(hù)管理程序文件編號(hào)：QP-755-22版次：A/1第2頁(yè)共9頁(yè)版次修改原因/修改內(nèi)容生效日期批準(zhǔn)人文件編號(hào)：QP-755-22靜電防護(hù)管理程序版次：A/1第3頁(yè)共9頁(yè)1.1.0目的防止靜電對(duì)靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命；使

2、靜電放電防護(hù)工作具有較強(qiáng)的可操作性。2.0適用范圍從靜電敏感器件進(jìn)貨到產(chǎn)品形成的全過(guò)程。3.0定義3.1靜電放電（ESD處于不同電位的兩個(gè)物體之間，由于直接接觸或者電場(chǎng)感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸。3.2靜電敏感器件（ESDS）在常規(guī)處理、測(cè)試或運(yùn)輸中可能會(huì)受到靜電場(chǎng)或者靜電放電損害的分 立器件、集成電路或組件。4.0職責(zé)4.1工程部確定靜電防護(hù)控制點(diǎn)、區(qū)域和控制要求；4.2倉(cāng)庫(kù)負(fù)責(zé)靜電敏感器件的靜電防護(hù)，品質(zhì)部負(fù)責(zé)靜電敏感器件檢驗(yàn)時(shí)的靜電防護(hù)，生產(chǎn)車(chē)間負(fù) 責(zé)生產(chǎn)過(guò)程中的靜電防護(hù)；4.3電工負(fù)責(zé)對(duì)接地主干線的檢測(cè)和維護(hù)，一般每一年一次檢測(cè)（特殊情況可作調(diào)整）；各部門(mén)負(fù) 責(zé)本部門(mén)靜電地線與設(shè)備地線的檢驗(yàn)和

3、維護(hù)；4.4工廠各車(chē)間日常點(diǎn)檢工作由生產(chǎn)車(chē)間指點(diǎn)人員進(jìn)行，工程部、品質(zhì)部、資材部由各部門(mén)指定 人員進(jìn)行；4.5工程部負(fù)責(zé)ESD防護(hù)措施的抽檢抽查；每月一次。4.6靜電防護(hù)的控制點(diǎn)和區(qū)域組裝車(chē)間、包裝車(chē)間、電子料倉(cāng)、組裝料倉(cāng)；5.0靜電說(shuō)明5.1靜電的發(fā)生及帶電，分子是由原子組成，原子是構(gòu)成一切化學(xué)元素的最小微粒，由帶正電的原子核和帶負(fù)電的圍繞 原子核旋轉(zhuǎn)的電子組成。在正常狀況下，原子所帶的正負(fù)電荷相等，所以對(duì)外表現(xiàn)出電中性。但是 在某種條件下，當(dāng)物質(zhì)原子中的這種電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由電中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。丟失電子，則表現(xiàn)為帶正電；獲得電子，則表現(xiàn)為帶負(fù)電。這種物體表面所

4、帶過(guò)剩 或不足的相對(duì)靜止不動(dòng)電荷，稱(chēng)之為靜電。,這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)的接觸起電、感應(yīng)起電、剝離起電、摩擦起電；其它如：粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、飛沫帶電、噴出帶電在此 不進(jìn)行講述。,其間距小于2.5 ×10-8cm時(shí)在其間即發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移界面文件編號(hào)：QP-755-22靜電防護(hù)管理程序版次：A/1第4頁(yè)共9頁(yè) 兩側(cè)出現(xiàn)大小相等，符號(hào)相反的兩種電荷；,在不同部位表面感應(yīng)出不同符號(hào)的電荷；,在外力作用下突然分開(kāi)，由于剝離的原因使物 體帶電；,熱使離子（電子）的活性增加，容易向其他物體轉(zhuǎn)移。,會(huì)由于靜電放電產(chǎn)生的瞬間沖擊電流流過(guò)人體某一部位而引起電擊。或者是原來(lái)不帶電的人體接

