京運(yùn)通TRDL-800維護(hù)手冊(cè)

TRDL-800型軟軸單晶爐維護(hù)手冊(cè)TRDL-800型軟軸單晶爐維護(hù)手冊(cè)文件編號(hào)：受控狀態(tài)：發(fā)放編號(hào)：編制：劉磊龐志剛徐濤審核：楊樂(lè)批準(zhǔn)：閻偉日一、概述TRDL-800型單晶爐，是軟軸提拉型單晶爐。在以惰性氣體為基礎(chǔ)的環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅材料熔化用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。它可生產(chǎn)大規(guī)模集成電路所需的高質(zhì)量單晶。并采用18”熱系統(tǒng)，以投料為60KG為標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)下拉制6-8寸的單晶。其爐體構(gòu)架包括：提拉系統(tǒng)，液壓系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及水系統(tǒng)。在機(jī)械結(jié)構(gòu)方面采用了先進(jìn)的磁流體密封技術(shù)、新型翻板閥結(jié)構(gòu)、拱形封頭式爐蓋結(jié)構(gòu)及合理的主、副室提升機(jī)構(gòu)。副室及爐蓋都是應(yīng)用浮動(dòng)式提升機(jī)構(gòu)，避免了因熱變形及抽真空變形引起的卡死現(xiàn)象。單晶的提升采用的是承受170Kg的不銹鋼絲編織的軟軸。爐室結(jié)構(gòu)為頂開(kāi)式，主爐室和副爐室開(kāi)啟時(shí)由液壓傳動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)上移，上升到位后對(duì)稱旋出，保證主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動(dòng)取出晶體，拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。主爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動(dòng)式翻板閥，可在熱場(chǎng)維持工藝溫度的情況下取出晶體，更換籽晶，連續(xù)拉晶。電控制系統(tǒng)采用微機(jī)控制，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。堝升、堝轉(zhuǎn)、晶升、晶轉(zhuǎn)均采用性能穩(wěn)定可靠的進(jìn)口電機(jī)系統(tǒng)。并采用了多楔帶傳動(dòng)，這樣既可傳大扭矩，又運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)無(wú)震動(dòng)。其設(shè)備主要組成部分和參數(shù)如下序號(hào)項(xiàng)目參數(shù)1型號(hào)JRDL-800CCD2名稱單晶硅爐3電源電壓380V4電源頻率50Hz5電源相數(shù)3相6加熱方式、加熱元件電阻加熱、石墨加熱器7主變壓器容量190KVA8主加熱器最大功率140KW9主加熱器最高加熱電壓60V10整機(jī)功率≤150KW11爐內(nèi)最高溫度160012冷態(tài)爐內(nèi)極限真空度﹤3Pa13冷態(tài)真空泄漏率﹤1Pa/5min14副室打開(kāi)時(shí)主爐室真空度﹤3Pa15生長(zhǎng)晶體的直徑范圍6″—8″16熔料重量60kg17原料多晶硅原料18硅單晶等徑長(zhǎng)度≥500㎜19等徑精度±2.5mmCCD控制系統(tǒng)±1mm20單晶硅生長(zhǎng)時(shí)間/爐≈30h21主爐時(shí)尺寸Ф800×1150㎜22中爐室尺寸Ф800×800㎜23下?tīng)t室尺寸Ф800×350㎜24翻板閥通徑Ф26025副室內(nèi)尺寸Ф260×2220㎜26兩電極間距436㎜27機(jī)械泵配置副室配用TR-24直連泵，主室配用2H—70滑閥泵28籽晶拉速范圍0.1—10㎜/min29籽晶快速≥160㎜/min30籽晶轉(zhuǎn)速范圍2—40rmp31坩堝升速范圍0.