ch0ic有源元件與工藝流程(新)

1第五章 IC有源元件與工藝流程5.1概述5.2 雙極性硅工藝5.3HBT工藝5.4 MESFET和HEMT工藝5.5MOS工藝和相關的VLSI工藝5.6PMOS工藝5.7 NMOS工藝5.8CMOS工藝5.9BiCMOS工藝2第五章 IC有源元件與工藝流程

5.1概述表5.13I美C特信別灘是袖邏望輯I蘿C的塔類下型窮包票括遣：再以雙你極陳型眨硅帆為阿基迫礎轎的E租C毅L技接術(shù)，P救M呆O座S技論術(shù)，N躲M裳O猶S技摔術(shù)，C悼M該O末S技淡術(shù)，經(jīng)雙帆極伶型編硅銷或醫(yī)鍺慶異衡質(zhì)忘結(jié)仁晶旁體尸管己加C瓶M到O潤S的B化i園C旬M電O功S技轉(zhuǎn)術(shù)和G帽a脂A開s技收術(shù)。目格前仗，墳占既統(tǒng)錫治獅地衡位惜的樹是C紋M嬸O壯S技玻術(shù)箱。單及純你采希用廁雙崇極舒型致硅墻的E插C率L技龍術(shù)拒僅亦在蒼一起定烏場竿合曾得元到垮應痰用鄉(xiāng)豐，球但傾以硅/鍺應異圖質(zhì)獨結(jié)瓜晶鞏體渣管陪（H匹B鎮(zhèn)T）避為跡元碰件量的E脈C游L電錢路和B起i聽C議M弓O泳S電田路則墻異恢軍潤突議起征，牌在高盟頻、高土速和大療規(guī)覆模蘇集識成方霞面卸都松展偽現(xiàn)傷出內(nèi)優(yōu)依勢挎。4各堡種游工喚藝渡的籃兩嫂個束重陽要光特泰性抗是速羅度和功炕耗。隙人胸們嘉追化求押的災目睛標穗是高植速和低職功最耗。速讀度造是夾用門房誠延混遲來蹤蝶表恒示釣，屈門雞延味遲挪越沫小傾表腎示偽速倘度篩越丈高歇。吃所罩以績工吃藝姻開悉發(fā)縣和獵電嚴路肝設脈計糟的仰目明標輕，武即誦高遺速甚低敵功權(quán)耗郵就梨變甩成稠向謹左麗下童角甜靠氣近絞（暈圖5屈.淋1）民。G刑a士A賓s潛錢在例速粗度車最阻高鹿，刺而C爛M仰O皮S功理耗肆最輔小庫。5圖5喪.泥1幾枯種I支C工闖藝恭速散度喝功揚耗暫區(qū)趣位幅圖65柴.每2雙隆極窮性憑硅廚工夾藝典申型牛的雙商極嘉性暖硅飲工見藝稍：N島P蓋N三曲極完管圖5肅.界2典積型陷的章剖蜂面誘圖雙蚊極窯性軟硅參工廢藝建優(yōu)心點勇：有高何速壓度飲、富高固跨舉導歡、僻低仍噪疾聲備、閾值裕容仍易撿控選制揀。雙刑極淚性母硅各的冠應旗用悠：虛低產(chǎn)噪源聲泡高涼靈守敏造度注放如大奮器穩(wěn)、權(quán)微籌分義電項路征、注復伙接黃器暮、觀振繞蕩萄器惰等臟。7典俗型落的埋雙劉極班集邀成肚電孕路溜工井藝襯晶底掠制扮備→一婆次遲氧陸化→隱火埋受層扇光役刻→隱浙埋修層念擴列散→外壞延御淀蔽積→熱機氧角化→隔眨離延光首刻—隔納離豬擴怪散→再己氧店化→基僅區(qū)壘光銅刻→基亭區(qū)鏈擴乎散→再閑分劣布酬及暈氧醬化→發(fā)些射少區(qū)負光沖刻→（純背統(tǒng)面圾摻濁金陷）→發(fā)圾射適區(qū)鏟擴抬散→再咐分兩布敲及碎氧忙化→接老觸副孔讀光做刻→鋁妨淀戴積→反棗刻訂鋁→鋁譜合嚇金→淀碰積燃鈍固化夕層→壓捉焊罩塊慨光葵刻→中堤測8圖5潤.騎2（a）社繪沿制票了遵典芝型笑的族雙兵極執(zhí)型拿硅谷晶畫體耗管城的算剖圣面柔圖刮。從這自樣澇的沾晶殖體盼管捆用5張單掩私膜典就女可憐以糖加燒工斯：1、別襯今底序選濱擇選汽用P型升襯無底訪，尚為奪提市高肅隔匙離肺結(jié)獵的罷擊倆穿漸電牽壓始同釣時彈也棒不軋使厚外盾延棒層酸在炭后游續(xù)遵工抓藝百中汪下屠推始太忽多遞，

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