MSDS 培訓(特氣部分)

1、 特種氣體部分設備運行部：陳波設備運行部：陳波FAB區(qū)域各設備所需氣體lCVD: CVD: SiH4、NH3、NF3、N2O、O2、He、Ar、H2lRIE: RIE: SF6、CL2、O2、Ar、CF4lELA: ELA: NE、HCL、XE、O2l 蒸度蒸度: : H2N2、O2、ArlDry Remove : Dry Remove : H2、O2、Ar 、He 、CF4lALMOAL : ALMOAL : Kr、Ar lCDE : CDE : O2、He 、CF4lION doping : ION doping : ArlSPC : SPC : ArlITO : ITO : Ar 、O2

2、lIPIP：B2H6易燃、易爆SiH4、NH3 、H2 、 20%PH3/H2 、10%B2H6 SIH4性狀：SIH4為無色有窒息性味道的高壓氣體，其在空氣中的比重為1.2（air=1）。有自燃的特性，其爆炸的范圍為1.4%96%。時量平均容許濃度（TWA）：5PPM毒性：硅烷的毒性為急性、局部性。危險性：在空氣中會自燃，爆炸，無需引火點。SIH4若發(fā)生泄漏，則可能燃燒或爆炸，其燃燒的副產(chǎn)物，sio2會對眼睛，呼吸道及皮膚產(chǎn)生刺激，仍要避免不必要的接觸鋼瓶儲存溫度不可高于125 (52)、熱源、明火和火花?？赡芘c空氣和氧化劑形成爆炸性混合物。NH3性狀：無色，有刺激性惡臭的氣體。在適當壓力下

3、可液化成液氨，同時放出大量熱。當壓力減低時，則氣化而逸出，同時吸收周圍大量熱。有毒，空氣中最大允許濃度為50ppm。本品易溶于水、乙醇和乙醚，水溶液呈堿性。毒性：不管是在氣體狀態(tài)還是在水溶液狀態(tài)，都象堿那樣起作用。根據(jù)濃度的不同，其作用也就不同。其刺激緩慢，到對于鼻、喉、肺、眼的敏感的覆膜產(chǎn)生強烈的刺激。在氨蒸氣濃度超過700ppm以上的濃度中受害半小時以上，則眼睛就要引起不治的傷害。如吸入600010000ppm的氨污染空氣，就會產(chǎn)生急劇的痙孿及喉頭炎癥等暴卒死去。如泄漏到大氣中，即使?jié)舛认喈數(shù)?，也能夠通過刺鼻的臭氣來檢測。由于氨蒸氣對水的溶解度很高，所以要刺激濕的皮膚表面。危險性：受到猛烈

4、撞擊使鋼瓶受到損傷時，氣體外逸會危及人畜健康與生命。遇水則變?yōu)楦g性氨水，受熱后瓶內(nèi)壓力增大?？諝庵邪闭魵鉂舛冗_15.727.4%時，遇火星會引起燃燒爆炸。有油類存在時，更增加燃燒危險。20%PH3/H2性狀：無色氣體，劇毒?？諝庵泻?.01毫克/升時，吸入即中毒。能溶于乙醇、乙醚，微溶于冷水，不溶于熱水。極易燃燒。是一種較強的還原劑。平時制得的PH3中因含有少數(shù)的二磷化四氫，在空氣中能自燃。毒性：急性中毒表現(xiàn)為中樞神經(jīng)受害，引起厲害的痙攣，并伴有呼吸困難、血壓下降、嘔吐、腹瀉、衰弱和發(fā)抖。很多場合與食物中毒癥兆相似，常常診斷錯誤。慢性中毒時，將產(chǎn)生抗膽鹼脂酶那樣的中樞神經(jīng)系統(tǒng)反應，并伴有牙

5、痛、下巴浮腫及下顎壞等。征兆有：胸部郁悶、頭痛、眼花（發(fā)暈）、食欲不振，容易自然骨折、體重減輕、不安以及疲勞、貧血、干渴。在空氣中最大允許濃度為0.3ppm。危險性：能自燃，受高熱分解放出有毒的PO4氣體。遇氧化劑發(fā)生強烈反應。遇火種立即燃燒爆炸。滅火時應戴防毒面具 H2性狀：無色無味的壓縮氣體。毒性：無毒；只造成窒息、人體會因急速缺氧造成受傷甚至死亡。應該注意超過其空氣中爆炸下限（既濃度超過），會造成缺氧及爆炸性的危害。中等濃度吸入造成暈眩、頭痛、反胃、嘔吐、意識不清。危險性：燃燒時發(fā)出肉眼難見的淡藍色火焰，氫氣極儀易點燃，即使是靜電火花也會產(chǎn)生燃燒爆炸。曝露于高熱或火焰時，鋼瓶內(nèi)壓力會上升