02—1㎜/min32坩堝轉(zhuǎn)速范圍1—30rmp33坩堝在爐內(nèi)有效行程≥350㎜34籽晶在副室內(nèi)有效行程1400㎜35水爐系統(tǒng)回水點(diǎn)最高溫度40℃，在5036主機(jī)總高6320㎜37要求廠房高度﹥7600㎜38主機(jī)重量≈4000㎏39主機(jī)占地面積2800㎜×2000㎜40整機(jī)占地面積5000㎜×3000㎜41防震溝要求機(jī)械泵與主室之間要有防震溝，并且距離≥3m42設(shè)備相互之間距離≈2m43進(jìn)水量的要求（壓力、流量）壓力0.15—0.2Mpa，流量20立方米/h44冷卻水進(jìn)水口溫度﹤2545冷卻水用量/臺(tái)≥15立方米/h46氬氣用量/臺(tái)3000L/h二、基本級(jí)維護(hù)1、真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)由主爐室與副爐室真空系統(tǒng)組成。(1)真空泵：電路控制原理圖：真空泵工工作原理：真空泵按鈕按下以后C8接觸器吸合，主室泵在三相電下開(kāi)始啟動(dòng)。啟動(dòng)前，檢查皮帶松緊程度，啟動(dòng)前可以松一些，啟動(dòng)后調(diào)節(jié)油箱上的調(diào)節(jié)螺栓，慢慢拉緊，以減少啟動(dòng)力矩。檢查各部位有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象，接線是否正確，電機(jī)轉(zhuǎn)向是否同泵的要求符合。檢查油箱內(nèi)的油位是否出于油鏡的允許位置（油面一般在油鏡中間）。檢查轉(zhuǎn)動(dòng)是否靈活，并將真空油排至油箱，以防啟動(dòng)時(shí)負(fù)載過(guò)大而影響使用壽命。打開(kāi)冷卻水閥。冬季如室溫過(guò)低，應(yīng)把泵加溫后在啟動(dòng)泵，因低溫時(shí)油粘度大，如突然啟動(dòng)，會(huì)使電機(jī)超負(fù)荷和損壞泵的零件，一般使用時(shí)室溫不低于5℃?zhèn)渥ⅲ簩?duì)泵的維護(hù)工作必須在確保泵的空開(kāi)K2手動(dòng)斷開(kāi)的情況下進(jìn)行，以免員工對(duì)泵的貿(mào)然啟動(dòng)，損傷設(shè)備維修人員。一級(jí)保養(yǎng)：電磁閥1、電機(jī)維護(hù)：定期檢查電機(jī)工作情況，有無(wú)異響，表面電磁閥溫度是否超溫+40℃～+80℃常情況。2、電磁閥維護(hù)：檢查器表面溫度+10℃～+40淤泥。、檢查電磁閥工作是否正常,能夠正常的吸合,是否漏氣,如工作不正常,檢查保險(xiǎn)及整流橋是否被擊穿。3、油位檢查：真空泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)基本充滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透明的若顏色昏暗，請(qǐng)換油。3拆上蓋1斷k23拆上蓋1斷k22放油5拆分離器并清理6拆濾芯并清理備注：在放完油后，從注油口加入適量廢油，開(kāi)啟真空泵10秒以內(nèi)，關(guān)閉并斷k2，然后再次放出廢油，以便讓廢油帶出大量油濁物。清理濾芯時(shí)，將放入容器中用無(wú)水乙醇清理。然后裝回。最后將泵依次裝好，閉合k2.二級(jí)保養(yǎng)：應(yīng)該常注意油位及油的清潔，視油器內(nèi)有足量的油，新泵工作150小時(shí)后換油一次，以后每2～3個(gè)月?lián)Q油一次。如使用條件不好，真空度下降時(shí)，可以縮短換油時(shí)間。應(yīng)該常保持泵及周圍環(huán)境的干燥清潔。經(jīng)常注意泵溫及冷卻水和油的溫度，泵溫以測(cè)量油溫為準(zhǔn)，最高不得超過(guò)85℃，冷卻水進(jìn)水溫度不超過(guò)30℃，出水溫度不超過(guò)根據(jù)泵使用條件，應(yīng)拆卸油箱蓋定期清洗低缸油池內(nèi)過(guò)濾器和拆卸高缸油池罩，清洗高缸油池。管道的維護(hù)：真空管道是連接主機(jī)與真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影響著設(shè)備的正常工作。