曝光工序培訓(xùn)教材

1、曝光工序培訓(xùn)教材修訂日期修訂單號(hào)修訂內(nèi)容摘要頁次版次修訂審核批準(zhǔn)2011/03/30/系統(tǒng)文件新制定4A/0/更多免費(fèi)資料下載請(qǐng)進(jìn)：好好學(xué)習(xí)社區(qū)批準(zhǔn)：審核：編制：曝光工序培訓(xùn)教材曝光工序的生產(chǎn)過程進(jìn)含:穿戴、檢查、清潔、貼膜、除塵、對(duì)位、曝光、產(chǎn)品的搬運(yùn)及存放、菲林的使用、PET的使用、干膜的搬運(yùn)及存放；工序流程：穿戴檢查清潔準(zhǔn)備工作貼膜除塵對(duì)位曝光作業(yè)完清理方面的內(nèi)容為員工操作培訓(xùn)和日常操作依據(jù)。第一章 培訓(xùn)程序1.0目的： 對(duì)生產(chǎn)部員工的培訓(xùn)內(nèi)容及培訓(xùn)程序作出具體規(guī)定，以確保對(duì)所從事生產(chǎn)的工作人員都在上崗前接受適當(dāng)培訓(xùn)，并達(dá)到要求。2.0范圍：典邦公司生產(chǎn)部所有員工（不含管理人員，但包括組

2、長(zhǎng)）。3.0內(nèi)容：3.1新進(jìn)公司員工的培訓(xùn)。 3.1.1 培訓(xùn)內(nèi)容：a、公司簡(jiǎn)介、員工手冊(cè)及廠紀(jì)廠規(guī)。（人事部負(fù)責(zé)）b、安全教育。（生產(chǎn)部負(fù)責(zé)）c、產(chǎn)品簡(jiǎn)介及工藝流程。（班長(zhǎng)負(fù)責(zé)）d、崗位要求及操作規(guī)程（各工序自備教材，班長(zhǎng)、組長(zhǎng)負(fù)責(zé)）3.1.2 培訓(xùn)過程及考核方式： 新員工第一天由人事部培訓(xùn)中a項(xiàng)，之后進(jìn)行b、c、d項(xiàng)培訓(xùn)崗位實(shí)際操作，培訓(xùn)結(jié)束即進(jìn)行考核（分為理論考核/操作考核），理論考核為筆試，操作考核為現(xiàn)場(chǎng)操作。對(duì)于考試合格者，發(fā)出上崗合格證，人事部記錄備案，考試不合格者，部門提供相關(guān)資料將此員工退回人事部處理。上崗證經(jīng)過塑，置于員工工作的工位處。3.1.3 新員工上崗前不滿1個(gè)月，不允

3、許調(diào)換崗位、工序。特殊情況，需報(bào)部門主管級(jí)以上人員批準(zhǔn)方可，但也需接受新崗位前培訓(xùn)。3.2 在崗員工培訓(xùn)： 培訓(xùn)內(nèi)容：a、培訓(xùn)內(nèi)容：新產(chǎn)品工藝培訓(xùn)； b、新設(shè)備使用培訓(xùn)；c、崗位要求及操作規(guī)程；d、其它培訓(xùn)（現(xiàn)場(chǎng)管理、品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)等培訓(xùn)）； 培訓(xùn)過程： 以上培訓(xùn)需由班長(zhǎng)先作出培訓(xùn)計(jì)劃（按上述培訓(xùn)內(nèi)容），必要時(shí)組織并聯(lián)絡(luò)其它部門相關(guān)人員進(jìn)行。 考核方式： 所有培訓(xùn)（有培訓(xùn)計(jì)劃）均需進(jìn)行考核，考試分理論及操作（理論為筆試、操作為現(xiàn)場(chǎng)考核），由培訓(xùn)者統(tǒng)一出試題，對(duì)培訓(xùn)不合格者再進(jìn)行培訓(xùn)。對(duì)連續(xù)二次培訓(xùn)不合格者作停薪、停職培訓(xùn)，并取消上崗資格。 3.3 轉(zhuǎn)崗培訓(xùn)： 所有員工在換崗位、工序、晉升/降級(jí)的或離