6、，大部分的鋼瓶皆被設計可由鋼瓶閥的破裂片釋放高壓氣體。如果破裂片失效，可能導致爆炸。毒性、腐蝕性CL2 、 HCL、 NH3、NF3 、10%B2H6 、 20%PH3/H2 CL2性狀：黃綠色有刺激性氣體。液化后為黃綠色透明液體。有劇毒，空氣中最大容許濃度為1ppm。易溶于水和堿溶液。常溫時加壓到6-8大氣壓或在大氣壓下冷至-3540可液化。危險性：在日光下與易燃氣體混合時會發(fā)生燃燒爆炸。氣體外泄時會使人畜中毒，甚至死亡。對支氣管及肺臟有刺激作用，并導致支氣管炎、肺氣腫、肺炎等嚴重疾病。受高熱時瓶內(nèi)壓力增大，危險性增加，本身雖不燃，但有助燃性。HCL性狀: 是腐蝕性氣體,易溶解于水、乙醇、乙

7、醚，能和多數(shù)金屬反應，生成氯化物和氫氣，與氟起激烈反應?？諝庵腥菰S濃度為5ppm。毒性：如吸入就要刺激眼、氣管、喉、鼻的粘膜并咳嗽。在35ppm中被侵害不久，就刺激喉嚨；到了50100ppm濃度時，還能忍耐1小時；在350ppm濃度時，浸害10分鐘，喉及胸就疼痛，同時呼吸困難；在此以上濃度時，就要肺氣腫，常常產(chǎn)生喉頭痙縮。在10002000ppm濃度時，就有生命危險。鹽酸霧的有毒作用比氯化氫少，這是因為它不象氯化氫那樣有加水分解作用。作為緊急處理，輕度的情況下為氣管發(fā)炎程度，一般要進行吸氧。急性中毒時，要將昏倒的患者移到空氣新鮮并且暖和的地方。停止呼吸時，要進行人工呼吸，并火速去叫醫(yī)生?；颊咭?/p>

8、放在舒適暖和的環(huán)境，但不要過熱。在適當進行吸氧時，不必要注射刺激劑。10%B2H6性狀：無色易燃劇毒氣體，有不適的氣味，易水解，能溶于二硫化碳?？諝庵凶畲笕菰S濃度為0.1ppm。毒性：遇火種極易燃燒。受熱和遇堿均分解產(chǎn)生硼和氫。一吸入硼烷，肺部就要受到侵害，腎臟、肝臟就會患病。如接觸到皮膚，就會引起皮膚炎。慢性中毒的癥狀是：如受到硼烷的侵害，一時會出現(xiàn)渾身發(fā)冷、咳嗽、胸部壓迫等癥狀。滅火時切忌用水及泡沫 NF3性狀：無色，無嗅有毒腐蝕氣體，有時濃度很低的不純氣體會有刺鼻的霉味。 毒性：急性暴露會降低血液的攜氧能力。短期急性暴露在NF3中會使血紅素轉(zhuǎn)變?yōu)楦哞F血紅蛋白，從而使血紅細胞不能運輸氧氣并

9、導致青紫。當短期暴露結(jié)束后，這個反應會向相反方向進行，生成血紅素。暴露在高濃度的NF3中會破壞血紅細胞(溶血癥)。由于血液中的氧氣減少會引起虛弱、眩暈和混亂。危險性：該氣體會加強其它物質(zhì)的燃燒。在火焰或熱量的作用下，鋼瓶會劇烈排空或爆炸。惰性lN2O、H2、O2、Ar 、He 、CF4、Kr、NE、XE、H2N2、SF6惰性氣體惰性氣體如在空氣中的含量過高，會置換出空氣中的氧氣而引起窒息，暴露在氧氣含量19.5%的大氣中會導致頭暈，昏迷，口水增多，反應遲鈍，反胃，嘔吐，失去意識和死亡。暴露在氧氣含量12%的大氣中會無任何先兆的失去知覺，并失去自我救護的能力。當氣瓶處于高溫或有火的環(huán)境中時，氣瓶