因此，也應(yīng)重視這方面的維護(hù)。除塵器中的過(guò)濾網(wǎng)每2～3爐清理一次，抽氣管道每20～30爐清理一次。管道的溫升直接影響著泵的壽命、抽氣速度及密封圈的壽命，應(yīng)該經(jīng)常檢查管道的冷卻水，保證暢通。(2)副室泵的維護(hù)使用：電路控制原理圖：工作原理：按鈕按下以后C3接觸器吸合，主室泵在三相電下開(kāi)始啟動(dòng)。本泵可單獨(dú)使用，亦可作為各種分子泵、擴(kuò)散泵、羅茨泵等高真空、超高真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，與之配套使用。本泵不得用于抽除塵埃及腐蝕性、易爆性氣體；并不得作為壓縮泵或輸送泵使用。本泵具有極限真空度高、噪音低、不漏油、不噴油等特點(diǎn)，采用防返油止逆閥系統(tǒng)、壓力油循環(huán)系統(tǒng)，方便的氣鎮(zhèn)閥控制等結(jié)構(gòu)。泵的排氣口必須暢通，嚴(yán)禁在封堵排氣口的狀態(tài)下啟動(dòng)泵。通過(guò)油箱的油標(biāo)檢查油量。當(dāng)接線改變后注油塞進(jìn)氣口注油塞進(jìn)氣口排氣口放油塞新啟動(dòng)泵時(shí)，應(yīng)蓋住泵的吸氣口啟動(dòng)泵，以便把泵油中的氣體排出去。備注：對(duì)泵的維護(hù)工作必須在確保泵的空開(kāi)K3手動(dòng)斷開(kāi)的。情況下進(jìn)行，一級(jí)保養(yǎng)：a、電機(jī)維護(hù)：定期檢查電機(jī)工作情況，有無(wú)異響，漏油等異常情況。表面溫度是否超溫+40℃～+80℃b、油位檢查：副室泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)基本充滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透明的若顏色昏暗，請(qǐng)換油。c、清理進(jìn)氣口過(guò)濾網(wǎng)：過(guò)濾網(wǎng)可防止微粒狀物質(zhì)進(jìn)入泵腔，需要清理時(shí)，將過(guò)濾網(wǎng)拆下后，放入容器中用無(wú)水乙醇清理。然后裝回。二級(jí)保養(yǎng)：如果油被污染，需及時(shí)更換。新泵初次使用，換油時(shí)間可適當(dāng)縮短。泵的真空度隨著時(shí)間不斷下降時(shí)，需換油。泵在連續(xù)工作中，打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥，可抽除被抽系統(tǒng)中可凝性蒸汽，待被抽系統(tǒng)壓力降低到一定數(shù)值時(shí)，在關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，進(jìn)行抽氣。長(zhǎng)時(shí)間不用泵時(shí)，應(yīng)密封泵的進(jìn)氣口和排氣口，以防灰塵、污物污染泵體。如果長(zhǎng)時(shí)間沒(méi)有使用泵，氣體會(huì)吸附在泵及密封部件上，當(dāng)再次使用泵時(shí)，可適當(dāng)延長(zhǎng)抽氣時(shí)間，待被吸附氣體解析、排除后，即可恢復(fù)泵的正常使用。翻板閥的拆裝：拆卸閥蓋及轉(zhuǎn)軸（勿傷閥蓋密封面）①拆開(kāi)聯(lián)接閥蓋與轉(zhuǎn)軸間的水管。②拆下連接桿與轉(zhuǎn)軸間的連接板。（拆換轉(zhuǎn)軸間的密封圈時(shí)，可不必進(jìn)行以上兩步）③松開(kāi)左邊軸端螺釘，拆下支承彎板。④松開(kāi)左邊壓緊螺母。⑤拆去右端水嘴座及轉(zhuǎn)臂。⑥松開(kāi)右端蓋緊螺釘。⑦將轉(zhuǎn)軸從右端軸抽出即可。裝配時(shí)逆操作。2、液壓系統(tǒng)：電路控制原理圖：壓力表油標(biāo)壓力表油標(biāo)工作原理：?jiǎn)?停按鈕按下以后,點(diǎn)擊卸荷按鈕，C2接觸器吸合，液壓電機(jī)在三相電下開(kāi)始啟動(dòng)。主副室及爐蓋的升降操作：主室升降操作：主爐室提升時(shí)，只有爐蓋上升碰限位后向左側(cè)旋轉(zhuǎn)偏離主爐室后，才可上升。主爐室和爐蓋互鎖，主爐室升到極限位置并停留后，然后向右旋出，進(jìn)行清理和擦拭。