4、開工序崗位超過3個(gè)月，均被視為該工序新員工，此等員工均需在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)通過新工序上崗前的相關(guān)要求培訓(xùn)。附錄：上崗證第二章 工藝簡(jiǎn)介第一節(jié) 貼干膜1.目的：將感光膜通過一定的壓力、溫度粘貼于基材上2.物料及設(shè)備鉆孔后的基材、干膜（按產(chǎn)品尺寸定）、異丙醇、酒精、貼膜機(jī)（XRL-240）、刀片。3. 工藝流程開機(jī)-裝干膜-貼干膜-切斷第二節(jié) 曝 光1.目的 利用干膜的光敏作用，將產(chǎn)品線路圖形由底片轉(zhuǎn)移到基材上2.物料及設(shè)備 2.1貼過干膜的基材、工作菲林、單面透明膠帶。 2.2曝光機(jī)、放大鏡（15X）、除塵輥輪、刀片、無塵紙、酒精3. 工藝流程開機(jī)-設(shè)定能量-裝菲林-趕氣-曝光-分離第三章 操作規(guī)范

5、本章主要講述如何操作才可以保質(zhì)保量的生產(chǎn)出產(chǎn)品，從而達(dá)到客戶的要求，也就是把不統(tǒng)一的動(dòng)作過程分析，研究制訂出統(tǒng)一的動(dòng)作、方法、并把這一系列的過程中各種行為作統(tǒng)一要求，叫操作規(guī)范。 第一節(jié) 貼干膜一、 作業(yè)目的:將感光膜通過一定的壓力、溫度粘貼于基材上便于曝光.二、 操作方法 1準(zhǔn)備工作：貼膜壓輥的清潔: 壓輥清潔只能用無塵紙蘸異丙醇擦,嚴(yán)禁使用硬、尖銳物體擦及碰撞壓輥。每班生產(chǎn)前清潔一次,更換干膜時(shí)清潔一次；如果在生產(chǎn)過程中，在貼板的范圍內(nèi)粘有干膜、異物應(yīng)立即擦輥清除。.要隨時(shí)保持壓輥干凈,有異物、干膜要立即清除，但在貼膜過程中，干膜邊緣（不在板的范圍內(nèi)）沾在壓輥上的干膜可以在換膜時(shí)擦。在擦輥

6、時(shí)，壓輥不能轉(zhuǎn)動(dòng)。2.作業(yè)方法及步驟2.1打開機(jī)器電源開關(guān)2.2打開氣閥開關(guān)2.3旋轉(zhuǎn)氣壓調(diào)節(jié)閥，調(diào)整壓力見參數(shù)-雙面板：55-60PSI;單面板：40±2PSI;鏤空板：45±2PSI;2.4按下POWER開關(guān) 2.5打開HEAT開關(guān)設(shè)定溫度。 單面板貼膜上壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為100至120，下壓輥設(shè)定值為40，允許范圍為35至70。 雙面貼膜上下壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為100至120。有特殊要求見作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡。（單面板背靠背合在一起貼膜；復(fù)合雙面板及35um銅雙面板雙面同時(shí)貼 膜，18um銅雙面板兩塊板合在一起貼，中間放PET；鏤空板背靠背合在一起貼膜

7、中間放PET）2.6將干膜裝上機(jī)器。2.7調(diào)整擋板寬度與干膜同寬。2.8旋轉(zhuǎn)SPEED旋鈕,根據(jù)作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡要求，調(diào)整速度范圍，允許范圍為英尺/分鐘。（雙面同時(shí)貼單面板：2.5±0.3英尺/分鐘，雙面板：1.5±0.3英尺/分鐘）。2.9將AIR SWITCH打至ON位置,使兩熱壓輥壓緊。2.10按下DRIVE,開始轉(zhuǎn)動(dòng)上下熱壓輥送入要貼膜的基材。2.11貼膜后將產(chǎn)品用刀片切斷,要求板邊切斷處整齊無干膜毛刺。第二節(jié) 曝光一、目的：利用干膜的光敏作用，將產(chǎn)將產(chǎn)品線路圖形由底片轉(zhuǎn)移到基材上，得到所需的線路。二、操作方法：1準(zhǔn)備作業(yè) 1.1室內(nèi)保持溫度21±3，濕度6