5、近一個(gè)帶電物體時(shí)，帶電物體對(duì)人 體放電而引起的電擊。次性擊穿、燒毀，產(chǎn)品在拿取、傳遞、作業(yè)時(shí)由于靜電放電造成的產(chǎn)品完全破壞，永久失效； 潛在性緩慢失效即靜電放電使產(chǎn)品造成毫無(wú)規(guī)律可循的潛在性失效，導(dǎo)致其可靠性下降。5.2絕緣體與導(dǎo)體,一般大于或等于1012。產(chǎn)生靜電時(shí)即使接地電荷也不會(huì) 泄放到大地，物體仍處于帶電狀態(tài)；如：普通塑料制品、乙烯等。,電荷具有良好的流動(dòng)性，進(jìn)行接地電荷會(huì)大量流向大地，造成大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。5.3防靜電材料根據(jù)防靜電材料的導(dǎo)電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。靜電絕緣材料：表面電阻率1012;靜電耗散材料：表面電阻率105-1011;靜電導(dǎo)電

6、材料：表面電阻率103-105;靜電屏蔽材料：表面電阻率V 103;5.4靜電發(fā)生源5.4.1人：人是最大的靜電發(fā)生源。人在作業(yè)過(guò)程中的任何操作都可能使人的皮膚、頭發(fā)、 衣服等帶上靜電。5.4.2環(huán)境：地板、工作臺(tái)面、儀器設(shè)備等都是靜電發(fā)生源。5.4.3材料：生產(chǎn)中的一些原材料、生產(chǎn)輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發(fā)生源。文件編號(hào)：QP-755-22靜電防護(hù)管理程序版次：A/1 第5頁(yè)共9頁(yè) 表1常見(jiàn)物體的靜電發(fā)生序列序號(hào)材料序號(hào)材料1空氣12棉布2人手13鋼3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡膠6頭發(fā)17鎳、銅7尼龍18黃銅、銀8羊毛19聚脂人造纖維9絲綢20聚乙烯10鋁21聚丙烯11

7、紙22聚氯乙烯5.5漏電測(cè)試工具如測(cè)試儀、電源等；由于使用 220V電進(jìn)行供電，會(huì)產(chǎn)生對(duì)地的漏電；漏電電壓較 低，不會(huì)超出供電電壓；不會(huì)像靜電那樣具有幾千伏的電壓；但漏電電流較強(qiáng)，進(jìn)行可靠設(shè)備 接地后要求漏電電壓小于IV。5.6電子元器件的靜電耐壓表2 一些器件類(lèi)型的靜電敏感電壓值器件類(lèi)型耐靜電放電電壓（V）器件類(lèi)型耐靜電放電電壓（V）VMoS30-1800運(yùn)算放電器190-2500MoSSEFT100-200JEFT140-1000PROM100STTL300-2500GaASFET100-300SCL680-1000CMOS250-2000DTL380-7000HMOS50-500肖特基二

8、極管300-3000E/DMOS200-1000雙極型晶體管380-7000ECL300-2500石英壓電晶體器件<10000靜電防護(hù)管理程序文件編號(hào)：QP-755-22 版 次：A/1第6頁(yè)共9頁(yè)6.0工廠防靜電對(duì)策6.1作業(yè)員手環(huán)；6.1.2組裝車(chē)間及包裝車(chē)間員工需配戴防靜電手環(huán)；工好的PCBA等）需配戴防靜電手環(huán)，當(dāng)沒(méi)有靜電地線時(shí)應(yīng)戴無(wú)繩靜電手環(huán)進(jìn)行作業(yè);,方可開(kāi)始作業(yè)；,防靜電腕帶戴在不影響作業(yè)的一只手上；6.1.7 一定要使防靜電腕帶緊貼到手腕皮膚；不能戴在手套、衣袖上,防止將內(nèi)部導(dǎo)線拉斷；6.2修理臺(tái)、組件加工、生產(chǎn)作業(yè)臺(tái)面?；业茸兣K時(shí)會(huì)影響接觸效果，要清潔金屬接觸部位;9,