合爐時(shí)，逆操作。副爐室及爐蓋升降操作：副爐室及爐蓋提升用一個(gè)液壓缸，該缸裝在下立柱的左側(cè)上方，用支承臂將副爐室和爐蓋先后升降，先將副爐室上升40mm自動(dòng)限位，向左旋轉(zhuǎn)副爐室后再可升爐蓋。副室、爐蓋、主爐室的操作，控制面板上有相對(duì)應(yīng)的按鈕。操作注意事項(xiàng)：在需要進(jìn)行副室、爐蓋、主爐室提升操作時(shí)，按下相應(yīng)按鈕，副室、爐蓋升起100mm后必須旋出，主爐室才可升起，以防爐蓋和主爐室相碰撞。合爐時(shí)首先將上爐筒旋轉(zhuǎn)至導(dǎo)向桿處，然后對(duì)正導(dǎo)向套下降，再上爐筒下降至下?tīng)t筒上密封接觸時(shí)，應(yīng)點(diǎn)動(dòng)慢降，直到自由壓緊為止。合完上爐筒后，方可合爐蓋，首先將爐蓋降至距上爐筒上面40mm處，然后將爐蓋對(duì)正導(dǎo)向套，下降爐蓋，應(yīng)點(diǎn)動(dòng)慢降，對(duì)正止口，直到自由壓緊為止。啟動(dòng)過(guò)程中應(yīng)隨時(shí)檢查電機(jī)、油泵的溫升，隨時(shí)觀察系統(tǒng)的工作壓力，隨時(shí)檢查各高壓連接處是否有松動(dòng)，以免發(fā)生異常事故。一級(jí)保養(yǎng)：電機(jī)調(diào)壓旋鈕電機(jī)調(diào)壓旋鈕等異常情況。表面溫度是否超溫+40℃～+802、油位檢查：副室泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)基本充滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透明的若顏色昏暗，請(qǐng)換油。3、壓力調(diào)節(jié)：液壓泵的正常工作壓力為3.0Mpa～3.5Mpa。在壓力表顯示低于3.0Mpa時(shí)，液壓系統(tǒng)在升降爐體時(shí)會(huì)有停滯的現(xiàn)象，此時(shí)需要調(diào)節(jié)壓力，在確認(rèn)油箱內(nèi)油量合適的情況下，啟動(dòng)電機(jī)，向右旋轉(zhuǎn)此旋鈕，可以適當(dāng)調(diào)大壓力。二級(jí)保養(yǎng)：液壓泵初次使用半年后應(yīng)更換一次液壓油，以后每隔一年更換一次，以保證系統(tǒng)的正常運(yùn)行。液壓系統(tǒng)在運(yùn)行過(guò)程中，應(yīng)隨時(shí)檢查濾油器阻塞情況并及時(shí)清洗或更換。液壓系統(tǒng)平時(shí)應(yīng)常備易損件及元、輔件備件，以便及時(shí)處理故障。3加熱系統(tǒng):電路控制原理圖:工作原理：加熱系統(tǒng)：加熱系統(tǒng)包括濾波柜，變壓器，水冷電纜，熱場(chǎng)。變壓器將經(jīng)濾波柜濾除諧波之后的380V電源轉(zhuǎn)化為50V，由可控硅控制其輸出量后經(jīng)水冷電纜傳輸給電極。其控制部分由控制柜的歐陸表，電壓反饋板、觸發(fā)板來(lái)實(shí)現(xiàn)。熱場(chǎng)包括加熱器、石墨電極、電極螺栓、爐底護(hù)盤(pán)、石英護(hù)套、電極護(hù)套、堝桿護(hù)套、排氣口護(hù)套、堝桿、堝托、石墨坩堝、下保溫罩、上保溫罩、上保溫蓋、下保溫蓋、導(dǎo)流筒。其中，加熱器，電極，電極螺栓是加熱裝置，其他為保溫裝置?？刂葡到y(tǒng)：控制柜主要是通過(guò)工控機(jī)，驅(qū)動(dòng)器、編碼器、PLC等對(duì)晶體生長(zhǎng)及其生長(zhǎng)環(huán)境進(jìn)行監(jiān)視和控制，以便使晶體按工藝要求生長(zhǎng)。為操作者提供了一個(gè)人機(jī)交互的界面，方便操作者對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程的控制。固體電容固體電容直流互感器機(jī)床變壓器功率控制按鈕可控硅水冷電纜水冷電纜JRDL－800的溫度控制系統(tǒng)采用英國(guó)歐陸公司的P818溫度自動(dòng)控制儀作為系統(tǒng)的溫度控制器。