防靜電定期檢測(cè)規(guī)范

1、防靜電定期檢測(cè)規(guī)范5、作業(yè)程序5.1測(cè)試方法：測(cè)試環(huán)境：環(huán)境溫度23±5，相對(duì)濕度40%70%。測(cè)試儀器使用方法.1靜電場(chǎng)測(cè)試儀（TREK520）靜電場(chǎng)測(cè)試儀是感應(yīng)式的，該儀器表面有2個(gè)按鍵：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER” 鍵開機(jī)/關(guān)機(jī)。該儀器有兩個(gè)量程：02KV、020KV,可通過(guò)按“RANGE/ZERO”鍵進(jìn)行切換。當(dāng)顯示3位小數(shù)時(shí)，量程范圍為02KV；當(dāng)顯示2位小數(shù)時(shí)，量程范圍為020KV。每次測(cè)試時(shí)都應(yīng)進(jìn)行讀數(shù)清零工作，方法為：將sensor對(duì)準(zhǔn)一個(gè)已知的電壓為0V的導(dǎo)體上，按“RANGE/ZERO”鍵至少3秒鐘。為保證測(cè)試值的準(zhǔn)確性

2、，測(cè)試時(shí)人體必須戴靜電環(huán)或穿防靜電鞋。測(cè)試前，先將待測(cè)物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測(cè)物表面20次，然后用儀器測(cè)量電壓（senor距離被測(cè)物表面的距離為2.54CM及兩個(gè)紅燈重合在一起），將顯示的讀數(shù)乘以1000即得實(shí)際的電壓值，例如讀數(shù)為“.018”，則實(shí)際電壓為18V。.2 表面電阻測(cè)試儀（ACL-385） ACL-385為簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀，該儀器兩個(gè)測(cè)試電極間距根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)不變，測(cè)試時(shí)將被測(cè)物放于絕緣的平面上，表面電阻測(cè)試儀平置在材料表面上，手指施加適當(dāng)壓力（24KG）于測(cè)試按鈕上，使測(cè)試電極與材

3、料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為讀數(shù)。如果被測(cè)材料為軟性材料，可施加46kg的壓力進(jìn)行測(cè)試。.3 接地電阻測(cè)試儀（EMI-20780）EMI-20780 可以測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻(RTT), 接地電阻(RTG)、體積電阻,和表面電阻率, 配套兩點(diǎn)測(cè)試電極可測(cè)量微小物體表面電阻.測(cè)試范圍為: 1x 103 - 1012；測(cè)試電壓為: 10V或100V+/-5%；測(cè)試精度為: +/-10%;測(cè)試時(shí)間為 15秒；測(cè)試時(shí)：把2條連接線分別插入測(cè)試表上端的“A”插口, 注意白色連接線和黑色連接線的插頭不同, 不要插錯(cuò). 然后連接線另一端分別插入點(diǎn)對(duì)點(diǎn)重錘電極；按下“D”測(cè)試按鍵15秒, 這時(shí)LCD屏幕按順序顯

4、示如下:l l 華氏溫度l l 攝氏溫度l l 相對(duì)濕度l l 電阻值l l 所采用的測(cè)試電壓電阻測(cè)試結(jié)果由“B”顯示屏和“C”冥數(shù)LED 指示燈共同顯示, 例如電阻值為175，000，000, 顯示如下:1.75顯示在“B”顯示屏上, 同時(shí)“C” LED指示燈的8會(huì)亮,表示測(cè)試結(jié)果為: 1.75 x 108。如果LCD顯示屏顯示“1_”, 說(shuō)明超過(guò)該儀器測(cè)試范圍。測(cè)試電壓為10V或100V, 按下“F”鍵, 采用10V電壓測(cè)試, 如果不按下“F”鍵, 儀器會(huì)根據(jù)不同測(cè)試材料自動(dòng)選擇測(cè)試電壓. 阻值在105以下時(shí)采用10V測(cè)試電壓, 阻值在106以上時(shí)采用100V測(cè)試電壓.4人體綜合電阻測(cè)試（