10、內(nèi)的壓力會上升此時會通過泄壓裝置迅速排放，如泄壓裝置失靈會引起鋼瓶劇烈爆炸。O2性狀：無色無味的氣體。氧是不可燃但助燃的物質(zhì)。它是氧化性氣體并可以急劇加速燃燒。氧氣一定要遠離油和油脂。危險性：氧能劇烈的加速燃燒。有些物質(zhì)在空氣中不會燃燒，但在含有超過23的氧的空氣中就會燃燒。防火服在氧氣含量過高的空氣中也會燃燒，起不到任何保護作用。當氧氣接觸易燃物、油、油脂或其它碳氫化合物時會形成爆炸物質(zhì)。當鋼瓶暴露在高溫或有火的環(huán)境中時由于熱量的作用，鋼瓶中的壓力會升高，造成迅速排空或爆炸。多數(shù)鋼瓶設有溫度上升時的泄壓裝置。由于溫度升高鋼瓶內(nèi)的壓力迅速增大，如果泄壓裝置失靈會引起鋼瓶爆炸。常用氣體特性表英文

11、名稱分子式中文名稱鋼瓶壓力鋼瓶接口瓶內(nèi)毒腐燃雙層管(psig)70CGA/DISS狀態(tài)Hydrogen FluorineHF3氟化氫1450670/640氣毒腐否否AmmoniaNH3氨氣114.1660/720液毒腐燃否Nitric OxideNO一氧化碳2000660/728氣毒否否需OxygenO2氧氣2600540/714氣否否否否OzoneO3臭氧- -/- 氣毒否否否PhosphinePH3磷化氫(磷烷)593350/632液毒否燃需Phosphorus OxychloridePOCL3氯氧化磷-14.19N/A/N/A液毒腐否否Sulfur HexafluorideSF6六氟化硫

12、320590/716液否否否否Silicon TerachlorideSICL4四氯化硅-11N/A/636液毒腐否否Silicon TetrafluoridsSIF4四氟化硅1000330/642氣毒否否否Dichlorosillane(DCS)SIH2CL2二氯二氫硅9.1678/636液毒腐燃否SilaneSIH4四氫化硅(硅烷)1000350/632氣毒否燃需Trichlorosilane(TCS)SIHCL3三氯氫硅-4.7678/636液毒腐燃否Tungsten HexafluorideWF6六氟化鎢2.4670/638液毒腐否否XxnonXe氙氣970580/718氣否否否否氣體

13、反應表CH42CL203F2232GeH420230：No ReactionH2103301:Reaction PossibleH2O2012002:Strong Reaction possibleH2S20220003:Expiosion possibleHCL00020010HF210020120N2O1322320211NF302123212101NH3203310112222O21301330200003PH320330000223313SI2H6203300001233230SIF40112333111002033SIH420330000123323003SICL4012331310

14、222221033WF60200333200003033032BCL3CH4CL2F2GeH4H2H2OH2SHCLHFN2ONF3NH3O2PH3SI2H6SIF4SIH4SICL4氣體泄漏的處理自我保護一、如聞到異味，盡量不要長時間待在該區(qū)域，請立即通知你的主管或安全員查證解決。二、如遇泄露報警，請盡快撤離該區(qū)域。三、如果吸入，應將吸入者轉(zhuǎn)移到空氣新鮮的地方；如果呼吸刺激持續(xù)，應就醫(yī)。如果皮膚接觸到（液態(tài)），立即用大量水沖洗皮膚15分鐘，就醫(yī)。如果進入眼睛，立即用大量水沖洗15分鐘，立即就醫(yī)。安全措施1.氣體偵測系統(tǒng)2.VMB抽空3.氣柜過流保護4.排風 化學品部分FAB區(qū)域各設備所需化學

15、品HMDS 0.5%顯影液 光刻膠 隔離柱用光刻膠 TMAH (2.38%) N342 BHF306 ITO-刻蝕液HNO3/C2H4O2/H3PO4 1% HF 清洗劑 Thinner 去靜電液 TEOSIPA 丙酮(ACETONE) 無水乙醇按類型分類n酸性n堿性n有機按有害性分類n腐蝕性n易燃易爆性n毒性等相關性n腐蝕性酸堿性n反應性氧化還原性n易燃易爆性閃點、自然溫度、爆炸極限等化學品性質(zhì)簡介化學品性質(zhì)簡介磷酸磷酸英文名：英文名：PHOSPHORIC ACID分子式分子式：H3PO4 分子量：98.0性狀：性狀：無色透明柱狀結(jié)晶或無色無臭的粘稠液體吸濕性強。理化常數(shù)：理化常數(shù)： 相對密