8、0%±15%的范圍 1.2確認(rèn)冷卻水已開啟 1.3曝光機(jī)抽真空正常 1.4曝光架清潔無異物 1.5工作臺(tái)清潔無異物 1.6準(zhǔn)備好菲林及貼膜后的產(chǎn)品2作業(yè)方法及步驟 2.1對(duì)菲林 檢查菲林無缺陷、劃傷、異物，菲林號(hào)與產(chǎn)品的作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡規(guī)定編號(hào)是否一致。 將菲林的四角非產(chǎn)品處開約5mm×15mm小窗口,透明膠帶貼在菲林的光面的小窗口處。 將產(chǎn)品平鋪于作業(yè)臺(tái)面上,菲林藥面朝向產(chǎn)品干膜面,以定位孔和產(chǎn)品上小孔為基準(zhǔn)將二者對(duì)正。 確認(rèn)偏差在公差范圍內(nèi)。 2.2曝光 合上總電源開關(guān)。 大約2-3分鐘后按下POWER開關(guān),將機(jī)器預(yù)熱4分鐘。 根據(jù)作業(yè)指示書上要求設(shè)定曝光能量,測(cè)試曝光尺

9、（曝光尺使用6個(gè)月需更換，記錄開始使用日期）。干膜板21級(jí)曝光尺7-9格（蓋膜）綠油板21級(jí)曝光尺9-11格（露銅）。曝光板須放置在離曝光框架四周至少5厘米處，盡量放在中央。 打開真空框架蓋。 將對(duì)好菲林的產(chǎn)品放入框架的工作面上。 合上真空框架蓋,真空開始啟動(dòng),同時(shí)用趕氣轆推趕空氣，先左右來回68次，再前后來回 68次，真空度要求25inhg。 真空框架Mylayer膜抽真空平展,確認(rèn)菲林與基材無移位,按下GO鍵,框架連同產(chǎn)品進(jìn)入機(jī)器內(nèi),開始曝光。 另一架出來重復(fù)步驟4.2.4至步驟4.2.7。 曝光完成后,按下GO鍵,曝光的框架出來,而未曝光的框架進(jìn)入機(jī)器內(nèi)部,自動(dòng)曝光。 將工作菲林與曝光完

10、畢的產(chǎn)品分離,已曝光板須放置15分鐘以上，經(jīng)顯影檢查,首板合格后才能批量生產(chǎn)。 全部作業(yè)完畢后將產(chǎn)品按LOT及生產(chǎn)指示書送入下一工程。第四章 各崗位作業(yè)要求第一節(jié) 車間要求1概述使操作規(guī)范化，從而達(dá)到提高效率和產(chǎn)品的合格率特對(duì)車間作了清潔、人員進(jìn)出、防塵服管理、凈化間管理等作了具體要求。2環(huán)境清潔2.1凈化室內(nèi)打掃衛(wèi)生，必須按要求著裝，風(fēng)淋進(jìn)入。2.2打掃衛(wèi)生不允許用吸塵器、拖把、掃帚此類工具，應(yīng)使用無塵布，除塵滾等。2.3每天每班上班后工作前，必須對(duì)地面、墻壁門窗、工作臺(tái)、機(jī)器設(shè)備、物料架、風(fēng)淋們、傳遞窗等處由上到下、由里向外進(jìn)行清潔。2.4工作過程中，對(duì)于材料、工裝夾具、工作臺(tái)等處的清潔方

11、式及頻次按相關(guān)工藝文件要求進(jìn)行。2.5生產(chǎn)過程中的邊料、廢料，嚴(yán)禁亂扔亂放，應(yīng)放入專用廢料桶（箱）內(nèi)。2.6工作過程中如發(fā)現(xiàn)環(huán)境不符合要求，必須立即停產(chǎn)清潔。2.7過濾器、回風(fēng)口等處過濾網(wǎng)，由設(shè)備部指定專人每月月底前清潔一次，并作記錄；風(fēng)淋門每半年有設(shè)備部清潔一次。2.8風(fēng)淋門粘塵墊，每天每班揭換一次。2.9凈化室外更衣室衛(wèi)生，每天每班上班前，由班組安排值日人員對(duì)衣鞋柜（內(nèi)外）、地面、門窗、墻壁進(jìn)行清潔。3.0凈化室的要求3.1人員進(jìn)出所有進(jìn)入凈化室人員必須在凈化室外更衣室內(nèi)更換防塵服、帽、鞋及口罩經(jīng)風(fēng)淋后方可進(jìn)入。穿防塵服要求：.1穿防塵服時(shí)，嚴(yán)禁頭發(fā)外露（長(zhǎng)頭發(fā)女工必須用發(fā)夾等用具固定頭發(fā)