5、腕帶測(cè)試、鞋測(cè)試）測(cè)試步驟：1. 員工進(jìn)入車間前應(yīng)首先確認(rèn)靜電手腕佩戴正確，靜電鞋鞋底干凈，穿戴正確。左右兩腳分別踏上靜電測(cè)試儀的左右兩個(gè)金屬腳踏板，然后將防靜電手腕插入靜電測(cè)試儀面板的手環(huán)插口。2. 掃描工卡后，電腦會(huì)顯示你的身份資料，同時(shí)儀器的LCD面板提示“請(qǐng)您按下測(cè)試鍵”。手指按下測(cè)試鍵，（確保手指與按鈕金屬鍵的完全接觸）開始測(cè)試，3 秒后儀器將測(cè)試完畢。3. 如果受測(cè)對(duì)象合格，儀器“嘟”長(zhǎng)響一聲，同時(shí)儀器的LCD面板顯示“通過(guò)”，如果測(cè)試不合格，儀器“嘟嘟嘟嘟”短響8聲，同時(shí)儀器的LCD 面板顯示“不通過(guò)”。不通過(guò)時(shí)可連續(xù)測(cè)試4次，若還是不合格，員工立即到IPQA處更換。4. IPQ

6、A應(yīng)維持測(cè)試秩序并監(jiān)督每位員工的測(cè)試過(guò)程。5.1.2.5接地樁電阻測(cè)試儀（ZC29B型號(hào)）1.沿被測(cè)接地極E使電位探棒P和電流探棒C依直線彼此相距20米，且電位探棒P系在E和C之間。2.E端鈕接5m導(dǎo)線，P端鈕接20m導(dǎo)線，C端鈕接40m導(dǎo)線。3.將儀表放置水平后檢查檢流計(jì)是否指零，否則可將零位調(diào)正器調(diào)節(jié)零位。4.將“位率標(biāo)度”置于最大倍率慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)動(dòng)的搖把，同時(shí)旋動(dòng)電位器刻度盤，使檢流計(jì)指針指“0”。5.當(dāng)檢流計(jì)的指針接近平衡時(shí)，加快發(fā)電機(jī)搖柄轉(zhuǎn)速，使其達(dá)到每分鐘150轉(zhuǎn)。再轉(zhuǎn)支電位器刻度盤，使檢流計(jì)平衡，此時(shí)刻度盤的讀數(shù)乘以倍率檔即為被測(cè)接地電阻數(shù)值。6.當(dāng)刻度盤讀數(shù)小于1時(shí)應(yīng)將倍率開關(guān)置

7、于較小倍率，重新調(diào)整刻度盤以得正確讀數(shù)。7.當(dāng)測(cè)量小于1歐的接地電阻時(shí)，應(yīng)將2個(gè)E端的聯(lián)結(jié)片打開，分別用導(dǎo)線聯(lián)接到被測(cè)接地體上，以消除測(cè)量時(shí)聯(lián)接導(dǎo)線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8.當(dāng)檢流計(jì)的靈敏度過(guò)高時(shí)，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當(dāng)檢流計(jì)靈敏度過(guò)低時(shí)，可沿探棒注水使其濕潤(rùn)。5.1.2.6 離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀（3M-718 /3M-718A）1、 打開測(cè)試儀（718）電源，將測(cè)試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬端相連接，同時(shí)按下靜電產(chǎn)生儀“+”按鈕和測(cè)試儀“HOLD”鍵，測(cè)試儀顯靜電值應(yīng)大于“+1000V”。2、 在離子風(fēng)機(jī)下不超過(guò)30cm處水平移動(dòng)靜電測(cè)試儀3秒鐘(金屬板向

8、上)，再看測(cè)試儀顯示值應(yīng)大于-40V小于+40V。3、 打開測(cè)試儀（718）電源，將測(cè)試儀（718）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A）金屬端相連接，同時(shí)按下靜電產(chǎn)生儀“-”按鈕和測(cè)試儀“HOLD”鍵，測(cè)試儀顯靜電值應(yīng)小于“-1000V”。4、 離子風(fēng)機(jī)下不超過(guò)30cm處水平移動(dòng)靜電測(cè)試儀3秒鐘(金屬板向上)，再看測(cè)試儀顯示值應(yīng)大于-40V小于+40V。5、 在檢測(cè)表中記錄顯示值，注明檢測(cè)日期，調(diào)節(jié)后的值。注意：要求平衡電壓為-40平衡電壓40V5.1.2.7 手腕監(jiān)視器電容測(cè)試儀（SAML1800）：測(cè)試時(shí)，開關(guān)旋轉(zhuǎn)至“1801 FALL”檔， SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發(fā)