其控制原理：由熱電堆檢測(cè)的溫度信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷盒盘?hào)送至P818溫度自動(dòng)控制儀，與設(shè)定的溫度信號(hào)進(jìn)行比較、運(yùn)算，然后將偏差纖毫送至數(shù)字觸發(fā)器控制加熱功率，另一路由負(fù)載引起變化的電壓波動(dòng)經(jīng)過(guò)霍爾變換后送至反饋接口電路用于穩(wěn)定輸出功率，使加熱器上的電壓更加穩(wěn)定。當(dāng)開(kāi)始加熱時(shí)，可編程控制器檢測(cè)冷卻水及壓力，當(dāng)水壓達(dá)到要求時(shí)可以啟動(dòng)加熱。當(dāng)無(wú)水或壓力不夠時(shí)則加熱不動(dòng)作，需檢查供水情況。一旦加熱后中途因故停水或水壓低于設(shè)定水壓以下時(shí)，面板上水壓報(bào)警燈亮啟，蜂鳴器鳴叫，但加熱不停止，提示檢修人員及時(shí)排除故障。加熱中途遇到電流過(guò)大及爐內(nèi)打火或負(fù)載短路時(shí)，從主加熱變壓器檢測(cè)到過(guò)流信號(hào)通過(guò)控制器停止加熱，同時(shí)面板上過(guò)流報(bào)警燈亮啟，蜂鳴器鳴叫。待故障消除后，將溫度控制器的OP值降到零，重新開(kāi)啟一次，面板上的加熱開(kāi)關(guān)可繼續(xù)加熱。但要注意此時(shí)坩堝中的硅料不要結(jié)晶，否則應(yīng)停止加熱，清理爐膛后重新裝料再加熱。(1)熱場(chǎng)石墨件名稱：石英環(huán)φ110*120mm石英石英環(huán)φ94*140mm石英電極螺栓φ70*110石墨/IG-70石墨電極φ89*190石墨/IG-70爐底護(hù)盤(pán)φ660*200石墨/GSK加熱器φ580*600石墨/CG-12堝桿護(hù)套φ134*138石墨/國(guó)產(chǎn)細(xì)料電極護(hù)套φ136*105石墨/國(guó)產(chǎn)細(xì)料排氣護(hù)套φ60*84石墨/GSK上保溫罩φ630*183石墨/GSK下保溫罩φ630*600石墨/GSK石墨堝托φ442*70石墨/CG-12石墨坩堝φ494*342石墨/CG-12導(dǎo)流筒外φ470*295石墨/IG-12導(dǎo)流筒內(nèi)φ470*279.5石墨/IG-12石墨堝桿φ270*735石墨/GSK上保溫蓋外φ780*32石墨/GSK下保溫蓋內(nèi)φ724*32石墨/GSK石墨紙厚度1mm熱場(chǎng)的安裝：銅電極銅電極爐底護(hù)盤(pán)石墨電極石英護(hù)套中罩上罩排氣護(hù)套石英護(hù)套坩堝護(hù)套加熱器石墨電極電極螺栓導(dǎo)流筒導(dǎo)流筒上蓋安裝熱場(chǎng)元件之前先確認(rèn)銅電極與爐體絕緣。將準(zhǔn)備好的碳?xì)咒伻氩讳P鋼爐體。將剪好的碳膜紙穿入銅電極。將石英護(hù)套穿入銅電極，擺放適當(dāng)。安裝爐底護(hù)盤(pán)放入排氣孔護(hù)套、電極護(hù)套、坩堝護(hù)套。將石墨電極擰固在銅電極上并在石墨電極上部擺放剪好的碳膜紙。安裝加熱器，使加熱器電極孔與石墨電極孔重合。將石墨螺絲穿上碳膜紙，緊固加熱器電極腿。裝入中罩、上罩。安裝堝桿、堝托、三瓣堝。測(cè)量加熱器與爐體是否絕緣。裝好大蓋固定導(dǎo)流筒，安裝完成。拆卸時(shí)，進(jìn)行逆操作即可。(2)電極的拆裝與維護(hù)：拆卸：由于電極材料為紫銅，因此裝時(shí)應(yīng)特別小心，切勿重?fù)?。拆卸電極時(shí)，首先卸掉水冷電纜及銅夾子。然后拆下水嘴座。松開(kāi)壓緊螺母。移去上部石英保護(hù)套。將電極從上部抽出即可。裝配時(shí)，進(jìn)行逆操作即可。(3)變壓器的維護(hù)：a、定期檢查絕緣子、繞組的底部和端部進(jìn)行檢查看有無(wú)積塵現(xiàn)象。b、平時(shí)運(yùn)行巡視檢查中禁止觸摸，注意觀察緊固部件有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象。繞組絕緣表面有無(wú)龜裂、碳化痕跡，聲音是否正常。c、運(yùn)行中注意溫升變化，切忌因溫升過(guò)高而損壞絕緣。d、每次運(yùn)行前，檢查水溫報(bào)警器工作是否正常，有無(wú)漏水痕跡。(4)歐陸表使用：第二顯示第第二顯示第一顯示毫伏信號(hào)，單位為毫伏。