GB/T 14600-2009電子工業(yè)用氣體氧化亞氮

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T14600—2009

代替

GB/T14600—1993

電子工業(yè)用氣體氧化亞氮

Gasforelectronicindustry—Nitrousoxide

2009-10-30發(fā)布2010-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

犌犅／犜１４６００—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３《電子工業(yè)用氣體氧化亞氮》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氧化亞氮的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加電子工業(yè)用氧化亞氮采樣安全要求（見４．１．２）；

———增加尾氣處理的要求（見４．３）；

———修改一氧化碳、二氧化碳、烴Ｃ１～Ｃ５、氮、氧含量檢驗方法的檢測限和標準樣品的規(guī)定

（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的４．４、４．５、４．６、４．７、４．８，本版的４．５、４．６、４．７、４．８）；

———修改水分含量的檢驗方法（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的４．７，本版的４．１１）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設(shè)計院、大連光明化工研究院。

本標準主要起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６００—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６００—２００９

電子工業(yè)用氣體氧化亞氮

１范圍

本標準規(guī)定了氧化亞氮的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于電子工業(yè)中化學氣相淀積工藝。

分子式：Ｎ２Ｏ。

相對分子質(zhì)量：４４．０１２８（按２００５年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

３技術(shù)要求

氧化亞氮的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標

項目指標

－２

氧化亞氮（Ｎ２Ｏ）純度（體積分數(shù)）／１０≥９９．９９９４９９．９９７

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５２

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．１１

－６

烴Ｃ１～Ｃ５（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．１１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜３１０

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５２

－６

水（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數(shù)）／１０＜１．０３

－６

氨（ＮＨ３）含量（體積分數(shù)）／１０＜供需雙方商定５

一氧化氮（ＮＯ）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜供需雙方商定１

－６

二氧化氮（ＮＯ２）含量（體積分數(shù)）／１０