9、防止漏電損傷電子元器件；接地時(shí)直接接到設(shè)備地，電阻小于10。漏電電壓要求在 VaCV IV。,防止漏電損傷電子元器件；接地時(shí)需在電烙鐵與設(shè)備地之間接120K± 10%或 150K± 10%的電阻進(jìn)行限流。漏電電壓要求在 VaCv 0.3V。,接地電阻V 10o6.3周轉(zhuǎn)箱用于PCBA半導(dǎo)體電子元器件、機(jī)芯周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)箱要求使用防靜電周轉(zhuǎn)箱或使用中性的紙箱進(jìn)行周轉(zhuǎn)。防靜電周轉(zhuǎn)箱表面電阻要求在CA A1010 ;表面電壓V 150V。6.4防靜電袋、物料盒文件編號(hào)：QP-755-22 靜電防護(hù)管理程序版次R第7頁(yè)共9頁(yè)半導(dǎo)體元器件供應(yīng)商供貨要求使用防靜電材料（一般使用防靜電的 聚

10、乙烯）包裝；防靜電袋的使用壽命和防靜電效果會(huì)隨時(shí)間而消失，原則上為一次性使用。對(duì)重復(fù)使用的防靜電袋要求在使 用前進(jìn)行防靜電測(cè)試，合格后才能投入使用。測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)表面電阻要求在1051011 ;表面電壓V150V。6.5治具、機(jī)架6.5.1通常情況要求測(cè)試機(jī)架使用防靜電材料進(jìn)行制作，表面電阻要求在10510116.5.2如果使用一般不防靜電材料（如有機(jī)玻璃）制作，必須采取防靜電措施，如需在測(cè)試機(jī) 架上加防靜電膠皮或包錫箔紙并實(shí)施接地；或者噴防靜電液使其表面電阻達(dá)到1051011o6.6相對(duì)濕度：工廠要求相對(duì)濕度在 40%-70%6.7倉(cāng)庫(kù)、車(chē)間在對(duì)靜電敏感器件做防塵處理時(shí)，要確保防塵膜不能直接和靜電

11、敏感器件接觸， 需先在靜電敏感器件上蓋上防靜電材料，然后再?lài)缐m膜。6.8地線6.9設(shè)備接地規(guī)則以接地的都必須接在后面，后面不能接地的則可以選擇左側(cè)或者前面）；連接儀器設(shè)備支線使用0.5mn2的黑線或AV線；7.0防靜電措施檢測(cè)7.1防靜電腕帶的檢測(cè),同時(shí)將另一只不佩帶防靜電腕帶的手按在“ PRESS HERE上（靜電TESTERh的白色按鍵）；戴防靜電手環(huán)的手進(jìn)行左右搖動(dòng) 2-3 秒;,則表明佩帶防靜電腕帶良好；紅色“ LoW或“ HlGH指示燈亮,則表明所佩帶防靜電腕帶未戴好或有故障；如紅色與綠色燈交替閃爍表面防靜電腕帶未 戴好或接觸不良。7.1.4在測(cè)試中發(fā)現(xiàn)有故障的防靜電腕帶由作業(yè)員交

12、給拉長(zhǎng)處理，并要求立即更換；7.2電烙鐵漏電測(cè)試在熱工作狀態(tài)下用萬(wàn)用表測(cè)量烙鐵頭與電源地的阻抗在120K± 10%或 150 K ± 10%,AC電壓0.3V以下，記錄在烙鐵溫度點(diǎn)檢表；（萬(wàn)用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接烙鐵上錫 面）o文件編號(hào)：QP-755-22 靜電防護(hù)管理程序版次：A/1第8頁(yè)共9頁(yè)7.3電批漏電測(cè)試在工作轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)下用萬(wàn)用表測(cè)量電批頭與電源地的阻抗V10 ,AC電壓1V以下；（萬(wàn)用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接電批頭上）7.4測(cè)試儀器、機(jī)架漏電測(cè)試10,AC電壓1V以下;在工作狀態(tài)下用萬(wàn)用表測(cè)量測(cè)試機(jī)架、測(cè)試儀器與電源地的阻抗V（萬(wàn)用表一支表筆接