按鈕A/MAN決定這歐陸表的來(lái)回交替的工作方式，即當(dāng)處于MAN狀態(tài)時(shí)，按下A/MAN按鈕后，歐陸表將轉(zhuǎn)換為WSP的工作方式，在MAN的狀態(tài)下，熱場(chǎng)以固定的電壓電流來(lái)為熱場(chǎng)提供熱量，當(dāng)在WSP的狀態(tài)下工作時(shí)，熱場(chǎng)系統(tǒng)將通過(guò)不斷的微調(diào)輸入輸出的電壓電流來(lái)穩(wěn)定當(dāng)前的溫度。在WSP狀態(tài)下，第一顯示為當(dāng)前熱場(chǎng)溫度值，第二顯示為熱場(chǎng)目標(biāo)值。當(dāng)處于MAN狀態(tài)時(shí)，熱場(chǎng)第一顯示值為當(dāng)前值，第二顯示值為熱場(chǎng)輸出百分比，以100%為極限值。4、提拉系統(tǒng)：晶升電機(jī)晶升電機(jī)晶轉(zhuǎn)電機(jī)堝升電機(jī)堝轉(zhuǎn)電機(jī)諧波減速器電路控制原理圖:工作原理：晶升、堝升系統(tǒng)由晶體生長(zhǎng)拉速控制器和晶體生長(zhǎng)跟蹤控制器組成。其附帶部分還包括上部的晶體上升快速升降控制和隨動(dòng)快速升降控制。這兩部分均采用進(jìn)口電機(jī)及進(jìn)口控制器由接口控制電路控制其工作，并與晶體直徑控制器一起完成對(duì)晶體的生長(zhǎng)控制及直徑進(jìn)行控制。電機(jī)的快速運(yùn)動(dòng)與正常速度的轉(zhuǎn)換由可編程控制器進(jìn)行邏輯運(yùn)算后由電機(jī)執(zhí)行，可保證電機(jī)在運(yùn)行中動(dòng)作準(zhǔn)確，安全可靠。電機(jī)的控速顯示和隨動(dòng)電機(jī)的跟蹤速度顯示分別由面板上的兩塊數(shù)字顯示儀表顯示及其拉速和跟速，單位是mm。籽晶提升機(jī)構(gòu)：籽晶提升機(jī)構(gòu)有提升電機(jī)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)精密的渦輪蝸桿減速器帶動(dòng)卷絲輪。卷絲輪通過(guò)滾動(dòng)花鍵傳遞扭矩并承擔(dān)支承。卷絲輪由牽引螺紋螺母套實(shí)現(xiàn)平移，從而保證卷絲軟軸鋼絲始終在對(duì)中位置，卷絲的平移又帶動(dòng)限位桿，實(shí)現(xiàn)軟軸的極限限位，以保護(hù)籽晶提升機(jī)構(gòu)不受損傷。卷絲輪聯(lián)接有光電編碼器，精確顯示晶體長(zhǎng)度（或位置）。為便于軟軸鋼絲繩的拆裝，在卷絲輪上開(kāi)有裝拆槽。卸時(shí)只需將軟軸松開(kāi)，順著孔槽移出即可，安裝時(shí)，應(yīng)將卷絲輪處在最右端，記清所剩繞韁圈數(shù)，然后順槽裝入軟軸，按原來(lái)圈數(shù)繞成即可。一級(jí)保養(yǎng)：1、電機(jī)檢查：定期檢查電機(jī)工作情況，有無(wú)異響，漏油等異常情況。表面溫度是否超溫+20℃～+402、每次大清，緊固聯(lián)軸節(jié)，清理絲杠并加潤(rùn)滑油。1、用無(wú)塵布將絲杠、導(dǎo)軌擦拭干凈用加滿酒精的噴壺將絲杠上面的雜質(zhì)沖洗干凈，反復(fù)升降幾次，尋找最佳效果。在絲桿，導(dǎo)軌上面涂抹少量潤(rùn)滑油。重復(fù)升降幾次，檢查效果。注：確保絲杠、導(dǎo)軌沒(méi)有雜質(zhì)，否則影響運(yùn)行。工具：噴壺、無(wú)塵布、潤(rùn)滑油二級(jí)保養(yǎng)：1、每次運(yùn)行，校正對(duì)中。2、定期校正運(yùn)行速度與顯示速度，使其保持一致。3、鋼絲繩的拆裝與維護(hù)：鋼絲繩鋼絲繩聯(lián)軸節(jié)卷絲輪側(cè)面圖頂面圖阻尼拆下：所需工具：內(nèi)六角扳手一套、對(duì)中工具、聚光燈a:蓋好爐蓋，將鋼絲繩下降，卷絲輪上只纏繞2～3圈的時(shí)候。將鋼絲繩從重錘處剪斷，b：打開(kāi)提拉頭的上蓋和側(cè)蓋視窗，松開(kāi)壓線輪螺釘。c：松開(kāi)連軸節(jié)上的螺釘，使卷絲輪能夠用手自由轉(zhuǎn)動(dòng)。d:拽動(dòng)鋼絲繩，使鋼絲繩從卷絲輪旋轉(zhuǎn)下來(lái)。e:從阻尼上逐步的將鋼絲繩從末端拉出。