16、度：1.834（18） 熔點：41.5 蒸氣壓：3.8Pa（20） 相對密度：1.685（25） 凝固點：21.1 沸點：158 粘度：47.0C.P溶于水、醇和醚危險特性：危險特性：不燃，但遇金屬會反應發(fā)出氫氣，能與空氣形成爆炸性混合物。強腐蝕性，特別是磷酸煙霧對眼睛粘膜，上呼吸道粘膜有刺激性炎癥，吸入后引起咳嗽、氣管、支氣管炎。高濃度磷酸本身對皮膚的粘膜有刺激作用，與皮膚接觸能引起腐蝕性灼傷，但腐蝕性不強。消防方法：消防方法：用水滅火，并用霧狀水保持火場容器冷卻。急救：急救：防止磷酸接觸皮膚和濺入眼內(nèi)，以免嚴重灼傷皮膚和腐蝕眼睛。應使患者脫離污染區(qū)，立即脫去衣物，用大量水沖洗皮膚和眼睛，皮

17、膚上再涂敷氧化鎂甘油軟膏如有灼傷送醫(yī)院就救治。誤服立即漱口、飲水及鎂乳，急送醫(yī)院救治。儲運注意事項：儲運注意事項：儲存于陰涼通風處。嚴禁與堿類、有毒品及其他易腐蝕品共儲混運。操作人員必須穿戴耐酸防護用品。泄漏處理：泄漏處理：對泄漏物處理需戴防毒面具與手套。污染地面上灑碳酸鈉，用水沖洗，經(jīng)稀釋的污水放入廢水系統(tǒng)。 氫氟酸氫氟酸分子式：分子式：HF 理化性質(zhì)理化性質(zhì)：是氟化氫40%的水溶液，極易揮發(fā)，露置空氣中即冒白煙。危害特性：危害特性：極毒，有強烈的腐蝕性。除金、鉑、鉛、石蠟和塑料外，腐蝕大多金屬物質(zhì)，特別是硅極硅化和物反應生成的氣態(tài)四氟化硅，故不能用玻璃及陶瓷作容器。常溫下極易揮發(fā)出劇毒氟化

18、氫氣體。觸及皮膚極為疼痛，傷口觸及皮膚極為疼痛，傷口愈合及慢并能腐爛指甲、骨頭。愈合及慢并能腐爛指甲、骨頭。消防方法消防方法：霧狀水、泡沫。禁用柱狀水，以防止飛濺傷人。急救：急救：應使吸入蒸氣的患者脫離污染區(qū)，安置休息并保暖。眼睛受到刺激，用水沖洗并就醫(yī)診治。皮膚接觸先用水沖洗再涂敷氧化鎂甘油軟膏。 嚴重的須就醫(yī)診治。誤服立即漱口、飲水及鎂乳，急送醫(yī)院救治（不應使用催吐方法）。 醋酸醋酸別名：別名：醋酸；冰醋酸分子式分子式：CH3COOH性狀：性狀：無色透明易燃液體。有刺激性酸味。溶于水、乙醇、甘油、不溶于二硫化碳，與醇酯起化學反應。危害特性：危害特性：吸入本品蒸汽對鼻，喉和呼吸道有刺激性，對

19、眼有強烈刺激作用。皮膚接觸，輕者出現(xiàn)紅斑，重者引起化學灼傷。慢性影響：眼睛水腫，結(jié)膜充血、慢性咽喉炎和支氣管炎。長期反復接觸，可導致皮膚干燥，脫脂和皮炎。緊急處理：緊急處理：如果皮膚接觸立刻脫去被污染的衣著，用大量的流動清水沖洗，至少15分鐘；如果眼睛接觸，立即在洗眼器上用大量的水沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。滅火方法：滅火方法：用霧狀水保持火場容器人卻，用水噴射逸出液體，使其稀釋成不燃燒性混合物，并用霧狀水保護消防員。滅火劑：霧狀水、干粉、二氧化碳。丙酮丙酮英文名：英文名：Acetone分子式分子式：C3H6O分子質(zhì)量：分子質(zhì)量：58.08性狀性狀: 無色透明易流動液體，有芳香氣味，及易揮發(fā)。危害

20、和特性：危害和特性：C3H6O其蒸汽與空氣可形成爆炸性混合物。遇明火，高熱極易燃燒爆炸。與氧化劑能發(fā)生強烈反應其蒸汽氣比空氣重能在較低處擴散到很遠處，遇明火會引著回燃。若遇高熱，容器內(nèi)壓曾大，有爆炸的危險。C3H6O能吸入 食入 經(jīng)皮膚吸入 如有以上會出現(xiàn)乏力 ，惡心 ，頭痛頭暈易激動，重者發(fā)生嘔吐，氣急，痙攣，甚至昏迷。對眼鼻喉有刺激有燒灼感。泄漏處理：泄漏處理：如有泄露：迅速撤離至安全區(qū)域，切斷火源，應急人員處理時戴自給式呼吸器，穿消防服如小量泄露：請沙土或其他不然材料吸附或吸收。也可用大量的水稀釋。滅火劑：滅火劑：用抗容性泡沫，二氧化碳，干粉，沙土。水無效。邊膠清洗液組成：本品為丙二醇單

