GB/T 36176-2018真空技術(shù)氦質(zhì)譜真空檢漏方法

ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T36176—2018

真空技術(shù)氦質(zhì)譜真空檢漏方法

Vacuumtechnology—Vacuumleaktestingmethodbyheliummassspectrometer

2018-05-14發(fā)布2018-12-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36176—2018

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

一般要求

4…………………2

人員資格

4.1……………2

設備要求

4.2……………2

氦氣

4.3…………………2

環(huán)境要求

4.4……………2

檢漏方法

5…………………2

噴吹法

5.1………………2

氦罩法

5.2………………6

壓力真空檢漏法

5.3-……………………9

檢漏文件

6…………………11

檢漏記錄

6.1……………11

檢漏報告

6.2……………11

附錄規(guī)范性附錄檢漏記錄

A()…………12

附錄規(guī)范性附錄檢漏報告

B()…………13

Ⅰ

GB/T36176—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國真空技術(shù)標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所安徽皖儀科技股份有限公司寧波萊寶真空自動化技

:、、

術(shù)有限公司湖南維格磁流體股份有限公司沈陽真空技術(shù)研究所

、、。

本標準主要起草人王勇孟冬輝孫立臣閆榮鑫史紀軍黃文平王國東胡眉任國華孫偉

:、、、、、、、、、、

邵容平陸鳴張春元竇仁超言繼春王功發(fā)言文靜彭光東孫剛孫威景嘉榮李斌王玲玲

、、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T36176—2018

真空技術(shù)氦質(zhì)譜真空檢漏方法

1范圍

本標準規(guī)定了氦質(zhì)譜真空檢漏方法實施的一般要求三種常用的氦質(zhì)譜真空檢漏方法在應用對象

,、

系統(tǒng)組成檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求

、。

本標準適用于各行業(yè)中采用氦質(zhì)譜真空檢漏方法的部件組件分系統(tǒng)級以及系統(tǒng)級產(chǎn)品

、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術(shù)術(shù)語

GB/T3163

純氦高純氦和超純氦

GB/T4844、

無損檢測人員資格鑒定與認證

GB/T9445

無損檢測術(shù)語泄漏檢測

GB/T12604.7

質(zhì)譜檢漏儀

GB/T13979

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T3163GB/T12604.7。

31

.

等待時間waitingtime

兩次測試的間隔時間

。

32

.

檢漏靈敏度leaktestingsensitivity

Q

emin

在具體的工作條件下檢漏系統(tǒng)所能檢出的最小漏孔漏率

,。

33

.

噴吹法sprayprobemethod

用噴槍噴出已知濃度的氦氣束在被檢件的表面掃描進行的氦質(zhì)譜檢漏方法

。

34

.

氦罩法heliumhoodmethod

將被檢件部分或全部罩住罩內(nèi)充入已知濃度的氦氣進行的氦質(zhì)譜檢漏方法