f:把電機(jī)和限位信號(hào)線拔出，將提拉頭拆下，將阻尼套取出。安裝：所需工具：內(nèi)六角扳手一套、對(duì)中工具、聚光燈a:在卷絲輪上纏入新的鋼絲繩，使鋼絲繩從底板穿出。b:將鋼絲繩壓入第一繞線槽內(nèi)并緊固壓線輪螺釘。c:手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)卷絲輪使鋼絲繩多繞幾圈。d:將阻尼從鋼絲繩的另一端穿入e:將阻尼套壓入底板孔f;再次轉(zhuǎn)動(dòng)卷絲輪檢查鋼絲繩是否順利繞入。g;最后，調(diào)整好連軸節(jié)和限位，裝好視窗玻璃。緊固螺絲釘。4、諧波減速器的維護(hù)：諧波減速器是由波發(fā)生器所產(chǎn)生的機(jī)械波，通過(guò)柔性齒輪變形，從而產(chǎn)生齒間相對(duì)位移而達(dá)到傳動(dòng)的目的的一種大減速比減速機(jī)構(gòu)。使用中一般不加油，不必拆卸。在必要時(shí)，拆后裝配務(wù)必將各零件清洗干凈。其軸承內(nèi)應(yīng)涂201潤(rùn)滑脂，齒面應(yīng)加7011特種脂。5、籽晶提拉部件的維護(hù)：籽晶提拉部件也是單晶爐的關(guān)鍵部件，籽晶提拉部件運(yùn)行的好壞，直接影響著單晶的生長(zhǎng)。因此，也必須加以精心護(hù)理。卷輪箱是其核心部分。上面設(shè)有觀察孔，用來(lái)觀察內(nèi)部卷輪及軟軸鋼絲繩的工作情況，卷輪箱左端聯(lián)有超程限位箱，用來(lái)保護(hù)卷輪箱不會(huì)因?yàn)槠涑潭粨p壞。卷輪箱的右端由雙極減速器傳遞轉(zhuǎn)矩。減速箱內(nèi)的渦輪蝸桿傳動(dòng)件，每三個(gè)月加注適量潤(rùn)滑油。不銹鋼軟軸定額承載100Kg，每次開(kāi)爐后，檢查承重頭部鋼絲繩是否燒損，如有燒損應(yīng)將燒損部分及時(shí)去掉，重新用氬弧焊封頭，一根鋼絲繩可供幾次修正使用，但每次休整后，都應(yīng)核實(shí)所剩鋼絲繩長(zhǎng)度是否滿足使用要求，否則應(yīng)更換新的軟軸鋼絲繩。卷輪箱內(nèi)的調(diào)整螺母（銅螺母）不得隨意拆動(dòng)，以免影響軟軸的對(duì)中，如果必須要拆卸時(shí)，裝時(shí)一定要認(rèn)真調(diào)整。最終保證軟軸對(duì)中。軟軸鋼絲繩在保管、使用、維修安裝中不準(zhǔn)造成任何死彎現(xiàn)象，否則在運(yùn)行中會(huì)引起抖動(dòng)。籽晶旋轉(zhuǎn)電刷部分，運(yùn)行一段時(shí)間后，要進(jìn)行清理，出現(xiàn)碳粉堆積以免影響信號(hào)傳輸，拆裝后，要調(diào)整好相對(duì)位置，不允許出現(xiàn)電刷頭與絕緣環(huán)相摩擦的情況。6、卷絲輪的拆裝卷絲輪的旋轉(zhuǎn)密封采用的是磁流體密封，拆裝卷絲輪時(shí)盡可能不要拆開(kāi)磁流體密封組件。拆去電機(jī)及減速箱（拆時(shí)做上相對(duì)位置極好，復(fù)位時(shí)按記號(hào)找正）拆下軟軸鋼絲繩壓輪。卸下重錘及軟軸鋼絲繩。拆下卷輪箱左端限位箱。拆下左端蓋及限位桿。拆下拖動(dòng)限位桿的拖動(dòng)圓盤(pán)。松開(kāi)右端蓋與卷論箱的連接螺釘。將右端蓋與卷絲輪一起從右端旋出。裝配時(shí)逆操作。5、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)：電路控制原理圖:工作原理：晶體旋轉(zhuǎn)分成兩部分，第一是籽晶旋轉(zhuǎn)部分，第二是坩堝旋轉(zhuǎn)部分。兩部分采用同一種進(jìn)口電機(jī)及控制器，旋轉(zhuǎn)的速度均由面板上的數(shù)字顯示儀表顯示，同生長(zhǎng)運(yùn)動(dòng)一樣，其控制旋轉(zhuǎn)的邏輯功能均由可編程控制器進(jìn)行邏輯控制，籽晶及坩堝的旋轉(zhuǎn)方向互為逆向。正常使用時(shí)將轉(zhuǎn)速給定電位器調(diào)至零位，開(kāi)啟晶、堝轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)，分別旋轉(zhuǎn)各自的給定電位器，使其達(dá)到需要的轉(zhuǎn)速。