12、）；.2防塵服、帽、鞋等處拉鏈要完全拉上，鈕扣要系好，不允許內(nèi)衣外露；.3凈化室作業(yè)人員不允許留長(zhǎng)指甲，不允許涂口紅，涂指甲油，搽胭脂等；工作時(shí)必須按工藝要求戴指套。風(fēng)淋室吸塵每次只允許一人。相關(guān)人員不得擅自更改吸塵時(shí)間設(shè)定。吸塵時(shí)，防塵服要對(duì)準(zhǔn)吹風(fēng)口，不停拍打旋轉(zhuǎn)，吸塵結(jié)束2-3秒后才能開門進(jìn)入進(jìn)化間。進(jìn)出凈化室人員均要隨手關(guān)好風(fēng)淋門，嚴(yán)禁敞開或半開風(fēng)淋門。進(jìn)入凈化室內(nèi)人員，不允許有打開防塵服拉鏈、摘掉帽子、挽起袖子等可能給凈化室?guī)砦廴镜男袨?。上班時(shí)間內(nèi)，凈化室內(nèi)工作人員一般半個(gè)工作日允許外出一次（公事除外），其他時(shí)間無充分理由不得隨意外出。凈化室內(nèi)外傳遞信息，可以通過對(duì)講電話進(jìn)行，一般情

13、況下嚴(yán)禁隨意進(jìn)出或?qū)﹂_周轉(zhuǎn)窗傳遞信息。外班組人員一般不允許進(jìn)入凈化室，如工作需要，必須經(jīng)主管以上人員同意，并按要求著裝。公司其他部門與凈化室有關(guān)人員進(jìn)入凈化室，必須按要求著裝，并遵 守凈化室規(guī)章制度。外來人員進(jìn)入凈化室，必須經(jīng)相關(guān)人員同意，并按要求著裝。3.2防塵服管理防塵服、帽、鞋必須在更衣室內(nèi)更換，換好后不允許穿著走出更衣室。防塵服、帽、鞋每周必須清洗一次，由班組長(zhǎng)確認(rèn)并做相應(yīng)記錄。防塵服、拉鏈、紐扣有損壞或破損，必須馬上進(jìn)行修理或申請(qǐng)更換。3.3物料進(jìn)出進(jìn)入凈化室物料，必須是具備以下條件之一：.1生產(chǎn)材料.2生產(chǎn)用輔助材料.3生產(chǎn)工具.4管理文件、工藝文件、生產(chǎn)記錄、品質(zhì)記錄等（注：紙箱

14、、紙周轉(zhuǎn)箱、未經(jīng)清潔鉆孔墊板、茶杯等可能對(duì)凈化間環(huán)境造成污染的物品嚴(yán)禁進(jìn)入）凡進(jìn)入凈化間的物料，都必須在凈化間外面用適當(dāng)?shù)姆绞角鍧嵑蟛拍苓M(jìn)入。物料進(jìn)出凈化間，必須按規(guī)定的通道傳遞：體積較小必須通過傳遞窗進(jìn)出；體積較大經(jīng)允許可以通過風(fēng)淋門進(jìn)出。凈化間生產(chǎn)廢料、邊料必須用塑料袋存放運(yùn)出（不宜將廢料箱搬進(jìn)搬出，避免由廢料箱將污染物帶入）。3.4凈化間管理各責(zé)任班長(zhǎng)為所轄凈化間稽查員，負(fù)責(zé)凈化間日常管理。第二節(jié) 產(chǎn)品拿取、搬運(yùn)、存放1拿?。航嚯x移動(dòng)或看板要雙手拿板的對(duì)角或放在墊板上。把板翻過來要雙手拿板的長(zhǎng)邊兩角。嚴(yán)禁單手拿板。2 .搬運(yùn)：搬運(yùn)時(shí)板一定要放在墊板上或托盤里，墊板或托盤不能小于板的大小