21、甲醚、醋酸丁酯的混合溶液。性狀：本品為無色透明液體，溶于水，微有醚味。對中樞神經(jīng)有抵制作用，吸入其蒸汽對眼睛及上呼吸道均有強烈刺激作用，且刺激肺泡黏膜，引起肺水腫和支氣管炎。受熱或遇到明火有燃燒爆炸危險，蒸汽能與空氣形成爆炸混合物。滅火劑：泡沫、干粉、二氧化碳、沙土儲存、搬運及使用注意事項： 儲存：儲存于陰涼、干燥處，嚴格避光，遠離熱源及火種，避開強氧化劑。 搬運：穿適宜防護服，穿戴防護鏡，輕拿輕放。 使用：使用點要有適當通風，用后擰緊蓋子。萬一打翻泄漏，用干布、紙、木屑或活性炭吸掉，用水浸濕后丟到安全地帶，對污染地點用肥皂水清洗。氟化銨 BHF 性質(zhì)：液體、潮解性的無色晶狀物，可溶于水。危險

22、、有害性：著火性、爆炸性：沒有。腐蝕性：用溫水進行分解，就成為氨與重氟化銨。如進行加熱，就分解為氨和氟化氫，能腐蝕玻璃。對人體的影響：如攝取或吸入，則毒性很大。對眼睛、皮膚有強烈刺激。事故預防的要點：保管、處理：容器要蓋嚴，保管在通氣良好的低溫場所，并裝有換氣裝置。保護用具：作用手套、長靴、圍裙、眼鏡。應急處置：沾到皮膚上時：用大量的流水清洗，接受醫(yī)生的處置。進入眼睛時：用大量的流水清洗，接受眼科醫(yī)生的處置。吸入時：進行吸氧，立即接受醫(yī)生的處置。鋁腐蝕劑名稱：磷酸、硝酸、乙酸的混合物性狀：本品為磷酸、硝酸、乙酸與水一定比例的混合物，無色透明粘稠液體，略帶酸味，具有強酸性，接觸皮膚能使皮膚破損潰

23、爛，濺入眼內(nèi)能刺激眼球，嚴重者失明。急救：皮膚接觸本品液體應立即脫去衣物，用大量水沖洗，必要是用5%稀氨水浸泡，接觸眼部應提起眼瞼用清水沖洗，馬上就醫(yī)。乙醇 C2H5OH 性質(zhì)：液體、無色、芳香、易溶于水。危險、有害性：著火性、爆炸性：在常溫中散發(fā)著火性蒸氣，容易著火。對人體的影響：如果喝下或吸入高濃度的蒸氣，則要引起中毒。直接接觸皮膚，有刺激作用。事故預防的要害（關鍵）：火源管理：嚴禁煙火。.4.2.7.3保管處理：將蓋子蓋嚴，保管在規(guī)定的低溫場所，不要同高氯酸、過氧化鈉、過氧化氫、鉻酸、硝酸等氧化劑酸類保管在一起。簡易探測：氣體探測器。保護用具：根據(jù)需要，使用有機氣體用防毒面具。應急處置：吸入蒸氣時：帶到新鮮空氣的地方。進入眼睛時：用流水沖洗。滅火方法：使用粉末，二氧化碳滅火器。少量時可用注水滅火（澆水滅火）。顯影液性質(zhì)：液體、無色、有刺激味，不溶于水，比重為0.9，蒸氣壓為10mmHg（32）。危險、有害性：著火性、爆炸性：爆炸范圍為鄰二甲苯1-0.6%，由于二甲苯蒸氣比空氣重，滯留在低處所以容易形成爆炸性混合氣體。對人體的影響：對眼睛、鼻子、咽喉有刺激作用，如反復接觸皮膚，則要引起皮膚炎。如吸入高濃度的蒸氣，應會處于麻醉狀態(tài)，有死亡的危險。事故預防的要害（關鍵）：火源管理：嚴禁煙火，電氣設備必須為防爆結(jié)構。保管、處理：容器要蓋嚴，保管在低溫場所，