13、設(shè)備地線，一支表筆接測(cè)試儀器外殼、測(cè)試機(jī)架輸出端口地）8.0儀器使用說(shuō)明8.1靜電手環(huán)測(cè)試儀使用前要先檢查儀器是否正常，簡(jiǎn)易確認(rèn)方法：將測(cè)試儀接地線與測(cè)試按壓片短路并按下，正常應(yīng)顯示紅燈LOW直接按壓測(cè)試按壓片（測(cè)試儀接地線懸空不與任何物體接觸），正常應(yīng)顯 示紅燈HIGH,9.0靜電的點(diǎn)檢及記錄8.2確認(rèn)儀器正常后方可使用，使用時(shí)儀器接靜電地線，然后開(kāi)始檢測(cè)。9.1防靜電手環(huán)9.1.1由各生產(chǎn)線指定專(zhuān)人每天進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在靜電手環(huán)點(diǎn)檢記錄 表中；,可在作業(yè)員與靜電手環(huán)金屬片接觸的皮膚處涂抹潤(rùn)膚保濕霜，2小時(shí)涂一次；9.2電批、電烙鐵由各生產(chǎn)線指定專(zhuān)人每天進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)

14、試結(jié)果記錄在電批扭力 與漏電測(cè)試記錄表、烙鐵溫度點(diǎn)檢表中；9.3儀器、設(shè)備、機(jī)架、治具由各生產(chǎn)線指定專(zhuān)人每周進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在 相應(yīng)周點(diǎn)檢表中；9.4相對(duì)濕度指定專(zhuān)門(mén)的人員點(diǎn)檢，同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在溫濕度記錄表中；靜電防護(hù)管理程序文件編號(hào)：QP-755-22版次：A/1第9頁(yè)共9頁(yè)10.質(zhì)量記錄10.1溫濕度記錄表10.2電批扭力與漏電測(cè)試記錄表10.3防靜電日常檢查表10.4設(shè)備地線與靜電地線間電阻點(diǎn)檢記錄10.5烙鐵溫度點(diǎn)檢表電批扭力點(diǎn)檢表10月度:電批編號(hào):期扭機(jī) 力型12345678910111213141516171819202122232425262728293

15、031(KGF/CM)0.50.60.81.01.21.41.61.8備注：1、PE每天上班前或機(jī)型切換前根據(jù)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)上的扭力進(jìn)行確認(rèn)并記錄；2、測(cè)試記錄用藍(lán)筆在對(duì)應(yīng)的日期和扭力交接點(diǎn)畫(huà)圈點(diǎn)檢人:確認(rèn):FM-PD-O6-A/1溫濕度記錄表年月:日期溫度值濕度值記錄人備注記錄時(shí)間是每天下午14:00 （溫度15°C-35°C,濕度70% ±10%）。FM-PD-O7-A/111防靜電日常檢查表14生產(chǎn)線:201年 月 日序 號(hào)編號(hào)使用者H期 測(cè)試 記錄 時(shí) 間123456789101112131415161718192021222324252627282930311上午下午2上午下午3上午下午4上午下午5上午下午6上午下午7上午下午8上午下午9上午下午10上午下午11上午下午12上午下午備注：測(cè)試時(shí)靜電環(huán)的連接線要與測(cè)試儀連接線緊密連接，然后一手接觸靜電環(huán)金屬片，一手按住測(cè)試以金屬器，當(dāng)綠燈且有“嘟”聲的響聲時(shí)表示 OK則打“”，若是紅燈亮表示 NG則打“X”。制表：確認(rèn)：FM-PD-O3-A/1烙鐵溫度點(diǎn)檢表生產(chǎn)線:201年 月 日序 號(hào)編號(hào)溫度標(biāo)準(zhǔn)日期記錄 時(shí)