15、，用墊板每次最多只能搬運(yùn)100PNL（即二個(gè)LOT），用托盤時(shí)，上面的托盤底不能壓到下托盤里的板，每次搬運(yùn)時(shí)最多只能搬運(yùn)三個(gè)托盤。3 .存放：存放的板每疊不能超過三個(gè)LOT（即150PNL），且擺放整齊。油墨板只能每LOT（即50PNL）一疊放置。未曝光的干膜板放置不能超過24小時(shí)，已曝光的干膜板放置不能超過48小時(shí)；貼膜之后至少放置15分鐘才能曝光，曝光之后至少放置15分鐘才能顯影。油墨板在曝光房至顯影完之間的放置時(shí)間不能超過96小時(shí)；超過以上規(guī)定時(shí)間需做實(shí)驗(yàn)來決定其做法。第三節(jié)貼干膜 1.貼膜作業(yè)指導(dǎo)書要在預(yù)熱過程中準(zhǔn)備好合格的PET，PET的使用：1.1 合格PET標(biāo)準(zhǔn)：表面平整干凈，無

16、劃傷、折痕、皺折、凹坑，無任何臟物、異物、膠跡、干膜，邊緣平齊。在生產(chǎn)中只有合格的PET才能使用。1.2 PET的清潔：只能用酒精、無塵紙及過顯影機(jī)清潔，不能用刀片、手指刮。每班在使用前要過顯影機(jī)清潔一次，如沒有清除干凈，再用無塵紙蘸酒精擦干凈。在作業(yè)過程中要保持PET干凈，如粘上干膜、臟物等要立即清除。否則不能使用。1.3 拿PET要同拿板一樣，要雙手拿，放在墊板上搬運(yùn)，嚴(yán)禁單手拿PET；在作業(yè)過程中傳送PET要放在墊板傳送。每張PET使用1000次需更換。記錄PET使用次數(shù)。1.4貼膜用的DI水，DI水要求：貼膜用的DI水必須清澈干凈不能有任何目視可見的灰塵、銅碎等物體，如有應(yīng)立即更換DI

17、水；DI水每2小時(shí)更換一次。1.5 裝干膜：查看所要貼膜板的LOT卡,根據(jù)板的尺寸,確定干膜的尺寸。選取干膜尺寸的原則：干膜的尺寸與板的尺寸最接近的一種，干膜的尺寸應(yīng)比板尺寸小的優(yōu)先使用，但不能小于5MM。雙面貼膜時(shí)上、下壓輥上的干膜尺寸要一樣。由一個(gè)人拿干膜，另一個(gè)人把輥輪放入干膜筒中，然后放在貼膜機(jī)的固定位置，調(diào)節(jié)好位置，并把兩端的固定銷扭緊固定干膜；把干膜上的保護(hù)膜固定在剝離輥上，干膜平整地貼在濕的PET上，然后把PET穿過兩壓輥，使干膜平整地貼在壓輥上。如果是雙面貼膜，上下的干膜要對(duì)齊。把檔板的寬度調(diào)節(jié)與干膜同寬。1.6除塵：把剛撕開的膠筒用手擦幾下,然后用一只手按住板的一端,另一手拿

18、膠筒柄在板上滾過,用力要均勻。板的兩面都要除塵，且每個(gè)地方都要除到，每除塵10-15PNL要把舊的一層膠撕掉。板寬小于160MM每面至少滾二下，在160260MM每面至少滾三下，在于260-350MM每面至少滾4下。經(jīng)過除塵的板，板面上能有任何灰塵、膠跡、干膜碎，否則要重新除塵。2 .貼膜注意事項(xiàng):2.1在把板放入水中和從水中拿出都要特別小心，不能造成板折。2.2 PET應(yīng)與板的規(guī)格一樣，不能用比板大或比板小的PET墊板貼膜。如有 特殊情況每次必需要工序工程認(rèn)可才能用比板大PET貼膜。2.3在割膜或其它用刀工作過程中，刀距壓輥至少15CM，且刀的運(yùn)動(dòng)方向不能向著壓輥。在不貼膜時(shí),壓力開關(guān)打到關(guān)