9、出報(bào)警聲響；旋轉(zhuǎn)開關(guān)至“1801 PASS”檔，SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器停止發(fā)出報(bào)警聲響。此為合格。5.2 測(cè)試項(xiàng)目靜電接地極電阻測(cè)試每半年使用ZC29B進(jìn)行一次測(cè)試，要求靜電接地極對(duì)地電阻小于1,將測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。設(shè)備、儀器接地電阻測(cè)試每月由ESD專員或指定人員用萬(wàn)用表測(cè)試設(shè)備儀器接地電阻一次（新建工位或工位調(diào)整后要立即測(cè)試）測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。1. 設(shè)備儀器接地電阻：設(shè)備儀器外殼與靜電接地線之間的阻抗要小于10。測(cè)試頻率：每月。2. 電烙鐵：對(duì)使用中的電烙鐵進(jìn)行接地電阻測(cè)試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10。測(cè)試頻率：每天

10、。 5.2.3 靜電接地線接地電阻：每半年ESD專員對(duì)靜電接地線的接地電阻進(jìn)行檢測(cè)。要求每條線都要測(cè)。測(cè)試方法：在每條靜電接地線上任意找一個(gè)點(diǎn)，將萬(wàn)用表的一端連在這個(gè)點(diǎn)上，另一端插在電源地線孔里。要求電阻值小于10。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。 5.2.4防靜電工服PE工程師或指定人員，每季度對(duì)員工的工衣用EMI-20780測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，要求表面電阻1×105RS< 1×109 （上衣做點(diǎn)對(duì)點(diǎn)、袖對(duì)袖、片對(duì)片測(cè)試，褲子做褲腳對(duì)褲腳、點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)試），“每次全檢，測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。如檢測(cè)到不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”

11、章，并郵件通知該員工經(jīng)理讓其當(dāng)天之內(nèi)到庫(kù)房更換。IPQA監(jiān)督有無(wú)不合格靜電服流入產(chǎn)線。 5.2.5防靜電工作臺(tái) ESD專員負(fù)責(zé)每月使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求表面電阻在1×1051×109歐姆和接地電阻在1×1061×109歐姆。每塊工作臺(tái)面測(cè)試3個(gè)點(diǎn)，將測(cè)試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。 5.2.6地板由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在1*1051*109之間。每100平米地面測(cè)5個(gè)點(diǎn)（對(duì)于面積小于100平方米的獨(dú)立區(qū)域如：IQC、RD實(shí)驗(yàn)室、來(lái)料倉(cāng)，每個(gè)區(qū)域要測(cè)5個(gè)點(diǎn)）。測(cè)試

12、時(shí)兩個(gè)電極距離為0.6米1米，測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。同時(shí)由廠務(wù)或指定人員每半年測(cè)試地板的接地電阻一次，接地電阻在1*105-1*109之間。測(cè)試方法：將EMI-20780的一個(gè)電極放在地板上，另一端插入電源地線插孔里。每100平米測(cè)試1個(gè)點(diǎn)。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。 5.2.7物流器具（如：周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車、貨架）由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用TREK520和EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求摩擦電壓小于100V，周轉(zhuǎn)箱表面電阻：1×103- 1×109，每次每種器具抽檢，每1條線抽檢10Pcs，如果有1Pcs不合格則全檢。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記

13、錄表格中。 5.2.7.2 由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求周轉(zhuǎn)車，貨架表面電阻小于1×109，接地電阻在1×103- 1×109之間。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.8腕帶、工鞋性能檢測(cè)操作類員工每日進(jìn)入車間前要進(jìn)行手環(huán)、工鞋測(cè)試，測(cè)試結(jié)果由電腦自動(dòng)保存，產(chǎn)線專門人員進(jìn)行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進(jìn)入車間前要進(jìn)行工鞋測(cè)試，對(duì)于有可能接觸產(chǎn)品的職員（如生產(chǎn)主管、工藝、設(shè)備、質(zhì)控人員）每日上班也必須使用人體綜合電阻測(cè)試儀，測(cè)試記錄由電腦自動(dòng)保存。如有測(cè)試不合格者需立即到IPQA處更換。測(cè)試合格后方能進(jìn)入產(chǎn)線。腕帶

14、系統(tǒng)電阻：800K10M；工鞋系統(tǒng)電阻：100K-35M。5.2.9靜電場(chǎng)檢測(cè)由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用靜電場(chǎng)測(cè)試儀（TREK520）對(duì)車間各工位的靜電場(chǎng)強(qiáng)進(jìn)行一次測(cè)試，并將測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。測(cè)試要求：距工作臺(tái)30CM范圍內(nèi)，靜電值要小于+/- 100 V5.2.10 離子風(fēng)機(jī)測(cè)試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用3M-718與3M-718A對(duì)車間的離子風(fēng)機(jī)性能進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試內(nèi)容包括“平衡電壓”、“消電時(shí)間”，并將結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中測(cè)試要求：測(cè)試儀器距離離子風(fēng)扇正前方30厘米；合格標(biāo)準(zhǔn):1000V降到100V的消電時(shí)間小于3秒，平衡電壓絕對(duì)值小于40V。注：CPM要分別在