籽晶旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)有旋轉(zhuǎn)軸、支承座、電刷環(huán)組件、磁流體密封座及旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)組成。旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)通過(guò)楔形帶實(shí)現(xiàn)籽晶軸平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)密封為磁流體密封。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)有10道電刷環(huán)，用來(lái)提供籽晶提升機(jī)構(gòu)的電能及傳遞電信號(hào)。裝在過(guò)渡副室中的限位器，實(shí)現(xiàn)軟軸的上限位。一級(jí)保養(yǎng)：1、電機(jī)檢查：定期檢查電機(jī)工作情況，有無(wú)異響，漏油等異常情況。表面溫度是否超溫+20℃～+40℃2、每次大清，緊固聯(lián)軸節(jié)，清理絲杠并加潤(rùn)滑油。二級(jí)保養(yǎng)：1、每次運(yùn)行，校正對(duì)中。2、定期校正運(yùn)行速度與顯示速度，使其保持一致。3、坩堝軸旋轉(zhuǎn)密封和卷絲軸旋轉(zhuǎn)密封均采用磁流體密封。4、坩堝軸驅(qū)動(dòng)部件的維修：坩堝軸驅(qū)動(dòng)部件是設(shè)備的核心部件，要求各種精度都比較高，所以要加強(qiáng)維護(hù)。坩堝軸是多晶硅料的支承軸，其精度高，工藝復(fù)雜，應(yīng)重點(diǎn)維護(hù)。要經(jīng)常檢查其冷卻水的情況，以免因冷卻不充分而被燒壞。拆下后需垂吊放置。坩堝軸驅(qū)動(dòng)裝置的導(dǎo)柱及直線運(yùn)動(dòng)軸是關(guān)鍵的導(dǎo)向原件，應(yīng)妥善維護(hù)。導(dǎo)柱需保持清潔，嚴(yán)禁灰塵、雜物附著。定期涂抹油脂，以防銹蝕。直線軸承出廠時(shí)已做充分潤(rùn)滑，必要時(shí)可每隔一年加注鋰基潤(rùn)滑脂一次。加油時(shí)，松開(kāi)油蓋。提起油封，推出軸承，認(rèn)真清洗后方可注入新油。發(fā)現(xiàn)導(dǎo)柱與軸承間有研損時(shí)，應(yīng)將軸承微轉(zhuǎn)一角度，使?jié)L珠避開(kāi)研損痕跡，以確保平衡運(yùn)行。軸承與導(dǎo)柱是配套裝置的，請(qǐng)勿裝錯(cuò)。精密絲杠、渦輪、齒輪等傳動(dòng)部件，應(yīng)該保持清潔、潤(rùn)滑，嚴(yán)禁灰塵等贓物污染，以免零件損壞和失靈。坩堝軸快速升降傳動(dòng)渦輪，每?jī)蓚€(gè)月打開(kāi)潤(rùn)滑孔在渦輪齒面上注鋰基潤(rùn)滑脂一次。請(qǐng)定時(shí)清除下波紋管中的雜物。5、坩堝軸的拆裝：拆卸坩堝軸時(shí)，應(yīng)先松開(kāi)水套與水套固定座的連接螺釘，去掉軸擋圈，卸下水套固定，然后松開(kāi)圓螺母，卸下帶輪，將磁流體密封部件整體取下，最后將坩堝軸上面整體抽出。裝入時(shí)逆操作。只是要注意軸承的潤(rùn)滑采用真空脂潤(rùn)滑，水套座內(nèi)的潤(rùn)滑可用一般潤(rùn)滑油即可。5、水冷系統(tǒng)：水報(bào)警電路：工作原理：JRDL-800的進(jìn)水共三路，一路冷卻主機(jī)下部各冷卻部位，管徑為2.5″。一路冷卻主機(jī)上部（爐蓋及副室部分），管徑為1″.一路冷卻電源柜及機(jī)械泵，管徑為1.5″。在水管與主機(jī)相連時(shí)，應(yīng)以軟膠管過(guò)渡連接，以防止振動(dòng)干擾主機(jī)。排水相應(yīng)的也有三路，分別為2.5″、1″、1.5″的水管。連接管路終端為開(kāi)始管道，以免爐室及各冷卻部位水壓過(guò)大造成管路變形，排水管如為多臺(tái)共用時(shí)，應(yīng)為無(wú)壓排水，總排水管路應(yīng)暢通無(wú)阻。水質(zhì)應(yīng)以軟水質(zhì)循環(huán)供水為好。其具水溫報(bào)警器體要求如下：水溫報(bào)警器壓力：0.15～0.2Mpa流量：≥15m3水質(zhì)：堿性，ph