19、的位置。2.4在貼膜時(shí)，必須先做首板，首合格才能量產(chǎn)。每LOT、每卷干膜、每次開始作業(yè)前三張割膜人員必需仔細(xì)檢查貼膜板是否合格，如不合格要調(diào)節(jié)至合格才能量產(chǎn)。合格標(biāo)準(zhǔn):板面平整、無皺折、無壓坑、無異物、無氧化、無氣泡、無干膜皺等不良現(xiàn)象。在貼膜過程中要隨時(shí)檢查，每十張板要仔細(xì)檢查一次。放板人員隨時(shí)檢查板面是否合格，不合格的板要經(jīng)過處理合格才貼膜；板面合格標(biāo)準(zhǔn)：板面平整干凈，無臟物，無氧化，無異物灰塵，無皺折，無膠跡，無干膜碎，無凹（壓）坑等不良現(xiàn)象。第四節(jié)曝光1 .準(zhǔn)備工作：1.1按設(shè)備操作規(guī)程開機(jī)，并清潔；根據(jù)LOT卡和相關(guān)規(guī)定的要求，確定相應(yīng)的曝光參數(shù)和曝光方式（單面曝光、雙面曝光）。 油

20、墨板只能在8000KW的曝光機(jī)上曝光。最小線距小于或等于0.1MM的板只能在5000KW的曝光機(jī)上曝光。線路較密或較細(xì)的一面放在玻璃上。單面曝光只能開單燈。板距框架邊緣至少5CM。1.2根據(jù)LOT卡要求，準(zhǔn)備所需要的菲林（即菲林上的產(chǎn)品號(hào)、版本號(hào)與LOT卡上的產(chǎn)品號(hào)、版本號(hào)一致）并清潔檢查，更換固定膠紙；根據(jù)菲林合格標(biāo)準(zhǔn)確定菲林是否合格，合格才能使用。準(zhǔn)備已除塵干凈的板。菲林的使用.1菲林合格標(biāo)準(zhǔn)：菲林表面干凈，無任何臟物、膠跡、黑點(diǎn)、異物等現(xiàn)象，線路沒有開、短路、缺損、劃傷、折皺、藥面損壞透光、保護(hù)起泡等不良現(xiàn)象。.2菲林的清潔：菲林在開始使用時(shí)先要用菲林清潔劑、無塵紙、防靜電除塵滾清潔干凈

21、。清潔方法是：先把菲林平放在已清潔干凈平整的臺(tái)面上，倒適當(dāng)?shù)姆屏智鍧崉┰诜屏稚喜⒘⒓从脽o塵紙擦，再用防靜電除塵滾滾一次（兩面都這樣清潔）；除塵滾先在粘膠除塵干凈，才能滾菲林，每滾一次菲林除塵滾要在粘膠上除塵一次。在作業(yè)過程中，單面板（包括鏤空板）每張使用3次要用防靜電除塵滾清潔一次，雙面板每張使用2次要清潔一次，每張使用10次要用菲林清潔劑和除塵滾清潔一次。有特殊要求的按相關(guān)規(guī)定清潔。.3 菲林的拿、存放：在操作過程中嚴(yán)單手拿菲林，要用雙手拿菲林，并戴手指套；菲林不能碰尖銳的東西，不能使菲林打折；不能與任何東西產(chǎn)生磨擦。使用完應(yīng)立即放回專用的菲林袋中，不能放在工作臺(tái)面和曝光機(jī)里。如三天以上不會(huì)

22、使用的菲林應(yīng)放回工程部保存。當(dāng)曝光完后，把板與菲林同時(shí)拿出；平放在臺(tái)面上，用一只手按住板，另一只手把菲林拿下。嚴(yán)禁一只手拿板，另一只手拿菲林在空中把菲林拿下及在曝光機(jī)框中把菲林拿下。.4 菲林的檢查：把清潔好的菲林在光桌上目視檢查,如有疑點(diǎn)的地方要用10倍的目鏡觀看。根據(jù)合格標(biāo)準(zhǔn)判斷是否合格，只有合格菲林才能使 用；如是沒清潔干凈要再清潔，直到干凈為止；如是線路開、短路、缺損、劃傷、折皺、保護(hù)膜起泡等不良現(xiàn)象，應(yīng)給工程部修理或報(bào)廢。每個(gè)LOT都要檢查一次。.5 每張菲林都要做使用次數(shù)記錄,達(dá)到要求次數(shù)一定要更換。1.3 對(duì)位：雙面板和鏤空對(duì)位：把已除塵和合格的菲林才能對(duì)位。先把板一個(gè)角具有兩個(gè)