15、正、負(fù)兩種充電狀態(tài)下測(cè)試1防靜電工作椅子由ESD專員負(fù)責(zé)每月使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求表面電阻和接地電阻都在1×105-1×109歐姆之間，。將測(cè)試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。2傳送帶測(cè)試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用表面阻抗測(cè)試儀測(cè)試一次，要求表面電阻在1×105-1×109歐姆之間。每條傳送帶測(cè)試3個(gè)點(diǎn)，將測(cè)試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.13 手腕監(jiān)視器測(cè)試由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用SAML1800校正儀對(duì)手腕監(jiān)視器的電容進(jìn)行一次。測(cè)試不合格立即更換。5.3 防靜電包裝材料的測(cè)試認(rèn)證測(cè)試：首先要求供應(yīng)商送樣給P

16、E確認(rèn)，同時(shí)附上產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)說(shuō)明書或產(chǎn)品相關(guān)性能指標(biāo)認(rèn)定書，經(jīng)PE驗(yàn)證合格后方可采購(gòu)。防靜電性能測(cè)試環(huán)境要求：溫度23±5,濕度15±5測(cè)試項(xiàng)目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測(cè)試ESD標(biāo)志PE袋吸塑盒、物料盒汽珠袋、泡棉有機(jī)保護(hù)屏緩沖材料屏蔽袋防靜電膠帶防靜電防塵布打“”為必測(cè)項(xiàng)目高溫測(cè)試：在溫度為60，濕度為15的干燥箱內(nèi)烘烤12天或在溫度為70，濕度為15的干燥箱內(nèi)烘烤8天，然后放于室溫存放24小時(shí)再進(jìn)行表面電阻、摩擦電壓測(cè)試5.3.2 接收測(cè)試品管部門對(duì)所有無(wú)物料代碼的ESD輔料進(jìn)行來(lái)料檢驗(yàn)。不定期全檢。檢驗(yàn)要求如下：防靜電性能測(cè)試環(huán)境要求：溫度23&

17、#177;5,濕度4070測(cè)試項(xiàng)目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測(cè)試ESD標(biāo)志PE袋吸塑盒、物料盒汽珠袋、泡棉有機(jī)保護(hù)屏。緩沖材料。防靜電膠帶屏蔽袋防靜電防塵布 5.3.3 點(diǎn)檢測(cè)試由ESD小組人員每個(gè)月使用表面阻抗測(cè)試儀對(duì)各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機(jī)玻璃屏進(jìn)行抽檢。要求表面電阻在1×104-1×1011歐姆之間，摩擦電壓小于100V。每條線測(cè)試5Pcs，若有3Pcs不合格則整條線全檢并更換相應(yīng)物料。以上這些物料必須有防靜電標(biāo)識(shí)才可投入產(chǎn)線使用，一經(jīng)IPQA發(fā)現(xiàn)將沒(méi)收，找替代品或者做防靜電加工。 5.4 各類防靜電物品、設(shè)施檢測(cè)指標(biāo)測(cè)試項(xiàng)目摩擦電

18、壓表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電工服、工帽1×105RS< 1×109工鞋1×105Rs<1×1090.1×106R<3.5×107腕帶內(nèi)面1×105 外面1×1070.8×106R<3.5×107防靜電地板0.1×106RS< 1×1090.1×106R< 1×109工作臺(tái)1×106RS< 1×1090.75×106R< 1×109周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)盒、托盤、料盒、防靜電刷子、防靜

19、電鑷子、防靜電推車<100V1×103RS< 1×109傳送帶1×106RS< 1×109防靜電工作椅1×105 <RS<1×1091×106< R<1×109PE袋<100V1×104RS< 1×1011吸塑盒<100V1×104RS< 1×1011汽珠袋、泡棉<100V1×104RS< 1×1011緩沖材料<100V1×104RS<1×1011屏蔽型防靜電袋<100V1×104RS< 1×1011防靜電膠帶<100V1×104RS< 1×1011防靜電有機(jī)玻璃板<100V1×104RS< 1×1011防靜電防塵布、手套、指套<100V1×104RS< 1×1011注：1.屏蔽袋要加測(cè)“屏蔽泄漏電壓”，要求小于100V； 2.為便于包裝材料的接收檢驗(yàn)，選擇包材時(shí)可根據(jù)實(shí)際情況選擇表面電阻及體電阻在1