23、對(duì)位孔的邊靠近自已，然后雙手拿菲林對(duì)準(zhǔn)一個(gè)角的定位孔，并固定，再把其它三個(gè)角的定位孔對(duì)準(zhǔn)并固定，用10倍的目鏡檢查四周的定位孔和板中的產(chǎn)品是否對(duì)準(zhǔn)，如沒有對(duì)準(zhǔn)要調(diào)整對(duì)準(zhǔn)，才能曝光；當(dāng)四周孔與產(chǎn)品不相符時(shí)以產(chǎn)品對(duì)準(zhǔn)為標(biāo)準(zhǔn)。單面板對(duì)位：把檢查合格的菲林用3M膠帶固定在框架內(nèi)，把藥面朝框架內(nèi)，把板平整地放在菲林上，且與菲林對(duì)齊，干膜面對(duì)著菲林。菲林的藥面要對(duì)著板面。判斷藥面的方法：把菲林平放在桌面上，當(dāng)菲林上的字是正常狀態(tài)，菲林靠桌面那面是藥面；用刀片刮有黑色的地方，如果刮跡透光則該面是藥面，不透光則另一面是藥面。已對(duì)好的板，菲林在板上要平整，不能有鼓起現(xiàn)象，固定膠要按緊。每張菲林至少有四個(gè)固定位，

24、固定位開窗及所貼膠紙都不能到產(chǎn)品中。LOT號(hào)也不能貼到產(chǎn)品中。1.4曝光框架的清潔：先把酒精或菲林清潔劑倒適量在MYLAR膜和玻璃上，然后用無塵紙擦，擦干凈之后再用防靜電除塵滾清潔一次；再檢查是否清除干凈，如不干凈要再清潔一次，直到干凈為止。在MYLAR膜和玻璃上不能有灰塵、黑點(diǎn)、膠跡、干膜碎、油墨、膠紙等異物；并在作業(yè)過程中要保持干凈，隨時(shí)檢查不能有以上的異物，如有要立即清除。每曝光2次要用除塵滾全面清潔一次，每曝光10次用菲林清潔劑清潔和除塵滾清潔一次；并仔細(xì)檢查是否干凈，如不干凈要繼續(xù)清潔，直到干凈為止。在作業(yè)過程中必需保持工作臺(tái)面干凈、整潔，不能有任何臟物、異物、膠跡并每隔2小時(shí)用酒精

25、、無塵紙、除塵滾全面清潔一次。1.5檢查工具設(shè)備是否完好，如：趕氣輥、防靜電除塵輥、菲林、MYLAR膜、貼膜壓輥、PET等。所需的物料工具是否足夠齊全.2 曝光注意事項(xiàng)2.1工作時(shí)要戴手指套或手套，遵守手指套管理規(guī)定。2.2菲林開窗貼透明膠時(shí),開窗貼膠處應(yīng)遠(yuǎn)離產(chǎn)品， 特別要注意綠油菲林、碎菲林開窗貼透明膠時(shí)不可貼在焊盤上。2.3工作菲林工作面(藥面)與基材貼合在一起。2.4對(duì)孔時(shí)要仔細(xì),認(rèn)真,要用15X放大鏡對(duì)產(chǎn)品上的關(guān)鍵孔檢查。2.5室內(nèi)保持清潔,遵守凈化室管理規(guī)定。2.6每次曝光前都要用除塵滾輪清潔曝光膜,粘去細(xì)小灰塵及異物。2.7定時(shí)清理脫落的透明膠,防止粘到產(chǎn)品上或菲林上。2.8產(chǎn)品及

26、菲林都要輕拿輕放,不要用力拉伸菲林,不能用銳利的物品劃傷菲林。2.9用趕氣轆協(xié)助吸真空時(shí),注意不要將菲林與產(chǎn)品推錯(cuò)位,如發(fā)現(xiàn)應(yīng)停止曝光作業(yè),重新將產(chǎn)品與菲林對(duì)正再繼續(xù)曝光。2.10如產(chǎn)品與菲林對(duì)不上,通知工程師處理,如為變形,可將菲林剪開作業(yè)。2.11除塵滾輪每個(gè)lot產(chǎn)品更換一次膠紙。 2.12曝光框mylayer膜正常生產(chǎn)1個(gè)月更換一次。若劃破或皺折需及時(shí)更換并做記錄。 2.13曝光燈正常作業(yè)時(shí)間達(dá)到1000-1200小時(shí)需更換，如需延長(zhǎng)使用需經(jīng)工程部確認(rèn)，每個(gè)月需用合格能量計(jì)測(cè)量曝光機(jī)能量均勻分布，穩(wěn)定性情況并評(píng)估是否正常，如有異常需調(diào)整合格方可使用（設(shè)備部負(fù)責(zé)）。第五章 工藝參數(shù)第一節(jié)

27、 貼干膜1.貼膜機(jī)工藝參數(shù)：壓力參數(shù)-雙面板：55-60PSI;單面板：40±2PSI;鏤空板：45±2PSI;單面板貼膜上壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為:100至120，下壓輥設(shè)定值為40，允許范圍為35至70。 雙面貼膜上下壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為100至120。 速度范圍，允許范圍為1.2-3.5英尺/分鐘。（雙面同時(shí)貼單面板：2.5±0.3英尺/分鐘，雙面板：1.5±0.3英尺/分鐘）第二節(jié) 曝光干膜板21級(jí)曝光尺7-9格（蓋膜）綠油板21級(jí)曝光尺9-11格（露銅）真空度要求25inhg第六章品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)第一節(jié)露光工序檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)序號(hào)檢驗(yàn)內(nèi)容缺陷描

28、述檢驗(yàn)工具判定標(biāo)準(zhǔn)1來料不良板面存在影響巾膜質(zhì)量的缺陷目視1. 板面清潔,平整,干燥OK2.無目視明顯可見的劃痕,凹坑,氧化(點(diǎn)),銅粒(雜質(zhì))粗糙鍍層油跡OK,否則NG2起皺帖膜后干膜未平整的緊貼板面,表面出現(xiàn)皺折目視3氣泡帖膜后干膜與板面之間存在空氣目視1.產(chǎn)品(空中)區(qū)域內(nèi)NG2.非產(chǎn)品區(qū)域內(nèi)且不會(huì)影響到產(chǎn)品、影響曝光和后工序質(zhì)量OK,否則NG4夾雜物貼膜后,干膜與板面之間存在雜物目視5針孔帖膜后,干膜未完全覆蓋板面,有一處或多處存在點(diǎn)狀露銅目視1.產(chǎn)品區(qū)域內(nèi)NG 2.非產(chǎn)品區(qū)域內(nèi)OK6劃傷貼膜后,覆蓋在板面的干膜被機(jī)械劃傷目視NG7附著力差貼膜后,干膜和板面粘結(jié)不牢固目視NG第二節(jié) 成

29、品檢驗(yàn)規(guī)范1.1測(cè)試目的： 為保證所規(guī)定出的測(cè)試項(xiàng)目能含概產(chǎn)品要求，確?？蛻魸M意。2.1檢測(cè)類別&測(cè)試工具：檢測(cè)類別測(cè)試工具檢驗(yàn)依據(jù)1外觀和表面狀態(tài)目檢、X4放大鏡確認(rèn)IPC6202，CLASS22尺寸測(cè)量螺旋測(cè)微器、X40目鏡、X15目鏡、二次元測(cè)定機(jī)客戶圖紙 3.0尺寸檢測(cè)： 3.1插件孔徑 1)-7): 7-1.20±0.05mm；8): 1-0.8±0.05mm； 3.2安裝孔徑 9): 1-1.05±0.05m; 10): 1-2.00±0.05mm；11)-12): 2-1.30±0.05mm； 13): 1-2.60

30、77;0.05mm; 14): 1-1.20±0.05mm; 3.3安裝槽長(zhǎng) 15): 2.50x1.0±0.05mm；16):±0.05mm; 17): ±0.05mm; 3.4手指長(zhǎng)度 18): 1.60±0.30mm； 手指總寬度 19): 9.05±0.05mm 3.5手指幅 20): 0.65±0.05mm； 手指中心距 21): 1.20±0.05mm 3.6導(dǎo)線幅 22): 0.24±0.05mm； 導(dǎo)線間距 23): 0.17±0.05mm 3.7焊盤直徑 24)-31): 8-1.60±0.05mm. 3.8開窗孔徑 32)-36）:5-2.10±0.05mm； 37)-38）: 2-2.30±0.05mm； 39): 1-2.20±0.05mm4.0外觀和表面狀態(tài)檢驗(yàn)（參考柔性電路出荷檢查基準(zhǔn)書）： 檢驗(yàn)項(xiàng)目：導(dǎo)體狀態(tài)（開/短路、缺損/突出、過蝕/未